对应真空泵单元模块
对应真空泵单元VNP
真空泵对应单元适合装配于小空间以及对应有高循环需求的行业。
特长
采用了直动泵，真空供给时无需压缩空气。
真空泵对应单元适合装配于小空间以及对应有高循环需求的行业。
适合安装空间（产品高度）有限制的客户。
小型化，轻量化。
实现高速且稳定的应答性。（ON/OFF=5msec 以下）
主阀采用直动式。
压力传感器可从4种模拟输出型中选择。
负压模拟输出传感器，带分离型LED压力显示器+负压模拟输出传感器，复合压力模拟输出传感器，带分离型LED压力显示器+复合压力模拟输出传感器。
将负压模拟输出传感器的导线适配器化，提高了配线效率与可维护性。
规格
基本规格
| 适用流体 | 空气(JIS B 8392-1：符合「等级1.2.1～2.4.3」)、真空 |
|---|---|
| 使用压力范围 | 0～0.55MPa |
| 使用真空压力 | -100～0kPa |
| 使用温度范围 | 5～50℃(不可冻结) |
| 使用湿度范围 | 35～85%RH(不可结露) |
| 防护等级 | 与IP40相当 |
| 耐振动性／冲击性 | 50m/s2以下／ 150m/s2以下 |
| 润滑油 | 不需要 |
| 耐压性(供气回路) | 0.85MPa |
| 耐压性(真空回路) | 0.2MPa |
※）此处的耐压性是指在产品不被破坏的前提下所能承受的压力，并不是指产品正常使用的压力。
电磁阀规格
| 额定电压 | DC24V ±10% |
|---|---|
| 消耗电力 | 启动时 2.2W、保持时 0.6W(内置节能电路 带LED) |
| 电涌保护电路 | 有 |
| 工作指示灯 | 通电时、绿色LED点亮 |
| 手动操作 | 无 |
真空供给主阀规格
| 驱动方式 | 直接驱动 |
|---|---|
| 阀功能 | 常闭 |
| 应答时间(OFF→ON) | 5msec |
| 应答时间(ON→OFF) | 5msec |
※）应答时间为稳定状态（供给-100～0kPa，环境温度20℃，施加电压DC24V±10%）时的数值。
真空破坏主阀规格
| 驱动方式 | 直接驱动 |
|---|---|
| 阀功能 | 常闭 |
| 应答时间(OFF→ON) | 5msec |
| 应答时间(ON→OFF) | 5msec |
※）应答时间为稳定状态（供给0.05～0.55MPa，环境温度20℃，施加电压DC24V±10%）时的数值。
真空破坏功能
| 破坏空气流量 | 0～20L/min[ANR] (0.5MPa供给时) |
|---|
※）真空破坏流量根据真空侧配管的直径和长度（管道阻力等）的改变而变化。
LED压力传感器规格(V4NC□：负压型/NPN输出)
| 适用流体 | 空气、非腐蚀性／惰性气体 |
|---|---|
| 压力检出方式 | 扩散型半导体压力开关 |
| 使用温度范围 | 0～50℃(不可冻结) |
| 保存温度范围 | -20～70℃(大气压、湿度65%RH以下)(不可冻结) |
| 使用湿度范围 | 35～85%RH(不可结露) |
| 耐振动 | 100m/s2 |
| 耐冲击 | 150m/s2 |
| 防护等级 | 与IP40相当 |
| 使用压力范围 | -100kPa～0kPa |
| 耐压 | 0.9MPa |
| 供给电源 | DC12～24V ±10%(含波动P-P) |
| 消耗电流 | 30mA以下(全点亮、2点输出无负载ON时) |
| 压力显示元件 | 带符号2位、7段红色LED |
| 显示次数 | 4次／秒 |
| 监测功能 | 压力超过显示、闪烁显示 |
| 屏幕锁定功能 | 根据按钮操作可选择有効／无效 |
| 显示／非显示機功能 | 根据按钮操作可选择有効／无效 |
| 显示精度 | ±3%F.S.(0～50℃、标准温度25℃) |
| 调零 | 使用调零模式 |
| 开关输出/输出点数 | 2点SW输出 |
| 开关输出/输出方式 | NPN集电极开路 |
| 开关输出/开关容量 | DC30V 80mA以下 |
| 开关输出/残留电压 | 1.2V以下(负载电流为80mA时) |
| 开关输出/输出操作 | 分离模式、窗口比较模式(可选) |
