真空ポンプ対応ユニット

真空ポンプ対応ユニットVNP

RoHS2対応

省スペースへの設置、およびハイサイクルを要求する分野に最適な真空ポンプ対応ユニット。

特長

直動弁の採用で真空供給時に圧縮エアが不要。

省スペースへの設置、およびハイサイクルを要求する分野に最適な真空ポンプ対応ユニット。

取付けスペース(製品高さ)に制約のあるお客様に最適。

小型・軽量。

高速、且つ安定した応答性を実現。(ON/OFF=5msec以下)

主弁に直動バルブを採用。

圧力センサは、アナログ出力タイプを4種類用意。

負圧用アナログ出力センサ、分離型LED圧力表示器+負圧用アナログ出力センサ、連成圧用アナログ出力センサ、分離型LED圧力表示器+連成用アナログ出力センサ。
負圧用アナログ出力センサのリード線をコネクタ化し配線作業性とメンテナンス性向上。

仕様

基本仕様

使用流体 空気(JIS B 8392-1:「等級1.2.1~2.4.3」準拠)、真空
使用圧力範囲 0~0.55MPa
使用真空圧力 -100~0kPa
使用温度範囲 5~50℃ (但し、凍結なきこと)
使用湿度範囲 35~85%RH (但し、結露なきこと)
保護構造 IP40相当
耐振動性/衝撃性 50m/s2以下/ 150m/s2以下
給油 不要
耐圧性(エア供給回路) 0.85MPa
耐圧性(真空回路) 0.2MPa

※)耐圧性は、単に「製品が破損しない圧力」を表現するものであり、製品が正常に使用できる圧力とは異なります。

電磁弁仕様

定格電圧 DC24V ±10%
消費電力 起動時 2.2W、保持時 0.6W(省電力回路内蔵LED付)
サージ保護回路 有り
動作表示灯 導通時、緑色LED点灯
手動操作 無し

真空供給用主弁仕様

作動方式 直接作動
弁機能 ノーマルクローズ
応答時間(OFF→ON) 5msec
応答時間(ON→OFF) 5msec

※)応答時間は、定常状態(-100~0kPa供給、周囲温度20℃、印加電圧DC24V±10%)での値です。

真空破壊用主弁仕様

作動方式 直接作動
弁機能 ノーマルクローズ
応答時間(OFF→ON) 5msec
応答時間(ON→OFF) 5msec

※)応答時間は、定常状態(0.05~0.55MPa供給、周囲温度20℃、印加電圧DC24V±10%)での値です。

真空破壊機能

破壊エア流量 0~20L/min[ANR] (0.5MPa供給時)

※)真空破壊エア流量は、真空側配管の径や長さ(配管抵抗など)により変わります。

LED圧力センサ仕様(V4NC□:負圧タイプ/NPN出力)

使用流体 空気、非腐蝕性/不燃性ガス
圧力検出方法 拡散半導体圧力スイッチ
使用温度範囲 0~50℃(凍結なきこと)
保存温度範囲 -20~70℃(大気圧、湿度65%RH以下)(凍結なきこと)
使用湿度範囲 35~85%RH(結露なきこと)
耐振動 100m/s2
耐衝撃 150m/s2
保護構造 IP40相当
使用圧力範囲 -100kPa~0kPa
耐圧 0.9MPa
供給電源 DC12~24V ±10%(リップルP-P含む)
消費電流 30mA以下(全点灯、2点出力無負荷ON時)
圧力表示素子 符号付2桁、7セグメント赤色LED
表示回数 4回/秒
監視機能 圧力オーバー表示、点滅表示
パネルロック機能 ボタン操作により有効/無効を選択
表示/非表示機能 ボタン操作により有効/無効を選択
表示精度 ±3%F.S.(0~50℃、基準温度25℃)
ゼロ点調整 ゼロアジャストモードにて調整
スイッチ出力・出力点数 2点SW出力
スイッチ出力・出力方式 NPNオープンコレクタ
スイッチ出力・スイッチ容量 DC30V 80mA以下
スイッチ出力・残留電圧 1.2V以下(負荷電流80mA時)
スイッチ出力・出力動作 セパレートモード、ウインドコンパレータモード(選択)
スイッチ出力・圧力設定範囲 -99~0(kPa)
スイッチ出力・動作表示 出力ON時:LED点灯(SW1:赤/SW2:緑)
スイッチ出力・温度特性 ±5%F.S.( 0~50℃、基準温度25℃)
スイッチ出力・繰返し精度 ±0.3%F.S.
スイッチ出力・応答性 フィルタ設定0msec時:5msec、設定範囲(0~99msecから選択可能)
スイッチ出力・応差設定 0~30count
スイッチ出力・過負荷保護回路 有り
アナログ出力・出力点数 1点
アナログ出力・出力電圧 1~5V
アナログ出力・ゼロ点電圧(0kPa) 1 ±0.06V
アナログ出力・負圧印加時電圧(-90kPa) 4.6 ±0.06V
アナログ出力・出力電流 1mA(MAX)
アナログ出力・直線性 ±0.5%F.S.
アナログ出力・繰返し精度 ±0.5%F.S.
アナログ出力・温度特性 5%F.S.(0~50℃、基準温度25℃)

