流量センサ
流量管理や圧力センサでは難しい小型ワークの吸着確認が可能
ニードル弁一体型
→流量調整可能なニードルがセンサと一体化。
配管の手間がかからず、省スペース設置が可能です。
パネルマウント可能
→パネルマウント用ブラケットもラインナップ。
パネル開口部1つで密着取り付けができるため、
複数台使用時の工数削減、省スペース化が図れます。
ツイン表示/2色表示機能
→メイン画面とサブ画面を設けることで、操作性を向上させました。
更に、2色表示で異常が一目で判ります。
高精度 ±3%F.S. 以下
→精度±3%F.S.を実現し、正確な流量計測が可能です。
高速応答 50msec 以下
→シリコーンマイクロマシニングを応用した白金センサチップの採用で、高速応答を実現しました。
φ2mmワンタッチ継手&チューブ
小型アクチュエータや狭小スペースへの配管に最適
超コンパクト
→φ4mmのミニタイプ継手と比べ容積比20%に小型化。(当社比：PLタイプ)
豊富なボディ形状
→16種類のボディ形状で様々な配管に対応。
曲げ半径わずか4mm
→チューブの曲げ半径(JIS式)は、わずか4mm。
コンパクト配管を実現します。
SUS316締付継手
耐蝕性に優れ、気密性を重視する市場の配管にお勧め
ポリウレタンチューブも使用可能
→弊社ポリウレタンチューブ(φ8〜φ16mm)用サイズを新たにラインナップ。(ストレート、エルボタイプのみ)
スリーブ不要＝心配不要
→スリーブが必要ない設計。従って、スリーブの付け忘れや紛失などのミスがありません。
クリーン環境内の配管にも最適
→クリーンエアで清浄後、クリーンルーム(ISOクラス6相当)内にて包装。弊社のポリウレタンチューブクリーンルーム包装仕様とも併用可能に。
耐腐蝕性SUS303相当ミニマル継手
小型・省スペース配管に最適
耐腐蝕環境や、薬品の雰囲気内にお勧め。
→金属本体は、耐腐蝕性SUS303相当の特殊ステンレスを採用。シール部品は、耐薬品性に優れたPPSを採用。
従来のミニマル継手に比べ、最大約15%コンパクト化を実現。
真空用チューブとの組合せで、真空機器の配管に最適。
クリーン洗浄継手シリーズ
パーティクルや油分を嫌う各種製造工程向け
真空超音波洗浄
→クリーンルーム内でHFE(ハイドロフルオロエーテル)による真空超音波洗浄を実施後、脱気包装を実施。
各シリーズ共、標準タイプと同等
→チューブフィッティング、チューブフィッティングPPタイプ、耐腐蝕性SUS303相当継手に設定。形状やバリエーションは、標準タイプと同等。
真空用機器『-S3』仕様
『銅系金属不使用』・『低濃度オゾン対策』が要求される分野に最適
対応機種が増え、更に充実。
→−S３仕様新ラインナップ
・真空ポンプシステム対応ユニットVXP
・小型パッドホルダ スプリング式(VPMC, VPMD)
・吸着痕防止パッド(フレキシブルホルダ付)
・正負圧用フィルタ
真空用機器『-S3』仕様チラシ→
小型パッドホルダ スプリング式(VPMC, VPMD)寸法図→
小型パッドホルダ スプリング式(VPMC, VPMD)価格表→
ソフトポリウレタンチューブ／UC
コンパクト配管を追求。綺麗なクリア系カラーでラインナップ。
コンパクト配管に最適。
→極軟質のため、狭小部への取付や小さな曲げ半径の配管が可能。
水を流すことも可能。
→エーテル系ウレタンを使用。
カラーは全てクリア系で6色を用意。
→カラー：クリアブラック、クリアオレンジ、クリアイエロー、クリアグリーン、クリアブルー、クリア
多芯チューブ(2芯〜6芯)の製作も可能。
フッ素樹脂(FEP)チューブ／SET
多分野で活躍するフッ素樹脂チューブがお求め易くなりました。
コストパフォーマンスに優れたフッ素チューブ。
→弊社のフッ素樹脂(PFA)チューブとほぼ同等の耐薬品性。
クリーンルーム包装仕様に対応。
タフな性能。
→使用温度範囲：-65〜200℃
浮上搬送プレート
高精密、高速、非接触の浮上搬送を実現。
独自のブローホール
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を採用し、安定したパネル浮上を実現。
*.エア吐き出し時の性質を乱流から整流へ流膜形成させ安定浮上させる方式。(AFU1,2シリーズ)
最高速度：2m/secに対応可能。
パネルの浮上搬送に最適。
→LCDパネル、PDP、ソーラーパネルの浮上搬送、検査工程に最適。水や薬品を使用する洗浄装置、コーター装置、スクライビング装置での使用も可能。
