压力计/传感器
双屏双色带数码显示流量传感器21
可进行流量管理与小型工件的吸着确认。
特长
可进行流量管理与小型工件的吸着确认。
高精度：±3％F.S.以下。
可正确计测流量。
高速应答：50msec以下。
采用了运用于硅微加工的白金传感器芯片，实现了高速应答。可缩短循环工时。
可选针型阀一体型产品。
可调节流量的针型阀与传感器一体化，省去了配管时间。并且可节省空间。
可计测双向流量。
双向型可设定任意流向进行计测。提升了配管安装的自由度，并可作为逆流检出使用。
更易于使用的显示功能。
配备了安装方向上下颠倒也可自动翻转的显示功能。
双屏双色显示功能提高了可操作性。
主屏与副屏提高了可操作性。双色显示对于异常情况可一目了然。
可对应各种安装方法。
可选购支架安装、面板安装、DIN导轨安装。
无需直管部分。
上流侧与下流侧均无需直管部分。
具有丰富的连接形式。
标配有英寸产品。
配备设定复制功能。
主动侧的设定可以复制到被动侧。
对应5种气体。
带气体种类切换功能。
规格
共通规格
| 适用流体(※1) | 清洁空气 (JIS B 8392-1:2012 1.1.1 ~ 5.6.2)、压缩空气 (JIS B 8392-1:2012 1.1.1 ~ 1.6.2)、氮气、氩气、二氧化碳、混合气体（氩气+二氧化碳） |
|---|---|
| 温度范围 | 0～50ºC (不可结露) |
| 压力范围 | -0.09MPa～0.75MPa |
| 耐压力 | 1MPa |
| 使用环境温度・湿度 | 0～50ºC、90%RH以下 |
| 存放温度 | -10～60℃ |
| 精度(※2)(※3) | ±3%F.S.以内（排气侧为大气直排）（保证范围根据「测定流量范围」） |
| 重复精度(※4) | ±1%F.S.以内（以排气侧大气直排为基准） |
| 温度特性 | ±0.2%F.S.／ºC以内（15 ~ 35ºC、以25ºC为基准） |
| 压力特性 | ±5%F.S.以内（以排气侧大气直排为基准）／流量201型：±5%F.S.以内（0.35MPa基准） |
| 应答时间(※5) | 50msec以下（应答时间设为OFF时） |
| 开关输出(NV/NVC/NA/NAC) | NPN集电极开路输出（50mA以下、电压降2.4V以下) |
| 开关输出(PV/PVC/PA/PAC) | PNP集电极开路输出（50mA以下、电压降2.4V以下) |
| 模拟输出(※6)(NV/NVC/PV/PVC) | 1 ~ 5V电压输出（连接负载电阻50kΩ以上） |
| 模拟输出(※6)(NA/NAC/PA/PAC) | 4 ~ 20mA电流输出（连接负载电阻0 ~ 300Ω） |
| 电源电压(※7) (NV/NVC/PV/PVC) | DC12 ~ 24V（10.8 ~ 26.4V） 波动率1%以下 |
| 电源电压(※7) (NA/NAC/PA/PAC) | DC24V（21.6 ~ 26.4V） 波动率1%以下 |
| 消耗电流(※8) | 45mA以下 |
| 导线 | ø3.7 相当于AWG26x5芯 (适配器连接)、绝缘体外径ø1.0 |
| 各种功能(※9) | ①气体种类切换、②设定复制功能、③流量积算、④峰值保持、其他 |
| 保护等级 | 相当于IP40 |
| 保护回路(※10) | 电源逆接保护、开关输出逆接保护、开关输出负载短路保护 |
| 耐振动 | 10〜150Hz、最大100m/s²、XYZ方向、各2小时 |
| EMC指令 | EN55011、EN61000-6-2、EN61000-4-2/3/4/6/8 |
| 安装方式(※11) | 横向纵向皆可 |
| 直管导入(※12) | 不需要 |
※1） 请使用不含氯、硫磺、酸等具有腐蚀性成分的干燥气体和不含灰尘以及油雾的清洁空气。使用压缩空气时，请使用符合JIS B 8392-1：2012 等级 1.1.1～1.6.2的清洁空气。空压机的压缩空气含有水分、氧化油、异物等杂质。为了维持本产品的正常使用，请在本产品的供气侧安装过滤器、干燥器（最低压力露点10℃以下）以及油雾器（最大油分浓度为0.1mg/m3）。