| 开关输出/压力设定范围 | -99～0(kPa) |
| 开关输出/操作显示 | 输出ON时：LED点亮(SW1：红／SW2：绿) |
| 开关输出/温度特性 | ±5%F.S.( 0～50℃、标准温度25℃) |
| 开关输出/重复精度 | ±0.3%F.S. |
| 开关输出/应答速度 | 过滤器设定0msec时：5msec、设定范围(可从0～99msec开始选择) |
| 开关输出/应差设定 | 0～30count |
| 开关输出/过载保护电路 | 有 |
| 模拟输出/输出点数 | 1点 |
| 模拟输出/输出电压 | 1～5V |
| 模拟输出/零点电压(0kPa) | 1 ±0.06V |
| 模拟输出/负压施加时电压(-90kPa) | 4.6 ±0.06V |
| 模拟输出/输出电流 | 1mA(MAX) |
| 模拟输出/线性度 | ±0.5%F.S. |
| 模拟输出/重复精度 | ±0.5%F.S. |
| 模拟输出/温度特性 | 5%F.S.(0～50℃、标准温度25℃) |
LED压力传感器规格(V4PC□：负压型/PNP输出)
| 适用流体 | 空气、非腐蚀性／惰性气体 |
|---|---|
| 压力检出方式 | 扩散型半导体压力开关 |
| 使用温度范围 | 0～50℃(不可冻结) |
| 保存温度范围 | -20～70℃(大气压、湿度65%RH以下)(不可冻结) |
| 使用湿度范围 | 35～85%RH(不可结露) |
| 耐振动 | 100m/s2 |
| 耐冲击 | 150m/s2 |
| 防护等级 | 与IP40相当 |
| 使用压力范围 | -100kPa～0kPa |
| 耐压 | 0.9MPa |
| 供给电源 | DC12～24V ±10%(含波动P-P) |
| 消耗电流 | 30mA以下(全点亮、2点输出无负载ON时) |
| 压力显示元件 | 带符号2位、7段红色LED |
| 显示次数 | 4次／秒 |
| 监测功能 | 压力超过显示、闪烁显示 |
| 屏幕锁定功能 | 根据按钮操作可选择有効／无效 |
| 显示／非显示機功能 | 根据按钮操作可选择有効／无效 |
| 显示精度 | ±3%F.S.(0～50℃、标准温度25℃) |
| 调零 | 使用调零模式 |
| 开关输出/输出点数 | 2点SW输出 |
| 开关输出/输出方式 | PNP集电极开路 |
| 开关输出/开关容量 | DC26.4V 80mA以下 |
| 开关输出/残留电压 | 1.2V以下(负载电流为80mA时) |
| 开关输出/输出操作 | 分离模式、窗口比较模式(可选) |
| 开关输出/压力设定范围 | -99～0(kPa) |
| 开关输出/操作显示 | 输出ON时：LED点亮(SW1：红／SW2：绿) |
| 开关输出/温度特性 | ±5%F.S.( 0～50℃、标准温度25℃) |
| 开关输出/重复精度 | ±0.3%F.S. |
| 开关输出/应答速度 | 过滤器设定0msec时：5msec、设定范围(可从0～99msec开始选择) |
| 开关输出/应差设定 | 0～30count |
| 开关输出/过载保护电路 | 有 |
| 模拟输出/输出点数 | 1点 |
| 模拟输出/输出电压 | 1～5V |
| 模拟输出/零点电压(0kPa) | 1 ±0.06V |
| 模拟输出/负压施加时电压(-90kPa) | 4.6 ±0.06V |
| 模拟输出/输出电流 | 1mA(MAX) |
| 模拟输出/线性度 | ±0.5%F.S. |
| 模拟输出/重复精度 | ±0.5%F.S. |
| 模拟输出/温度特性 | 5%F.S.(0～50℃、标准温度25℃) |
LED压力传感器规格(V4RNC□：复合压力型/NPN输出)
| 适用流体 | 空气、非腐蚀性／惰性气体 |
|---|---|
| 压力检出方式 | 扩散型半导体压力开关 |
| 使用温度范围 | 0～50℃(不可冻结) |
| 保存温度范围 | -20～70℃(大气压、湿度65%RH以下)(不可冻结) |
| 使用湿度范围 | 35～85%RH(不可结露) |
| 耐振动 | 100m/s2 |
