真空発生器VQ

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■ ツインノズルタイプ特性1008060402000.30.40.50.60.7供給圧力 (MPa)到達真空度 (-kPa)流量 (l/min(ANR))40801201602000VQT15C－□□□－□－□真空特性線図小口径ノズル吸込流量大口径ノズル吸込流量大口径ノズル消費流量小口径ノズル消費流量小口径ノズル到達真空度大口径ノズル到達真空度100806040200051015202530吸込流量 (l/min(ANR))真空度 (-kPa)VQT15C－□□□－□－□流量特性線図(小口径ノズル)1008060402000510152025354030吸込流量 (l/min(ANR))真空度 (-kPa)VQT20C－□□□－□－□流量特性線図(小口径ノズル)1008060402000.30.40.50.60.7供給圧力 (MPa)到達真空度 (-kPa)流量 (l/min(ANR))601201802403000VQT20C－□□□－□－□真空特性線図小口径ノズル吸込流量小口径ノズル消費流量大口径ノズル吸込流量大口径ノズル消費流量大口径ノズル到達真空度小口径ノズル到達真空度150VZVNVXVJVKVQ真空発生器真空ポンプ対応ユニット真空ポンプ真空パッド真空関連機器技術資料