制御機器

フッ素樹脂ニードルバルブ(2023年3月1日生産終了)

RoHS2対応

半導体製造工程における流量制御に最適。

在庫が無くなった機種から販売終了となります。
在庫状況については、下記在庫表ボタンからご確認ください。

樹脂
  • 樹脂主要部品にPFA・PTFE・PVDFを使用しています。PFA・PTFE:耐薬品性、耐熱性に優れます。PVDF:耐薬品性、機械的強度に優れます。
  • 流路に銅を主成分とする金属材料を使用していません。
  • シールゴム材質にHNBRまたはFKMを使用しています。※)一部商品は流路のみの対応となります。
  • 組立時に油を使用しません。
  • グリースにフッ素系グリースを使用し、クリーンエアで清浄後クリーンルーム内にて包装します。
  • クリーンルーム内でHFEによる真空超音波洗浄を実施後、脱気包装をします。

特長

半導体製造工程における流量制御に最適。

高い引抜強度とシール性能を実現。

インパクトリングがチューブを強固に保持。

ユニオンナットの締付け管理が容易。

ユニオンナットの締付け作業完了の判断が容易なクリックゲージを内蔵。

フッ素樹脂締付継手も用意。

仕様

使用流体 液体(条件有※1)
最高使用圧力 0.7MPa(at 0~60℃)※2
使用温度範囲 0~100℃

警告

※1)使用流体が水、液体の時は、下記の条件を必ず守ってください。

水、液体使用の際は、サージ圧力を最高使用圧力以下に抑えてご使用ください。

異物や汚染物が混入していない日本国内の一般水道水は使用可能です。その他の水を使用の場合は実機評価にてご確認ください。

薬品などにつきましては使用条件により当社仕様の適合が異なる場合がありますので確認の上ご使用ください。

※2)使用温度が60℃を超える場合の最高使用圧力は、下記「使用温度と最高使用圧力の関係図」を参照してください。

適用サイズ

チューブサイズ

ミリサイズ(mm) φ3xφ2, φ6xφ4
インチサイズ φ1/8"(φ3.2)xφ2.18, φ1/4"(φ6.35)xφ3.18

流量特性グラフ

構造図

形状・価格一覧

個別注意事項

警告

1.継手取付け・増締め・再取付けは、必ずデジタルカタログまたは取扱説明書記載の施工方法に基づいて行ってください。取付けや締付け不良により液漏れ、配管抜け事故が発生する危険性があります。

2.高温時や圧力負荷時の増締めはしないでください。高温時や圧力負荷時の増締めは変形や破損を招き液が噴出することがあります。必ず常温に戻し、圧力をゼロにして行ってください。

3.本製品は仕様の範囲外では使用しないでください。液漏れ、配管抜け事故が発生する危険性があります。

4.本製品は使用温度により、最高使用圧力が異なります。ご使用の際には、必ず仕様の「使用温度と最高使用圧力の関係図」を参照し、その範囲内でご使用ください。

5.本製品は樹脂製品ですので、締付け時及び取付け後は曲げ応力や引張応力が加わらないよう十分に注意してください。本体の変形や破損を招き、液漏れが発生する危険性があります。

6.使用流体が薬品、溶剤などの場合は耐薬品性を確認の上ご使用ください。使用条件により製品の破損、チューブ抜け、漏れの原因となる可能性があります。

7.継手部が揺動、衝撃を受ける条件下では使用しないでください。製品の破損、チューブ抜け、漏れの原因となる可能性があります。

8.本製品は樹脂製品ですので、必要以上に強く締付けたり、ツマミを回し過ぎないようにしてください。

9.アウターナットが緩んだままでの使用は、液が漏れて大変危険です。必ず使用を中止してアウターナットの増締めをしてください。

注意

1.当社本製品以外の部品との組合せは、絶対にしないでください。液が漏れたり配管が抜ける事故が発生する危険性があります。

2.配管内の液体が70℃以上の高温の場合は、配管及び継手に対し火傷防止のためカバーなどの防護処置を行ってください。

3.フレア作業には、必ず当社専用フレア治具をご使用ください。他社の治具を使用しますと液漏れなどの事故が発生する危険性があります。

4.フレア作業は、部品が高温になりますので十分注意してください。火傷の危険性があります。

5.フレア作業の時は、換気を十分に行ってください。加熱し過ぎると有毒ガスが発生する危険性があります。

6.本製品を廃棄する場合は、残った液を捨てて洗浄してから廃棄してください。毒性、引火性、腐蝕性の高い液体が残留したまま廃棄しますと危険です。

7.本製品は不燃物として廃棄してください。フッ素樹脂は燃やすと有毒ガスが発生し危険です。

8.使用流体は液体に限りますが、気体の場合はご相談ください。

9.配管後は必ずインパクトリングが入っているか確認してください。インパクトリングを入れ忘れると液漏れ、配管抜け事故が発生し危険です。

10.チューブ接続部の漏洩などにより増締めが必要になった場合は、流体を常温に戻し、圧力ゼロの状態にて専用スパナでユニオンナットを1/4回転締付けて経過を観察してください。漏洩による増締めの場合、ナットに液が溜まっているため、増締めをした後漏洩が止まっても滲みがしばらく続く場合がありますのでご注意ください。

11.ユニオンナットや管用テーパネジ部は初期の締付け後、樹脂の特性として締付トルクの低下が起こります。そのほとんどは、24時間以内のため、24時間以上経過した後に、増締めをすることは長期安定したシール性を得るために有効です。また、熱サイクルのかかる場合は、1サイクル後の低温時に増締めしていただくことをお勧めします。

12.使用流体の漏れにより機械、装置などへの損傷もしくは災害を引き起こす恐れがある場合には、あらかじめ保護カバーなどの安全対策を施してください。

14.ホットフレア加工治具金属軸タイプ(F-JA-□-T)、治具用ベース(F-BA-3)を使用する場合、チューブが治具に接触すると 金属イオンが付着する可能性があります。

制御機器シリーズのよくある質問

この商品に関するお問い合わせ

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