半導体製造プロセス向け機器
①ケーブル・チューブ保護案内装置
プラレールチェーンSP
特殊樹脂の採用により、摩耗が減少。
プラレールチェーンSPO
特殊樹脂の採用により、摩耗が減少。(フルカバータイプ)
プラレールチェーンSC
摺動部の無い連結構造、発塵を極力抑えることに成功。
②配管用機器
ポリウレタンチューブ
エア配管はもちろん水も流せるポリウレタンチューブ。
柔軟性に優れ、コンパクト配管に最適。
カラー：10色、サイズ：14種。(インチサイズ有)
チューブフィッティング
豊富なラインナップであらゆる配管に対応するワンタッチ継手。
条件により水使用も可能。(省スペースタイプは除く)
ロータリジョイント
機器の揺動部、回転部に配管可能なワンタッチ継手。
チューブフィッティングSUS304
強度が必要な場合、薬品の雰囲気内で使用する場合に最適。
チューブフィッティング耐腐蝕性SUS303相当
強度が必要な場合や腐蝕しやすい雰囲気内で使用する場合に最適。
③真空用機器
真空パッドスタンダードタイプ(小型タイプ)
半導体製造設備に最適な小型タイプ。
ロータリ真空ポンプ RPV06A 中真空・30L 3相モータ 200/220/230Vタイプ
【Panasonic製モータ】低運転音・低振動・高効率を実現したロータリ真空ポンプ。
中真空・30Lタイプ。40W 3相モータを搭載。
ロータリ真空ポンプ RPV064 低真空・120Lタイプ
低運転音・低振動・高効率を実現したロータリ真空ポンプ。
低真空・120Lタイプ。
ロータリ真空ポンプ RPV06A 中真空・30L 単相モータ100Vタイプ
【Panasonic製モータ】低運転音・低振動・高効率を実現したロータリ真空ポンプ。
中真空・30Lタイプ。60W 単相モータを搭載。
ロータリ真空ポンプ RPV06A 中真空・30L 単相モータ100V電源スイッチ搭載タイプ
【Panasonic製モータ】低運転音・低振動・高効率を実現したロータリ真空ポンプ。
中真空・30Lタイプ。60W 単相モータ、電源スイッチを搭載。
ロータリ真空ポンプ RPV06A 中真空・30L 単相モータ110/115Vタイプ
【Panasonic製モータ】低運転音・低振動・高効率を実現したロータリ真空ポンプ。
中真空・30Lタイプ。60W 単相モータを搭載。
ロータリ真空ポンプ RPV062 低真空・60L 3相モータ200/220/230Vタイプ
【Panasonic製モータ】低運転音・低振動・高効率を実現したロータリ真空ポンプ。
低真空・60Lタイプ。60W 3相モータを搭載。
ロータリ真空ポンプ RPV062 低真空・60L 単相モータ100Vタイプ
【Panasonic製モータ】低運転音・低振動・高効率を実現したロータリ真空ポンプ。
低真空・60Lタイプ。60W 単相モータを搭載。
ロータリ真空ポンプ RPV062 低真空・60L 単相モータ100V電源スイッチ搭載タイプ
【Panasonic製モータ】低運転音・低振動・高効率を実現したロータリ真空ポンプ。
低真空・60Lタイプ。60W 単相モータ、電源スイッチを搭載。
ロータリ真空ポンプ RPV062 低真空・60L 単相モータ110/115Vタイプ
【Panasonic製モータ】低運転音・低振動・高効率を実現したロータリ真空ポンプ。
低真空・60Lタイプ。60W 単相モータを搭載。
ロータリ真空ポンプ RPV063 低真空・90Lタイプ
【Panasonic製モータ】低運転音・低振動・高効率を実現したロータリ真空ポンプ。
低真空・90Lタイプ。
真空発生器総合タイプVX
供給用バルブは、応答性を極限まで追求、真空システムのハイサイクル化を実現。
真空発生器総合タイプVN
省スペースへの設置、およびハイサイクルを要求する分野に最適な真空発生器。
真空ポンプ対応ユニットVXP・VXPT
供給用バルブは、応答性を極限まで追求、真空システムのハイサイクル化を実現。
真空ポンプ対応ユニットVNP
省スペースへの設置、およびハイサイクルを要求する分野に最適な真空ポンプ対応ユニット。
真空ポンプ対応ユニットVIP
流量センサ搭載タイプをラインナップ（業界初）。また、従来の圧力センサ搭載タイプと圧力センサ無しタイプも用意。
半導体関連装置（チップマウンタ、ハンドラ）や小型ワーク吸着搬送装置に最適。
④ケーブル・チューブ保護案内装置内チューブ
⑤クリーン環境向け配管機器
チューブフィッティングPP/SUS304
本体材質にはクリーン環境に適したPP、シール材質にはEPDMを採用。
フッ素樹脂締付継手(2023年3月1日生産終了)
半導体製造工程における薬液配管に最適。
在庫が無くなった機種から販売終了となります。在庫状況については、下記在庫表ボタンからご確認ください。
スピードコントローラPP
樹脂本体にクリーン環境に適したPPを採用。
スロットルバルブPP
樹脂本体にクリーン環境に適したPPを採用。
フッ素樹脂ニードルバルブ(2023年3月1日生産終了）
半導体製造工程における流量制御に最適。
在庫が無くなった機種から販売終了となります。
在庫状況については、下記在庫表ボタンからご確認ください。
チェックバルブ低作動圧タイプPP
水(液体)に使用可能。
本体材質には、クリーン環境に最適なPPを採用 。
ポリオレフィンチューブ
クリーン環境に適したポリオレフィン系樹脂を使用。
ソフトポリオレフィンチューブと比べ流量を確保する場合に適しています。
カラー：6色、サイズ：8種。(インチサイズ有)
ソフトポリオレフィンチューブ
クリーン環境に適したポリオレフィン系樹脂を使用。
ポリオレフィンチューブと比べ柔軟性に優れています。
カラー：6色、サイズ：8種。(インチサイズ有)
フッ素樹脂(PFA)チューブ
耐薬品性、耐候性に優れておりますので化学、食品、医療、半導体などの分野に最適。
カラー：5色、サイズ：12種。(インチサイズ有)
フッ素樹脂(FEP)チューブ
当社のSFTチューブに比べ、平均44%のコストダウンに成功。
カラー：5色、サイズ：12種。(インチサイズ有)