LED圧力センサ仕様(V4PC□:負圧タイプ/PNP出力)

使用流体 空気、非腐蝕性/不燃性ガス
圧力検出方法 拡散半導体圧力スイッチ
使用温度範囲 0~50℃(凍結なきこと)
保存温度範囲 -20~70℃(大気圧、湿度65%RH以下)(凍結なきこと)
使用湿度範囲 35~85%RH(結露なきこと)
耐振動 100m/s2
耐衝撃 150m/s2
保護構造 IP40相当
使用圧力範囲 -100kPa~0kPa
耐圧 0.9MPa
供給電源 DC12~24V ±10%(リップルP-P含む)
消費電流 30mA以下(全点灯、2点出力無負荷ON時)
圧力表示素子 符号付2桁、7セグメント赤色LED
表示回数 4回/秒
監視機能 圧力オーバー表示、点滅表示
パネルロック機能 ボタン操作により有効/無効を選択
表示/非表示機能 ボタン操作により有効/無効を選択
表示精度 ±3%F.S.(0~50℃、基準温度25℃)
ゼロ点調整 ゼロアジャストモードにて調整
スイッチ出力・出力点数 2点SW出力
スイッチ出力・出力方式 PNPオープンコレクタ
スイッチ出力・スイッチ容量 DC26.4V 80mA以下
スイッチ出力・残留電圧 1.2V以下(負荷電流80mA時)
スイッチ出力・出力動作 セパレートモード、ウインドコンパレータモード(選択)
スイッチ出力・圧力設定範囲 -99~0(kPa)
スイッチ出力・動作表示 出力ON時:LED点灯(SW1:赤/SW2:緑)
スイッチ出力・温度特性 ±5%F.S.( 0~50℃、基準温度25℃)
スイッチ出力・繰返し精度 ±0.3%F.S.
スイッチ出力・応答性 フィルタ設定0msec時:5msec、設定範囲(0~99msecから選択可能)
スイッチ出力・応差設定 0~30count
スイッチ出力・過負荷保護回路 無し
アナログ出力・出力点数 1点
アナログ出力・出力電圧 1~5V
アナログ出力・ゼロ点電圧(0kPa) 1 ±0.06V
アナログ出力・負圧印加時電圧(-90kPa) 4.6 ±0.06V
アナログ出力・出力電流 1mA(MAX)
アナログ出力・直線性 ±0.5%F.S.
アナログ出力・繰返し精度 ±0.5%F.S.
アナログ出力・温度特性 5%F.S.(0~50℃、基準温度25℃)

LED圧力センサ仕様(V4RNC□:連成圧タイプ/NPN出力)

