真空発生器VQ

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■ 動作説明図(2段ノズルタイプ、ノーマルクローズの場合)破壊流量調整ニードル真空破壊メインバルブチェック弁サイレンサエレメント1サイレンサエレメント2ノズルディフューザ1ディフューザ2エア供給ポートフィルタエレメントセンサユニット真空ポートパイロットバルブ真空発生メインバルブユニットパイロットバルブ●破壊回路●真空回路真空発生停止状態●破壊回路●真空回路真空発生状態●破壊回路●真空回路真空破壊エア供給144VZVNVXVJVKVQ真空発生器真空ポンプ対応ユニット真空ポンプ真空パッド真空関連機器技術資料