※2）调节与检查本产品时，使用压缩空气。使用空气以外的气体时，精度为约值。
※3）精度以碧士克的基准流量计为标准，并非表示绝对精度。 精度±3%F.S.不含重复精度、温度特性、压力特性。 并请考虑实际的使用环境与条件。
※4）短时间内的重复性。不随时间的推移而变化。
※5）实际的应答时间根据配管条件而变化。应答时间设定的约值可选择50msec～1.5sec。
※6） 模拟输出电压输出型的输出电阻约为1kΩ。连接负载的电阻为低值时，会与输出值的误差增大。请使用前确认与连接负载电阻的误差。
※7） 请注意电压输出型与电流输出型的电源电压规格不同。
※8） DC24V连接为未连接负载时的电流。请注意，根据负载的连接状况，消耗电流会发生变化。
※9）气体种类切换功能可以切换氩气、二氧化碳、氩气80%＋二氧化碳20%。 切换二氧化碳的全量程流量为流量范围的一半。模拟输出可以选择输出类型。
※10） 本产品的保护电路对于特定的误接线与负载短路起有效保护作用，但并非对所有的误接线起有效保护。
※11）本产品是根据流体流动的热分布变化进行测定。如纵向设置，对流会影响热分布而发生变化，可能导致零点偏移。
※12）根据配管条件，可能会发生影响精度的情况。为了更高精度的测量，请配备相当于配管内径10倍的直管部分。
流量范围0.5L/min型规格
| 全量程流量 | 0.5L/min |
|---|---|
| 流向 | F:单向／R：双向 |
| 测定流量范围(※1)(F) | 15~500mL/min |
| 测定流量范围(※1)(R) | -500~-15, 15~500mL/min |
| 显示种类 | 4位＋4位 双色LCD |
| 测定显示范围(※2)(F) | -49~549mL/min |
| 测定显示范围(※2)(R) | -549~549mL/min |
| 积算显示 (※3)范围 | 0～±9999999mL |
| 积算显示 (※3)脉冲输出率 | 5mL |
※1） 本产品所显示的流量是从重量流量换算到体积流量的值。在20℃、1个大气压（101kPa）、相对湿度为65%RH时，将测得的重量流量换算成体积流量并显示。（空气以外的气体则按照20℃、1个大气压（101kPa）、相对湿度0%RH）。
※2）关于各种流量的显示请参考以下。
※3）积算流量为计算值（参考）。使用积算值保存功能时，请注意保存次数不能超过记忆元素的访问次数（最大100万次）。（各种设定的变更也会被记入访问次数。）瞬间流量为1%以下时，不会作为积算流量被记入。
流量范围1L/min型规格
| 全量程流量 | 1L/min |
|---|---|
| 流向 | F:单向／R：双向 |
| 测定流量范围(※1)(F) | 30~100mL/min |
| 测定流量范围(※1)(R) | -1000~-30, 30~1000mL/min |
| 显示种类 | 4位＋4位 双色LCD |
| 测定显示范围(※2)(F) | -99~1099mL/min |
| 测定显示范围(※2)(R) | -1099~1099mL/min |
| 积算显示 (※3)范围 | 0～±9999999mL |
| 积算显示 (※3)脉冲输出率 | 10mL |
※1） 本产品所显示的流量是从重量流量换算到体积流量的值。在20℃、1个大气压（101kPa）、相对湿度为65%RH时，将测得的重量流量换算成体积流量并显示。（空气以外的气体则按照20℃、1个大气压（101kPa）、相对湿度0%RH）。
※2）关于各种流量的显示请参考以下。
※3）积算流量为计算值（参考）。使用积算值保存功能时，请注意保存次数不能超过记忆元素的访问次数（最大100万次）。（各种设定的变更也会被记入访问次数。）瞬间流量为1%以下时，不会作为积算流量被记入。
流量范围2L/min型规格
