조합형 진공발생기VQ
대기 개방 싱글 노즐 타입 압력 센서 없음
VQ
대기 개방 싱글 노즐 타입 2점 출력 압력 센서 부착
VQ
집중 배기 싱글 노즐 타입 압력 센서 없음
VQ
집중 배기 싱글 노즐 타입 2점 출력 압력 센서 장착
VQ
대기 개방 2단 노즐 타입 압력 센서 없음
VQD
대기 개방 2단 노즐 타입 2점 출력 압력 센서 부착
VQD
집중 배기 2단 노즐 타입 압력 센서 없음
VQD
집중 배기 2단 노즐 타입 2점 출력 압력 센서 장착
VQD
대기 개방 트윈 노즐 타입 압력 센서 없음
VQT
대기 개방 트윈 노즐 타입 2점 출력 압력 센서 부착
VQT
집중 배기 트윈 노즐 타입 압력 센서 없음
VQT
집중 배기 트윈 노즐 타입 2점 출력 압력 센서 장착
VQT