メイン配管関連

①調質機器

フィルタ、レギュレータユニット

エアフィルタ(濾過度：5μm)、ミストフィルタ(濾過度：0.3μm)またはマイクロミストフィルタ(濾過度：0.01μm)、レギュレータを一体化。

②手動弁

ハンドバルブ

機器への空気圧入力を開閉。
2方弁と残圧排気のできる3方弁を用意。

ボールバルブ(20・60タイプ)

機器への空気圧入力を開閉。
水を流すことも可能。

ボールバルブ(ミニ)

機器への空気圧入力を開閉。

③圧力計・センサ

小型圧力センサ11・12アナログ出力タイプ用表示器

小型圧力センサと合わせて分離型表示を可能に。

④集中分配配管

メインブロック

組合せ自由な集中分配用マニブロック。

⑤圧力センサ

小型圧力センサ11

幅：10mmx全長：24.5mmの小型圧力センサ。

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