半導体製造プロセス向け機器
①ケーブル・チューブ保護案内装置
プラレールチェーンSP
特殊樹脂の採用により、摩耗が減少。
プラレールチェーンSPO
特殊樹脂の採用により、摩耗が減少。(フルカバータイプ)
プラレールチェーンSC
摺動部の無い連結構造、発塵を極力抑えることに成功。
②配管用機器
ポリウレタンチューブ
柔軟性にも優れコンパクト配管に最適。
耐水性に優れたエーテル系ポリウレタンチューブ。
チューブカラー10色、チューブサイズ14種と共に豊富。
チューブフィッティング
豊富なラインナップであらゆる配管に対応するワンタッチ継手。
条件により水使用も可能。(省スペースタイプは除く)
ロータリジョイント
ベアリングを内蔵した、揺動部、回転部に適したワンタッチ継手。
チューブフィッティングSUS304
耐腐蝕性に優れたワンタッチ継手
チューブフィッティング耐腐蝕性SUS303相当
耐腐蝕性能がSUS303相当の特殊ステンレスを使用したワンタッチ継手
③真空用機器
真空パッドスタンダードタイプ(小型タイプ)
半導体製造設備に最適な小型タイプ。
ロータリ真空ポンプ RPV064 低真空・120Lタイプ
低運転音・低振動・高効率を実現したロータリ真空ポンプ。
低真空・120Lタイプ。
ロータリ真空ポンプ RPV06A 中真空・30L 単相モータ100Vタイプ
【Panasonic製モータ】低運転音・低振動・高効率を実現したロータリ真空ポンプ。
中真空・30Lタイプ。60W 単相モータを搭載。
ロータリ真空ポンプ RPV06A 中真空・30L 単相モータ110/115Vタイプ
【Panasonic製モータ】低運転音・低振動・高効率を実現したロータリ真空ポンプ。
中真空・30Lタイプ。60W 単相モータを搭載。
ロータリ真空ポンプ RPV062 低真空・60L 3相モータ200/220/230Vタイプ
【Panasonic製モータ】低運転音・低振動・高効率を実現したロータリ真空ポンプ。
低真空・60Lタイプ。60W 3相モータを搭載。
ロータリ真空ポンプ RPV062 低真空・60L 単相モータ100Vタイプ
【Panasonic製モータ】低運転音・低振動・高効率を実現したロータリ真空ポンプ。
低真空・60Lタイプ。60W 単相モータを搭載。
ロータリ真空ポンプ RPV062 低真空・60L 単相モータ110/115Vタイプ
【Panasonic製モータ】低運転音・低振動・高効率を実現したロータリ真空ポンプ。
低真空・60Lタイプ。60W 単相モータを搭載。
ロータリ真空ポンプ RPV063 低真空・90Lタイプ
【Panasonic製モータ】低運転音・低振動・高効率を実現したロータリ真空ポンプ。
低真空・90Lタイプ。
真空発生器総合タイプVX
供給用バルブは、応答性を極限まで追求、真空システムのハイサイクル化を実現。
真空発生器総合タイプVN
省スペースへの設置、およびハイサイクルを要求する分野に最適な真空発生器。
真空ポンプ対応ユニットVXP・VXPT
供給用バルブは、応答性を極限まで追求、真空システムのハイサイクル化を実現。
真空ポンプ対応ユニットVNP
省スペースへの設置、およびハイサイクルを要求する分野に最適な真空ポンプ対応ユニット。
真空ポンプ対応ユニットVIP
流量センサ搭載タイプをラインナップ（業界初）。また、従来の圧力センサ搭載タイプと圧力センサ無しタイプも用意。
半導体関連装置（チップマウンタ、ハンドラ）や小型ワーク吸着搬送装置に最適。
④ケーブル・チューブ保護案内装置内チューブ
⑤クリーン環境向け配管機器
チューブフィッティングPP/SUS304
本体材質には、クリーン環境に適したPPを採用。
金属材質はSUS304、シール材質にはEPDMを採用。
フッ素樹脂締付継手(2023年3月1日生産終了)
半導体製造工程における薬液配管に最適。
スピードコントローラPP
樹脂本体にクリーン環境に適したPPを採用。
スロットルバルブPP
樹脂本体にクリーン環境に適したPPを採用。
フッ素樹脂ニードルバルブ(2023年3月1日生産終了）
半導体製造工程における流量制御に最適。
チェックバルブ低作動圧タイプPP
水(液体)に使用可能。
本体材質には、クリーン環境に最適なPPを採用 。
ポリオレフィンチューブ
クリーン環境に適したポリオレフィン系樹脂を使用。
ポリオレフィンチューブの中でも流量を確保したシリーズ。
カラー：6色、サイズ：12種。(インチサイズ有)
ソフトポリオレフィンチューブ
クリーン環境に適したポリオレフィン系樹脂を使用。
ポリオレフィンチューブの中でも柔軟性に優れたシリーズ。
カラー：6色、サイズ：8種。(インチサイズ有)
フッ素樹脂(PFA)チューブ
耐薬品性、耐候性に優れたPFA製フッ素チューブ。
化学、食品、医療、半導体、高温箇所などの分野に最適。
カラー：5色、サイズ：12種。(インチサイズ有)
フッ素樹脂(FEP)チューブ
耐薬品、耐候性に優れたFEP製フッ素チューブ。
当社のSFTチューブに比べ、平均44%のコストダウン。
カラー：5色、サイズ：12種。(インチサイズ有)