| 全量程流量 | 2L/min |
|---|---|
| 流向 | F:单向／R：双向 |
| 测定流量范围(※1)(F) | 0.06~2.00L/min |
| 测定流量范围(※1)(R) | -2.00~-0.06, 0.06~2.00L/min |
| 显示种类 | 4位＋4位 双色LCD |
| 测定显示范围(※2)(F) | -0.19~2.19L/min |
| 测定显示范围(※2)(R) | -2.19~2.19L/min |
| 积算显示 (※3)范围 | 0.00～±99999.99L |
| 积算显示 (※3)脉冲输出率 | 0.02L |
※1） 本产品所显示的流量是从重量流量换算到体积流量的值。在20℃、1个大气压（101kPa）、相对湿度为65%RH时，将测得的重量流量换算成体积流量并显示。（空气以外的气体则按照20℃、1个大气压（101kPa）、相对湿度0%RH）。
※2）关于各种流量的显示请参考以下。
※3）积算流量为计算值（参考）。使用积算值保存功能时，请注意保存次数不能超过记忆元素的访问次数（最大100万次）。（各种设定的变更也会被记入访问次数。）瞬间流量为1%以下时，不会作为积算流量被记入。
流量范围5L/min型规格
| 全量程流量 | 5L/min |
|---|---|
| 流向 | F:单向／R：双向 |
| 测定流量范围(※1)(F) | 0.15~5.00L/min |
| 测定流量范围(※1)(R) | -5.00~-0.15, 0.15~5.00L/min |
| 显示种类 | 4位＋4位 双色LCD |
| 测定显示范围(※2)(F) | -0.49~5.49L/min |
| 测定显示范围(※2)(R) | -5.49~5.49L/min |
| 积算显示 (※3)范围 | 0.00～±99999.99L |
| 积算显示 (※3)脉冲输出率 | 0.05L |
※1） 本产品所显示的流量是从重量流量换算到体积流量的值。在20℃、1个大气压（101kPa）、相对湿度为65%RH时，将测得的重量流量换算成体积流量并显示。（空气以外的气体则按照20℃、1个大气压（101kPa）、相对湿度0%RH）。
※2）关于各种流量的显示请参考以下。
※3）积算流量为计算值（参考）。使用积算值保存功能时，请注意保存次数不能超过记忆元素的访问次数（最大100万次）。（各种设定的变更也会被记入访问次数。）瞬间流量为1%以下时，不会作为积算流量被记入。
流量范围10L/min型规格
| 全量程流量 | 10L/min |
|---|---|
| 流向 | F:单向／R：双向 |
| 测定流量范围(※1)(F) | 0.30~10.00L/min |
| 测定流量范围(※1)(R) | -10.00~-0.30, 0.30~10.00L/min |
| 显示种类 | 4位＋4位 双色LCD |
| 测定显示范围(※2)(F) | -0.99~10.99L/min |
| 测定显示范围(※2)(R) | -10.99~10.99L/min |
| 积算显示 (※3)范围 | 0.00～±99999.99L |
| 积算显示 (※3)脉冲输出率 | 0.1L |
※1） 本产品所显示的流量是从重量流量换算到体积流量的值。在20℃、1个大气压（101kPa）、相对湿度为65%RH时，将测得的重量流量换算成体积流量并显示。（空气以外的气体则按照20℃、1个大气压（101kPa）、相对湿度0%RH）。
※2）关于各种流量的显示请参考以下。
※3）积算流量为计算值（参考）。使用积算值保存功能时，请注意保存次数不能超过记忆元素的访问次数（最大100万次）。（各种设定的变更也会被记入访问次数。）瞬间流量为1%以下时，不会作为积算流量被记入。
流量范围20L/min型规格
| 全量程流量 | 20L/min |
|---|---|
| 流向 | F:单向／R：双向 |
| 测定流量范围(※1)(F) | 0.6~20.0L/min |
