1043 真空パッドSeries真空パッド 吸着痕防止タイプ真空パッド真空ポンプ対応ユニット真空発生器真空ポンプパッド（PEEK, POM, 導電性PEEK）ダイヤフラム（FKM）スプリング（SUS304）金属本体（①黄銅+無電解ニッケルメッキ）パッドガイド（特殊ステンレス※2+窒化処理）ガスケット（①SPCC+NBR（VP10Q□の場合）、SUS304+NBR（VP20, 30Q□の場合））プレート（①黄銅+無電解ニッケルメッキ）ウエイトブロック（特殊ステンレス※2+窒化処理）スペーサ（SUS304+窒化処理）（②SUS316+FKM）（②特殊ステンレス※2）（②特殊ステンレス※2）※1.上記の①は標準仕様、②は-S3仕様の時の材質となります。※2.耐腐蝕性は、SUS303相当となります。■ フレキシブルホルダ付パッドの構造図■ バリエーション一覧パッド形状吸着痕防止推奨ワーク液晶ガラス、塗装工程、半導体製造設備パッドサイズ3種ø10、ø20、ø30mmパッド材質3種PEEK、POM、導電性PEEKホルダサイズミ ニスタンダードホルダ形状4種8種固定式スプリング式ホルダ形状：カバー無しも用意。真空取出口：上タイプに低発塵タイプを用意。直付型（固定式またはスプリング式）
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