| 耐冲击 | 150m/s2 |
| 防护等级 | 与IP40相当 |
| 使用压力范围 | -100kPa～300kPa |
| 耐压 | 1.4MPa |
| 供给电源 | DC12～24V ±10%(含波动P-P) |
| 消耗电流 | 30mA以下(全点亮、2点输出无负载ON时) |
| 压力显示元件 | 带符号2位、7段红色LED |
| 显示次数 | 4次／秒 |
| 监测功能 | 压力超过显示、闪烁显示 |
| 屏幕锁定功能 | 根据按钮操作可选择有効／无效 |
| 显示／非显示機功能 | 根据按钮操作可选择有効／无效 |
| 显示精度 | ±3%F.S.(0～50℃、标准温度25℃) |
| 调零 | 使用调零模式 |
| 开关输出/输出点数 | 2点SW输出 |
| 开关输出/输出方式 | NPN集电极开路 |
| 开关输出/开关容量 | DC30V 80mA以下 |
| 开关输出/残留电压 | 1.2V以下(负载电流为80mA时) |
| 开关输出/输出操作 | 分离模式、窗口比较模式(可选) |
| 开关输出/压力设定范围 | -99～0(kPa)、0～0.30(MPa) |
| 开关输出/操作显示 | 输出ON时：LED点亮(SW1：红／SW2：绿) |
| 开关输出/温度特性 | ±5%F.S.( 0～50℃、标准温度25℃) |
| 开关输出/重复精度 | ±0.3%F.S. |
| 开关输出/应答速度 | 过滤器设定0msec时：5msec、设定范围(可从0～99msec开始选择) |
| 开关输出/应差设定 | 0～30count |
| 开关输出/过载保护电路 | 有 |
| 模拟输出/输出点数 | 1点 |
| 模拟输出/输出电压 | 1～5V |
| 模拟输出/零点电压(0kPa) | 2 ±0.06V |
| 模拟输出/负压施加时电压(-90kPa) | 1.1 ±0.06V |
| 模拟输出/施加最大正压时电压 | 5 ±0.06V |
| 模拟输出/输出电流 | 1mA(MAX) |
| 模拟输出/线性度 | ±0.5%F.S. |
| 模拟输出/重复精度 | ±0.5%F.S. |
| 模拟输出/温度特性 | 5%F.S.(0～50℃、标准温度25℃) |
LED压力传感器规格(V4RPC□：复合压力型/PNP输出)
| 适用流体 | 空气、非腐蚀性／惰性气体 |
|---|---|
| 压力检出方式 | 扩散型半导体压力开关 |
| 使用温度范围 | 0～50℃(不可冻结) |
| 保存温度范围 | -20～70℃(大气压、湿度65%RH以下)(不可冻结) |
| 使用湿度范围 | 35～85%RH(不可结露) |
| 耐振动 | 100m/s2 |
| 耐冲击 | 150m/s2 |
| 防护等级 | 与IP40相当 |
| 使用压力范围 | -100kPa～300kPa |
| 耐压 | 1.4MPa |
| 供给电源 | DC12～24V ±10%(含波动P-P) |
| 消耗电流 | 30mA以下(全点亮、2点输出无负载ON时) |
| 压力显示元件 | 带符号2位、7段红色LED |
| 显示次数 | 4次／秒 |
| 监测功能 | 压力超过显示、闪烁显示 |
| 屏幕锁定功能 | 根据按钮操作可选择有効／无效 |
| 显示／非显示機功能 | 根据按钮操作可选择有効／无效 |
| 显示精度 | ±3%F.S.(0～50℃、标准温度25℃) |
| 调零 | 使用调零模式 |
| 开关输出/输出点数 | 2点SW输出 |
| 开关输出/输出方式 | PNP集电极开路 |
| 开关输出/开关容量 | DC26.4V 80mA以下 |
| 开关输出/残留电压 | 1.2V以下(负载电流为80mA时) |
| 开关输出/输出操作 | 分离模式、窗口比较模式(可选) |
| 开关输出/压力设定范围 | -99～0(kPa)、0～0.30(MPa) |
| 开关输出/操作显示 | 输出ON时：LED点亮(SW1：红／SW2：绿) |
| 开关输出/温度特性 | ±5%F.S.( 0～50℃、标准温度25℃) |
| 开关输出/重复精度 | ±0.3%F.S. |