| 测定流量范围(※1)(R) | -20.0~-0.6, 0.6~20.0L/min |
| 显示种类 | 4位＋4位 双色LCD |
| 测定显示范围(※2)(F) | -1.9~21.9L/min |
| 测定显示范围(※2)(R) | -21.9~21.9L/min |
| 积算显示 (※3)范围 | 0.0～±999999.9L |
| 积算显示 (※3)脉冲输出率 | 0.2L |
※1） 本产品所显示的流量是从重量流量换算到体积流量的值。在20℃、1个大气压（101kPa）、相对湿度为65%RH时，将测得的重量流量换算成体积流量并显示。（空气以外的气体则按照20℃、1个大气压（101kPa）、相对湿度0%RH）。
※2）关于各种流量的显示请参考以下。
※3）积算流量为计算值（参考）。使用积算值保存功能时，请注意保存次数不能超过记忆元素的访问次数（最大100万次）。（各种设定的变更也会被记入访问次数。）瞬间流量为1%以下时，不会作为积算流量被记入。
流量范围50L/min型规格
| 全量程流量 | 50L/min |
|---|---|
| 流向 | F:单向／R：双向 |
| 测定流量范围(※1)(F) | 1.5~50.0L/min |
| 测定流量范围(※1)(R) | -50.0~-1.5, 1.5~50.0L/min |
| 显示种类 | 4位＋4位 双色LCD |
| 测定显示范围(※2)(F) | -4.9~54.9L/min |
| 测定显示范围(※2)(R) | -54.9~54.9L/min |
| 积算显示 (※3)范围 | 0.0～±999999.9L |
| 积算显示 (※3)脉冲输出率 | 0.5L |
※1） 本产品所显示的流量是从重量流量换算到体积流量的值。在20℃、1个大气压（101kPa）、相对湿度为65%RH时，将测得的重量流量换算成体积流量并显示。（空气以外的气体则按照20℃、1个大气压（101kPa）、相对湿度0%RH）。
※2）关于各种流量的显示请参考以下。
※3）积算流量为计算值（参考）。使用积算值保存功能时，请注意保存次数不能超过记忆元素的访问次数（最大100万次）。（各种设定的变更也会被记入访问次数。）瞬间流量为1%以下时，不会作为积算流量被记入。
流量范围100L/min型规格
| 全量程流量 | 100L/min |
|---|---|
| 流向 | F:单向／R：双向 |
| 测定流量范围(※1)(F) | 3.0~100.0L/min |
| 测定流量范围(※1)(R) | -100.0~-3.0, 3.0~100.0L/min |
| 显示种类 | 4位＋4位 双色LCD |
| 测定显示范围(※2)(F) | -9.9~109.9L/min |
| 测定显示范围(※2)(R) | -109.9~109.9L/min |
| 积算显示 (※3)范围 | 0.0～±999999.9L |
| 积算显示 (※3)脉冲输出率 | 1L |
※1） 本产品所显示的流量是从重量流量换算到体积流量的值。在20℃、1个大气压（101kPa）、相对湿度为65%RH时，将测得的重量流量换算成体积流量并显示。（空气以外的气体则按照20℃、1个大气压（101kPa）、相对湿度0%RH）。
※2）关于各种流量的显示请参考以下。
※3）积算流量为计算值（参考）。使用积算值保存功能时，请注意保存次数不能超过记忆元素的访问次数（最大100万次）。（各种设定的变更也会被记入访问次数。）瞬间流量为1%以下时，不会作为积算流量被记入。
流量范围200L/min型规格
| 全量程流量 | 200L/min |
|---|---|
| 流向 | F:单向／R：双向 |
| 测定流量范围(※1)(F) | 6~200L/min |
| 测定流量范围(※1)(R) | -200~-6, 6~200L/min |
| 显示种类 | 4位＋4位 双色LCD |
| 测定显示范围(※2)(F) | -19~219L/min |