使用流体 空気、非腐蝕性/不燃性ガス
圧力検出方法 拡散半導体圧力スイッチ
使用温度範囲 0~50℃(凍結なきこと)
保存温度範囲 -20~70℃(大気圧、湿度65%RH以下)(凍結なきこと)
使用湿度範囲 35~85%RH(結露なきこと)
耐振動 100m/s2
耐衝撃 150m/s2
保護構造 IP40相当
使用圧力範囲 -100kPa~300kPa
耐圧 1.4MPa
供給電源 DC12~24V ±10%(リップルP-P含む)
消費電流 30mA以下(全点灯、2点出力無負荷ON時)
圧力表示素子 符号付2桁、7セグメント赤色LED
表示回数 4回/秒
監視機能 圧力オーバー表示、点滅表示
パネルロック機能 ボタン操作により有効/無効を選択
表示/非表示機能 ボタン操作により有効/無効を選択
表示精度 ±3%F.S.(0~50℃、基準温度25℃)
ゼロ点調整 ゼロアジャストモードにて調整
スイッチ出力・出力点数 2点SW出力
スイッチ出力・出力方式 NPNオープンコレクタ
スイッチ出力・スイッチ容量 DC30V 80mA以下
スイッチ出力・残留電圧 1.2V以下(負荷電流80mA時)
スイッチ出力・出力動作 セパレートモード、ウインドコンパレータモード(選択)
スイッチ出力・圧力設定範囲 -99~0(kPa)、0~0.30(MPa)
スイッチ出力・動作表示 出力ON時:LED点灯(SW1:赤/SW2:緑)
スイッチ出力・温度特性 ±5%F.S.( 0~50℃、基準温度25℃)
スイッチ出力・繰返し精度 ±0.3%F.S.
スイッチ出力・応答性 フィルタ設定0msec時:5msec、設定範囲(0~99msecから選択可能)
スイッチ出力・応差設定 0~30count
スイッチ出力・過負荷保護回路 有り
アナログ出力・出力点数 1点
アナログ出力・出力電圧 1~5V
アナログ出力・ゼロ点電圧(0kPa) 2 ±0.06V
アナログ出力・負圧印加時電圧(-90kPa) 1.1 ±0.06V
アナログ出力・最大正圧印加時電圧 5 ±0.06V
アナログ出力・出力電流 1mA(MAX)
アナログ出力・直線性 ±0.5%F.S.
アナログ出力・繰返し精度 ±0.5%F.S.
アナログ出力・温度特性 5%F.S.(0~50℃、基準温度25℃)

LED圧力センサ仕様(V4RPC□:連成圧タイプ/PNP出力)

使用流体 空気、非腐蝕性/不燃性ガス
圧力検出方法 拡散半導体圧力スイッチ
使用温度範囲 0~50℃(凍結なきこと)
保存温度範囲 -20~70℃(大気圧、湿度65%RH以下)(凍結なきこと)
使用湿度範囲 35~85%RH(結露なきこと)
耐振動 100m/s2
耐衝撃 150m/s2
保護構造 IP40相当
使用圧力範囲 -100kPa~300kPa
耐圧 1.4MPa
供給電源 DC12~24V ±10%(リップルP-P含む)
消費電流 30mA以下(全点灯、2点出力無負荷ON時)
圧力表示素子 符号付2桁、7セグメント赤色LED
表示回数 4回/秒
監視機能 圧力オーバー表示、点滅表示
パネルロック機能 ボタン操作により有効/無効を選択
表示/非表示機能 ボタン操作により有効/無効を選択
表示精度 ±3%F.S.(0~50℃、基準温度25℃)
ゼロ点調整 ゼロアジャストモードにて調整
スイッチ出力・出力点数 2点SW出力
スイッチ出力・出力方式 PNPオープンコレクタ
スイッチ出力・スイッチ容量 DC26.4V 80mA以下
スイッチ出力・残留電圧 1.2V以下(負荷電流80mA時)
スイッチ出力・出力動作 セパレートモード、ウインドコンパレータモード(選択)
スイッチ出力・圧力設定範囲 -99~0(kPa)、0~0.30(MPa)
スイッチ出力・動作表示 出力ON時:LED点灯(SW1:赤/SW2:緑)
スイッチ出力・温度特性 ±5%F.S.( 0~50℃、基準温度25℃)
スイッチ出力・繰返し精度 ±0.3%F.S.
スイッチ出力・応答性 フィルタ設定0msec時:5msec、設定範囲(0~99msecから選択可能)
スイッチ出力・応差設定 0~30count
スイッチ出力・過負荷保護回路 無し
アナログ出力・出力点数 1点
アナログ出力・出力電圧 1~5V
アナログ出力・ゼロ点電圧(0kPa) 2 ±0.06V
アナログ出力・負圧印加時電圧(-90kPa) 1.1 ±0.06V
アナログ出力・最大正圧印加時電圧 5 ±0.06V
アナログ出力・出力電流 1mA(MAX)
アナログ出力・直線性 ±0.5%F.S.
アナログ出力・繰返し精度 ±0.5%F.S.
アナログ出力・温度特性 5%F.S.(0~50℃、基準温度25℃)

圧力表示無し圧力センサ仕様(V1C□、1点アナログ出力負圧)