| 开关输出/应答速度 | 过滤器设定0msec时：5msec、设定范围(可从0～99msec开始选择) |
| 开关输出/应差设定 | 0～30count |
| 开关输出/过载保护电路 | 有 |
| 模拟输出/输出点数 | 1点 |
| 模拟输出/输出电压 | 1～5V |
| 模拟输出/零点电压(0kPa) | 2 ±0.06V |
| 模拟输出/负压施加时电压(-90kPa) | 1.1 ±0.06V |
| 模拟输出/施加最大正压时电压 | 5 ±0.06V |
| 模拟输出/输出电流 | 1mA(MAX) |
| 模拟输出/线性度 | ±0.5%F.S. |
| 模拟输出/重复精度 | ±0.5%F.S. |
| 模拟输出/温度特性 | 5%F.S.(0～50℃、标准温度25℃) |
无压力显示压力传感器规格(V1C□、1点模拟输出负压)
| 接线方式 | 适配器方式 |
|---|---|
| 额定电压 | DC10.8～30V(含波动) |
| 消耗流量 | 20mA以下(DC24V无负载) |
| 压力检出方式 | 扩散型半导体压力开关、表压 |
| 使用压力范围 | -100～0kPa |
| 耐压力 | 1MPa |
| 存放温度范围 | -20～70℃(大气压、湿度：65%RH以下) |
| 工作温度范围 | 0～60℃(不可冻结) |
| 工作湿度范围 | 35～85%RH(不可结露) |
| 防护等级 | 与IP40相当 |
| 模拟输出/输出电压 | 1～5V |
| 模拟输出/零点电压 | 1±0.04V(＝大气压时) |
| 模拟输出/指定压力点电压 | 4.6 ±0.04V(＝-90kPa時) |
| 模拟输出/最大压力点电压 | 5±0.04V(＝-100kPa时) |
| 模拟输出/线性度 | ±0.5%F.S.以下(标准温度25℃) |
| 模拟输出/温度特性 | ±2%F.S.以下(0～60℃、标准温度25℃) |
| 模拟输出/输出电流 | 0.495mA以下(负载电阻：10Ω) |
| 模拟输出/输出阻抗 | 1kΩ |
※）由于反复施加压力而产生的「零点电压」、「跨步电压」以及「开关输出设定值」的允许变化范围为±3％F.S。
无压力显示压力传感器规格(R1、1点模拟输出复合压力)
| 接线方式 | 环型接线式 |
|---|---|
| 额定电压 | DC10.8～30V(含波动) |
| 消耗流量 | 20mA以下(DC24V无负载) |
| 压力检出方式 | 扩散型半导体压力开关、表压 |
| 使用压力范围 | -100～300kPa |
| 耐压力 | 600kPa |
| 存放温度范围 | -20～70℃(大气压、湿度：65%RH以下) |
| 工作温度范围 | 0～60℃(不可冻结) |
| 工作湿度范围 | 35～85%RH(不可结露) |
| 防护等级 | 与IP40相当 |
| 模拟输出/输出电压 | 1～5V |
| 模拟输出/零点电压 | 1±0.1V(＝-100kPa时) |
| 模拟输出/最大压力点电压 | 5±0.1V(＝300kPa时) |
| 模拟输出/线性度 | ±0.5%F.S.以下(标准温度25℃) |
| 模拟输出/温度特性 | ±2%F.S.以下 |
| 模拟输出/输出电流 | 1mA以下(负载电阻：5Ω) |
※）由于反复施加压力而产生的「零点电压」、「跨步电压」以及「开关输出设定值」的允许变化范围为±3％F.S。
适用尺寸
真空端口管子尺寸
| 毫米(mm) | φ3, φ4 |
|---|
真空供给端口管子尺寸
单体型
| 毫米(mm) | φ3, φ4 |
|---|
底座型
| 毫米(mm) | φ4, φ6, φ8 |
|---|
真空破坏空气供给端口管子尺寸
单体型
| 毫米(mm) | φ3, φ4 |
|---|
毫米(mm)；底座型
| 毫米(mm) | φ4, φ6, φ8 |
|---|
导购
单体型
底座型
单体型用支架（选购）
单体型用滤芯（维修备件）
负压用带模拟输出压力传感器适配器导线（维修备件）
带LED显示输出压力传感器适配器导线（维修备件）
个别注意事项
警告