| 测定显示范围(※2)(R) | -219~216L/min |
| 积算显示 (※3)范围 | 0～±9999999L |
| 积算显示 (※3)脉冲输出率 | 2L |
※1） 本产品所显示的流量是从重量流量换算到体积流量的值。在20℃、1个大气压（101kPa）、相对湿度为65%RH时，将测得的重量流量换算成体积流量并显示。（空气以外的气体则按照20℃、1个大气压（101kPa）、相对湿度0%RH）。
※2）关于各种流量的显示请参考以下。
※3）积算流量为计算值（参考）。使用积算值保存功能时，请注意保存次数不能超过记忆元素的访问次数（最大100万次）。（各种设定的变更也会被记入访问次数。）瞬间流量为1%以下时，不会作为积算流量被记入。
适用尺寸
管子尺寸
| 毫米(mm) | φ4, φ6, φ8, φ10 |
|---|---|
| 英寸 | φ1/4", φ3/8" |
特性图
电路图
结构图
形状与价格一览
个别注意事项
警告
1.由于本产品未符合日本的计量法以及与计量法等同的各国法律，所以请不要使用于商业交易。
2.请使用不含氯、硫磺、酸等具有腐蚀性成分的干燥气体和不含灰尘以及油雾的清洁空气。根据流体性质不同，如将流体长时间滞留可能会给产品性能带来不良影响。请不要将流体长时间密闭于配管内。如异物（配管内的灰尘、水滴、油雾等）流入本产品内，可能会造成产品的精度和可控性降低，导致故障。如有可能流入异物时，请在本产品的供气侧安装过滤器、干燥器以及油雾器。
3.阀的润滑油与磨损粉尘的飞散可能造成本产品发生故障。请在本产品的进气侧使用无油规格的电磁阀，并请安装过滤器。
4.如将液化气体使用于本产品会导致故障。如需使用二氧化碳等液化气体，请先进行气化后再使用。
注意
1.如超过测定流量范围2倍，虽然不会马上造成产品故障，但是不能常用，请确保使用于规定范围。
2.如使用于超过测定范围，如超过最高使用压力或低于最低使用压力时可能造成产品故障。 在-0.09MPa以下的真空环境下通电，会导致传感器难以散热并加速老化。 在正常压力范围内，根据本产品的进气侧和排气侧的压力条件，流入过大流量也可能会导致产品内部的传感器发生异常。请设置开放回路或节流等措施，以免过大流量流入本产品。请特别注意使用高压力时，很容易形成过大流量。
3.本产品的针型阀在规格上允许一定程度的泄露。所以不可将本产品作为不允许泄露的逆止阀使用。
4.流路内并非不发尘。如需避免发尘情况，请与中空纤维膜过滤器（MFU系列）一起使用。
5.用于吸附确认等场合时，请注意以下事项。 ①请务必在吸入侧的上游安装空滤器，防止吸入异物与水分。 ②考虑到大气露点与本产品的环境温度，请使用于配管内不结露的环境。 ③使用于真空吸附等场合时，请不要弯曲快速接头部附近的管子。如有需要对快速接头部附近的管子施加应力时，请先将插入环插入管子后再装入快速接头。 ④ 如将用于吸附确认的传感器从压力传感器（开关）改成流量传感器（开关）时，与传感器输出（开关输出）的原理相反（参考下表）。 请注意，此时需要修改变更PLC的序列程序。 特别是装置电源投入时，原压与真空源尚未供给的场合，流量传感器（开关）为「流量0」=「传感器输出（开关输出）ON」的状态，此时需要确保PLC的序列程序等不出问题。 ⑤ 根据使用真空压力和吸气喷嘴口径来选择流量范围。根据吸气喷嘴与本产品之间的配管容积，应答速度可能会变慢。此时，请实施减小配管容积等措施。
6.外壳的材料为树脂。为了不损坏树脂，清洁产品时，请不要使用化学溶剂或酒精等。去除污垢时，请使用低浓度中性洗涤剂，并用湿抹布尽量拧干后擦拭。
7.碧士克推荐定期对流量精度进行确认。根据客户的使用环境和状况，精度可能会与初期值不同。并且，经过长时间使用，传感器芯片的老化也会影响精度。
压力计/传感器系列的常见问题
表示タイプとして、アナログとデジタルの2種類があり、許容差の表記が異なります。
例えば、精度表示が2％の場合は以下のようになります。
1）アナログ表示の精度
±2％ F.S.
