圧力計・検出スイッチ

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流量センサFUS20シリーズ RoHS対応

仕様

使用流体 清浄空気(JIS B 8392:「等級1.1.1~5.6.2」準拠)、
圧縮空気(JIS B 8392:「等級1.1.1~1.6.2」準拠)、
窒素ガス
最高使用圧力 0.7 MPa
最低使用圧力 -0.09 MPa
保証耐圧力 1 MPa
使用周囲温度・湿度 0~50℃、90%RH以下
使用流体温度 0~50℃(結露なきこと)

適用サイズ

■チューブサイズ

ミリサイズ(mm) φ4, φ6, φ8, φ10
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価格表 この商品カテゴリのよくある質問 FAQ

特徴

流量管理や小型ワークの吸着確認が可能。

  • ニードル弁一体型。流量調整可能なニードル弁がセンサと一体になっており、配管の手間がかかりません。また、省スペース設置が可能。
  • パネルマウント可能。パネルマウント用ブラケットもラインナップ。センサ本体、およびニードル弁一体型もパネルマウント可能。パネル開口部1つで密着取付けができるため、複数台使用時の工数削減、省スペース化が図れます。
  • ツイン表示/2色表示機能で操作性を向上。メイン画面とサブ画面を設けることで、操作性を向上。更に、2色表示で異常が一目で判ります。
  • 自由な取付け姿勢。上下左右どの方向にも取付けることができます。
  • 双方向での流体計測が可能。双方向タイプは、流れ方向を任意に設定し計測することができます。配管取付の自由度がアップするとともに、逆流検知用としても使用できます。
  • 直管部不要。新提案の整流機構により、上流側・下流側ともに直管部が不要。
  • 高精度:±3%F.S.以下。正確な流量計測が可能。
  • 高速応答:50msec以下。シリコーンマイクロマシニングを応用した白金センサチップの採用で、高速応答を実現。タクトタイムの短縮に貢献。

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