1.请参考电子版产品目录的拧紧扭矩来紧固螺丝。产品的安装拧紧扭矩请参考「固定方法」，电磁阀的拧紧扭矩请参考「1.滤芯的更换方法」。如果拧紧不当，可能会导致漏气、产品掉落或部件损坏。
2.在本产品连续通电大约15 分钟以上时，请将通电次数控制在1天10 次以下。
3.本产品的电磁阀使用电流控制电路，该电路具有在线圈保持通电时减小电流值的结构。请勿使本产品受到超出规格的振动或冲击。否则可能会导致阀故障。
注意
1.本产品未附带真空过滤器。请务必与碧士克的真空过滤器系列产品配合使用。如果不使用真空过滤器，则吸入的灰尘会聚集在产品内部，从而导致真空性能下降，电磁阀泄漏或故障。（推荐使用真空过滤器：VFU系列，VFJ系列）
对应真空泵单元模块系列的常见问题
FVUS011-NWや、FVXS-DW-1は、製品自体の形式ではなく製品に搭載された「センサ」の形式となります。製品の正式な形式は、本体にレーザーマーキング（またはラベリング）されています。FVUS011-**は真空発生器VK、FVXS-**は真空発生器VX（真空ポンプ対応ユニットVXP/VXPT）に搭載されたセンサの形式となります。
弊社の真空発生器総合タイプ（真空ポンプ対応ユニット）の形式は「V」から始まる形式となります。（VG…、VQ…など）
センサ形式は、FV…などで始まる形式で【PRESSURE SWITCH】と書かれている場合もあります。
センサ形式は、センサ付仕様のみに記載されています。
真空発生器総合タイプ（真空ポンプ対応ユニット）の形式およびセンサ形式の識別は、以下の写真を参考にしてください。
真空発生器VK(単体タイプ)
真空発生器VK(マニホールドタイプ)
マニホールドの場合、製品形式(VKM…)はブロックプレートの後側に記載されています。
真空発生器VX（真空ポンプ対応ユニットVX/VXP）（単体タイプ）
真空発生器VX（真空ポンプ対応ユニットVX/VXP）(マニホールドタイプ)
マニホールドの場合、製品形式(VXM…)はブロックプレートの後側に記載されています。
その他の真空発生器総合タイプ
製品名や外観が似ていますが、使用用途・目的が異なります。
真空発生器 総合タイプは、圧縮エアを供給することにより真空エアを発生させて制御を行う機器です。
一方、真空ポンプ対応ユニットは真空発生はせず、真空ポンプ等の別の真空源の真空エアを使用して、真空エアを制御する機器です。（ただし、破壊エア回路のパイロットバルブを駆動させるための圧縮エアの供給は必要です。）
また、ピスコの真空発生器には、小型で取付けやすい単体タイプもあります。（ただし、制御機能はありません。）
バルブを操作しない状態（ノーマル位置）での、バルブの位置を示します。
ノーマルクローズタイプ（略称Ｎ.Ｃ.）
ノーマル位置が常時閉。操作（または通電）すると開きます。
ノーマルオープンタイプ（略称Ｎ.Ｏ.）
ノーマル位置が常時開。操作（または通電）すると閉じます。
弁を操作しない状態で、入口と出口が通じています。
圧力の表し方は2種類あり、「絶対圧」と「ゲージ圧」によるものがあります。
絶対圧
絶対真空の圧力を0基準にした圧力が「絶対圧力」です。
空気圧の流量計算などに使用されます。
単位の最後に「abs」がつきます（例：10 kPa abs）
ゲージ圧
計測場所、計測時の大気圧を圧力0として測った圧力が「ゲージ圧力」です。
大気圧を基準に、1cm2の面積にどれだけの圧力がかかっているかを表します。一般的な圧力計に使われる圧力です。大気圧より高いゲージ圧を「正圧」、低い圧力を「負圧」と呼びます。
トルは、SI単位であるパスカル（Pa）（ヘクトパスカル（hPa））が使用される前に、汎用的に使われていた圧力や真空度を表す単位です。（絶対真空は0Torr、標準大気は760Torrとなります）
トルは「水銀柱ミリメートル (mmHg)」 と同じ単位の別名でもあり、非SI単位ですが、現在も多くの分野で使用されています。
1Torr = 133.32Pa、
1気圧 = 1013hPa = 1.01325x105 Pa = 760Torr
* パスカルは、天気予報で使われるヘクトパスカルの1/100。
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