結線方式 コネクタ式
定格電圧 DC10.8~30V(含リップル)
消費流量 20mA以下(DC24V無負荷)
圧力検出方法 拡散半導体圧力センサ、ゲージ圧
使用圧力範囲 -100~0kPa
耐圧力 1MPa
保存温度範囲 -20~70℃(大気圧、湿度:65%RH以下)
動作温度範囲 0~60℃(凍結なきこと)
動作湿度範囲 30~85%RH(結露なきこと)
保護構造 IP40相当
アナログ出力・出力電圧 1~5V
アナログ出力・ゼロ点電圧 1 ±0.04V(=大気圧時)
アナログ出力・指定圧力点電圧 4.6 ±0.04V(=-90kPa時)
アナログ出力・最大圧力点電圧 5 ±0.04V(=-100kPa時)
アナログ出力・直線性 ±0.5%F.S.以下(基準温度25℃)
アナログ出力・温度特性 ±2%F.S.以下(0~60℃、基準温度25℃)
アナログ出力・出力電流 0.495mA以下(負荷抵抗:10kΩ)
アナログ出力・出力インピーダンス 1kΩ

※)圧力の繰返し印加に伴う「ゼロ点電圧」、「スパン電圧」、及び「スイッチ出力設定値」の変化量は、±3%F.S.を許容範囲とします。

圧力表示無し圧力センサ仕様(R1、1点アナログ出力連成圧)

結線方式 グロメット式
定格電圧 DC10.8~30V(含リップル)
消費流量 20mA以下(DC24V無負荷)
圧力検出方法 拡散半導体圧力センサ、ゲージ圧
使用圧力範囲 -100~300kPa
耐圧力 600kPa
保存温度範囲 -20~70℃(大気圧、湿度:65%RH以下)
動作温度範囲 -10~60℃(凍結なきこと)
動作湿度範囲 35~85%RH(結露なきこと)
保護構造 IP40相当
アナログ出力・出力電圧 1~5V
アナログ出力・ゼロ点電圧 1 ±0.1V(=-100kPa時)
アナログ出力・最大圧力点電圧 5 ±0.1V(=300kPa時)
アナログ出力・直線性 ±0.5%F.S.以下(基準温度25℃)
アナログ出力・温度特性 ±2%F.S.以下
アナログ出力・出力電流 1mA以下(負荷抵抗:5kΩ)

※)圧力の繰返し印加に伴う「ゼロ点電圧」、「スパン電圧」、及び「スイッチ出力設定値」の変化量は、±3%F.S.を許容範囲とします。

適用サイズ

真空ポートチューブサイズ

ミリサイズ(mm) φ3, φ4

真空供給ポートチューブサイズ

単体タイプ

ミリサイズ(mm) φ3, φ4

マニホールドタイプ

ミリサイズ(mm) φ4, φ6, φ8

真空破壊用エア供給ポートチューブサイズ

単体タイプ

ミリサイズ(mm) φ3, φ4

ミリサイズ(mm);マニホールドタイプ

ミリサイズ(mm) φ4, φ6, φ8

注文案内

単体タイプ

マニホールドタイプ

単体タイプ用ブラケット(オプション)

単体タイプ用フィルタエレメント(メンテナンス部品)

負圧用アナログ出力付圧力センサ用コネクタケーブル(メンテナンス部品)

LED表示付出力付圧力センサ用コネクタケーブル(メンテナンス部品)

個別注意事項

警告

1.各部のネジはデジタルカタログを参照し、適正トルクで締付けてください。製品取付けの締付トルクは「固定方法」に、電磁弁の締付トルクは「1.フィルタエレメントの交換方法」に記載しております。適正なトルクで締付けないと、エア漏れ、製品の脱落、製品各部破損の原因となります。

2.本製品に概ね15分以上の連続通電をする場合、連続通電回数は10回/日以下としてください。

3.本製品の電磁弁は、電流制御回路を採用しており、コイルの通電保持時に電流値を下げる機構となっております。仕様外の振動・衝撃が加わる環境では使用しないでください。バルブ誤作動などのトラブルにつながります。

注意

1.本製品には真空フィルタは付いておりません。真空フィルタは、当社真空フィルタシリーズを必ず併用してください。真空フィルタを使用しないと吸い込まれた塵・埃などが製品内部へ堆積し、真空性能低下や電磁弁の漏れ・作動不良などの原因となります。(推奨真空フィルタ:VFUシリーズ、VFJシリーズ)

真空ポンプ対応ユニットシリーズのよくある質問

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