气源处理装置

中空纤维膜过滤器

通过RoHS2认证

采用了中空纤维膜，实现了过滤度为0.01μm，过滤率为99.99％。
最适用于半导体、计测器、印刷、医疗行业。

树脂
  • 主要树脂部件采用了PBT。PBT：最适用于通常环境的标准树脂材料。
金属
  • 主要金属部件采用了SUS304。SUS304：最适用于有一定强度要求或化学药剂环境内。
密封橡胶
  • 密封橡胶材料采用了FKM。FKM：具有优异的耐热性、耐化学药剂性，耐臭氧性。
  • 流路中没有使用以铜为主要成分的金属材料。
  • 密封橡胶材料采用了HNBR或FKM。※)一部分产品仅对应流路部分。
  • 组装时不使用润滑油。
  • 采用了氟系润滑油，用洁净空气清洁后在无尘室内进行包装。
CAD数据 产品目录

特长

采用了中空纤维膜，实现了过滤度为0.01μm，过滤率为99.99％。
最适用于半导体、计测器、印刷、医疗行业。

小型、轻量并大流量。

附加了防爆功能。

在过滤器外面包覆着树脂本体。

产品为无油规格，材料皆为不锈钢。

标准包装为无尘室包装规格。

规格

共通规格

使用流体(※1) 空气、氮气
最高使用压力(※3) 1.0MPa (20℃)
使用温度范围 5～50℃
过滤度(※2) 0.01μm（过滤率：99.99％）
耐压力 1.5MPa (20℃)
耐差压力 0.25MPa(20℃)
其他特记事项 附带防爆外壳，无油规格

※1）如要使用上述以外的气体时，请咨询碧士克。

※2）根据碧士克测定条件。

警告

※3）如使用于其他温度时，请参考「使用温度与最高使用压力关系图」。使用流体为氮气时，最高使用压力为0.99MPa（20℃）。

MFU50-44, MFU50-66, MFU50-88

最大处理流量(※1) 50L/min(ANR)
纤维膜面积 107cm2

※4）输入侧压力为0.7MPa，压力损失为0.03MPa时的流量。最大处理流量根据接头尺寸不同而变化，请参考电子版产品目录的「压力损失特性直线图」。

MFU100-66, MFU100-88, MFU100-1010

最大处理流量(※1) 100L/min(ANR)
纤维膜面积 215cm2

※4）输入侧压力为0.7MPa，压力损失为0.03MPa时的流量。最大处理流量根据接头尺寸不同而变化，请参考电子版产品目录的「压力损失特性直线图」。

适用尺寸

管子尺寸

毫米(mm) φ4, φ6, φ8, φ10

特性图

结构图

导购

形状与价格一览

选配件/维修备件

中空纤维膜过滤器固定座

中空纤维膜过滤器的固定架。

选配件/维修备件

个别注意事项

警告

1.请对中空纤维膜过滤器中的MFU中空纤维膜进行定期维护。如中空纤维膜发生堵塞，可能会造成性能下降或故障。当使用超过一年或压力损失超过0.1Mpa时，请更换新的产品。

2.请勿在室外或阳光直射的地方使用或存放。直射阳光和紫外线可能会使中空纤维膜和灌封剂变质，并可能导致滤性能明显降低。

3.本产品的防爆功能是为了防止过滤器外壳破损时飞溅，而不是防止过滤器外壳本身破损。

4.请勿在以下液体和操作环境中使用。腐蚀性气体，有机溶剂，化学药品，水（水蒸气），过度潮湿，灰尘，含油雾的空气（氮气）等。

注意

1.由于配管内的灰尘、锈渣、密封胶带等可能会造成管道堵塞。因此，在配管前，请用洁净空气吹洗管道内部。另外，进行配管时，为了减少来自连接部的灰尘影响，请务必使用洁净空气从进气方向吹洗管道。

2.本产品的过滤器滤芯不可更换。

3.中空纤维可能会因使用状况而发生缠绕，对性能没有影响。

气源处理装置系列的常见问题

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