小型流量センサFUS8

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1082小型流量センサ真空関連機器技術資料■ 仕様型式項目FUS8-A-R005FUS8-A-R010FUS8-A-R050FUS8-A-R100FUS8-A-F005FUS8-A-F010FUS8-A-F050FUS8-A-F100流量レンジ(ℓ/min)-0.5 ~ 0.5-1 ~ 1-5 ~ 5-10 ~ 100 ~ 0.50 ~ 10 ~ 50 ~ 10使用条件使用流体圧縮空気（JIS B 8392-1、1.1.1 ~ 1.6.2）、窒素使用圧力範囲(MPa)-0.09 ~ 0.2保証耐圧力(MPa)0.3使用周囲温度・湿度0 ~ 50°C、80%RH以下使用流体温度(℃)0 ~ 50（結露なきこと）保存温度範囲(℃)-20 ~ 60（結露なきこと）アナログ出力精度※直線性ノンリニア特性　アナログ出力1 ~ 5V圧力特性±5%.F.S. 以下（-0.09 ~ 0.2MPa、25°C、0.1MPa基準）±10%.F.S. 以下（-0.09 ~ 0.2MPa、25°C、0.1MPa基準）温度特性±0.3%.F.S. /°C 以下（0 ~ 50°C、25°C基準）±0.6%.F.S. /°C 以下（0 ~ 50°C、25°C基準）再現性(繰返し精度)±2%.F.S. 以下電源電圧変動±2%.F.S. 以下（DC24V±10%）応答性5ms以下8ms以下5ms以下8ms以下消費電流30mA以下電源電圧DC24V±10%　リップル1%以下※.双方向（片方向）は、流量0の時3V（1V）を示し、コネクタを右側にし、本体を見て流体を右に流した場合、5Vに変化します。

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