組立てロボット向け機器
①真空パッド
真空パッドスタンダードタイプ
厚くて平らなワークに最適な一般形パッド。
真空パッドスタンダードタイプ(深形タイプ)
丸い果物(リンゴなど)や丸いボールに最適な深形パッド。
真空パッドスタンダードタイプ(小型タイプ)
半導体製造設備に最適な小型タイプ。
真空パッドスターターキット
ワーク搬送の初期吸着テストからハンドリングロボットへの取付けまで可能。
②真空ポンプ対応ユニット
真空ポンプ対応ユニットVJP
従来の真空破壊エアの流量制御に圧力制御をプラス。
ワークの吹き飛ばしを防止。
真空ポンプ対応ユニットVXP・VXPT
供給用バルブは、応答性を極限まで追求、真空システムのハイサイクル化を実現。
真空ポンプ対応ユニットVQP
大流量の制御に最適な31.5mm幅真空ポンプ対応ユニット。
真空ポンプ対応ユニットVZP
小型・軽量。配線を一括集中化したマニホールド専用真空ポンプ対応ユニット。
真空ポンプ対応ユニットVNP
省スペースへの設置、およびハイサイクルを要求する分野に最適な真空ポンプ対応ユニット。
真空ポンプ対応ユニットVIP
流量センサ搭載タイプをラインナップ（業界初）。また、従来の圧力センサ搭載タイプと圧力センサ無しタイプも用意。
半導体関連装置（チップマウンタ、ハンドラ）や小型ワーク吸着搬送装置に最適。
③真空ポンプ、真空発生器および関連機器
真空発生器VVV
高真空・大流量を確保する多段ノズルエジェクタ。
真空発生器VLM
積層可能構造採用。大吸込流量を確保する多段ノズルエジェクタ。
真空用フィルタVFL
真空ポンプや大流量真空発生器向け真空用フィルタ。
エアタンク
圧縮エア、真空エアの圧力変動・脈動を低減。
ロータリ真空ポンプ RPV06A 中真空・30L 3相モータ 200/220/230Vタイプ
【Panasonic製モータ】低運転音・低振動・高効率を実現したロータリ真空ポンプ。
中真空・30Lタイプ。40W 3相モータを搭載。
ロータリ真空ポンプ RPV064 低真空・120Lタイプ
低運転音・低振動・高効率を実現したロータリ真空ポンプ。
低真空・120Lタイプ。
ロータリ真空ポンプ RPV06A 中真空・30L 単相モータ100Vタイプ
【Panasonic製モータ】低運転音・低振動・高効率を実現したロータリ真空ポンプ。
中真空・30Lタイプ。60W 単相モータを搭載。
ロータリ真空ポンプ RPV06A 中真空・30L 単相モータ100V電源スイッチ搭載タイプ
【Panasonic製モータ】低運転音・低振動・高効率を実現したロータリ真空ポンプ。
中真空・30Lタイプ。60W 単相モータ、電源スイッチを搭載。
ロータリ真空ポンプ RPV06A 中真空・30L 単相モータ110/115Vタイプ
【Panasonic製モータ】低運転音・低振動・高効率を実現したロータリ真空ポンプ。
中真空・30Lタイプ。60W 単相モータを搭載。
ロータリ真空ポンプ RPV062 低真空・60L 3相モータ200/220/230Vタイプ
【Panasonic製モータ】低運転音・低振動・高効率を実現したロータリ真空ポンプ。
低真空・60Lタイプ。60W 3相モータを搭載。
ロータリ真空ポンプ RPV062 低真空・60L 単相モータ100Vタイプ
【Panasonic製モータ】低運転音・低振動・高効率を実現したロータリ真空ポンプ。
低真空・60Lタイプ。60W 単相モータを搭載。
ロータリ真空ポンプ RPV062 低真空・60L 単相モータ100V電源スイッチ搭載タイプ
【Panasonic製モータ】低運転音・低振動・高効率を実現したロータリ真空ポンプ。
低真空・60Lタイプ。60W 単相モータ、電源スイッチを搭載。
ロータリ真空ポンプ RPV062 低真空・60L 単相モータ110/115Vタイプ
【Panasonic製モータ】低運転音・低振動・高効率を実現したロータリ真空ポンプ。
低真空・60Lタイプ。60W 単相モータを搭載。
ロータリ真空ポンプ RPV063 低真空・90Lタイプ
【Panasonic製モータ】低運転音・低振動・高効率を実現したロータリ真空ポンプ。
低真空・90Lタイプ。