F.S.とは、フルスケールの略で、測定範囲のことです。
これがセンサ自身の精度であり、許容差を表します。この場合、測定範囲×±2％ となります。
（許容差（精度幅＝2％）は測定値に関わらず一定の値です。）
以下の3種類の表示精度±2％ 1digitと同じです。
しかし、測定範囲がそれぞれ異なるため、±2％の値も変わってきます。
VUS-31R-N（連制圧：-100.0～100kPa）
VUS-31-N（負圧：-101.3～0kPa）
SEU-31R-N（正圧：0～1MPa）
それに加え、以下の±1digit（表示最小値）が発生します。
2）デジタル表示の精度
±2％ F.S. ±1 digit
digit（デジット）とは、デジタル機器の特性（分解能）上、生まれるものです。
1digitは、表示できる最小の値となります。（表示倍率分解能を確認してください）
測定値の最小桁が0.01の位の場合、±0.01の許容差（精度幅）となるため、測定範囲×±2％へさらに±0.01した数値が許容差となります。
分離型表示器に圧力が表示されない時、以下をご確認ください。
1）
コネクタのケーブルの繋ぎ方（配線）の間違い
2）
センサヘッドが「アナログ出力タイプ」であるか
（圧力表示器は「スイッチ出力タイプ」のセンサヘッドとは併用できませんのでご注意ください）
![[SEU/VUS11]アナログ出力タイプとスイッチ出力タイプの外観の違い](/faq/detail/media/image/faq42.jpg)
![[SEU/VUS12]アナログ出力タイプとスイッチ出力タイプの外観の違い](/faq/detail/media/image/faq43.jpg)
3）
センサタイプ設定がセンサヘッドの定格圧力範囲（センサ入力仕様）と一致しているか
センサタイプ設定（「C-1（連成圧）」「C-2（正圧）」「C-3（負圧）」）が、お使いのセンサヘッドの定格圧力範囲（センサ入力仕様）と一致しているかご確認ください。これと異なるセンサタイプ設定を行うと、正しい数値が表示されません。
SED-31のセンサタイプ設定と推奨するセンサヘッド（参考：弊社カタログより抜粋）
「C-1（連成圧）」 VUS11-□AR
「C-2（正圧）」 VUS11-□A、VUS12-□A
「C-3（負圧）」 SEU11-□A
*
センサヘッドの破損
センサヘッドおよび表示器の供給電源（V）以上の電圧を加えてしまうと、センサヘッドと表示器が破損し、結果、圧力表示器に圧力が表示されなくなるケースもあります。必ずセンサヘッドの供給電源（V）の範囲内でご使用ください。
出力方式および使用用途の違いです。
アナログ式
圧力を検知し、それに応じた電気信号（電圧・電流）を出力します。
常に圧力に応じた電気信号を出力します。
そのため、圧力の確認、圧力の変化を見て装置が正しく作動しているかを確認したいなど、圧力の確認・管理に使用します。圧力の増減に応じて出力が変化するので、ディスプレイに圧力の波形を表示することも可能です。
スイッチ式
設定した圧力値を超えた（下回った）ことを検知し、スイッチ出力※します。
（設定した圧力に達しないと出力されません。）そのため、使用用途としては、タンクの圧力が設定値以上になったらバルブを止めたい、吸着搬送中にワークが吸着したら真空度が設定値以上になったら装置を動かしたい…といった際に、回路全体の動きを制御するためのスイッチとして使用します。
*
スイッチ出力とは、電圧や電流を信号として出力するアナログ式と違い、内蔵されているトランジスタ（増幅、またはスイッチ動作をさせる半導体素子のこと）のON・OFF（スイッチ）作用で出力を表現します。
この出力方式は、NPNオープンコレクタと、PNPオープンコレクタの２種類があります。
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