반도체 제조 공정용 기기
①케이블・튜브보호안내장치
플라스틱 레일 체인 SP
특수 수지 채택으로 마모 감소
플라스틱 레일 체인 SPO
특수 수지 채택으로 마모 감소 (풀커버 타입)
플라스틱 레일 체인 SC
접동부가 없는 연결 구조, 발진을 최대한 억제 성공
②배관용 기기
폴리우레탄 튜브
유연성도 뛰어나 컴팩트 배관에 최적
내수성이 뛰어난 에테르계 폴리우레탄 튜브
다양한 10종의 튜브 색상, 14종의 튜브 사이즈
스탠더드 피팅
풍부한 라인업으로 모든 배관에 대응하는 원터치 피팅.
조건에 따라 물 사용도 가능. (공간절약타입 제외)
로터리 조인트
베어링 내장으로 요동부·회전부에 적합한 원터치 피팅
SUS304 피팅
내부식성 우수한 원터치 피팅
내부식성 SUS303상당 피팅
SUS303 상당 내부식 성능의 특수 스테인리스 사용 원터치 피팅
③진공용 기기
진공패드 스탠다드 타입(소형 타입)
반도체 제조 설비에 최적인 소형 타입.
로터리 진공펌프 RPV064 저진공・120L 타입
저운전음・저진동・고효율을 실현한 로터리 진공 펌프
저진공・120L 타입
로터리 진공펌프 RPV06A 중진공・30L 3상 모터 200/220/230V 타입
【파나소닉 모터】저운전음・저진동・고효율을 실현한 로터리 진공 펌프
중진공・30L 타입 40W 3상 모터 탑재
로터리 진공펌프 RPV06A 중진공・30L 단상 모터 100V 타입
【파나소닉 모터】저운전음・저진동・고효율을 실현한 로터리 진공 펌프
중진공・30L 타입 60W 단상 모터 탑재
로터리 진공펌프 RPV06A 중진공・30L 단상 모터 100V 전원 스위치 탑재 타입
【파나소닉 모터】저운전음・저진동・고효율을 실현한 로터리 진공 펌프
중진공・30L 타입 60W 단상 모터, 전원 스위치 탑재
로터리 진공펌프 RPV06A 중진공・30L 단상 모터 110/115V 타입
【파나소닉 모터】저운전음・저진동・고효율을 실현한 로터리 진공 펌프
중진공・30L 타입 60W 단상 모터 탑재
로터리 진공펌프 RPV062 저진공・60L 3상 모터 200/220/230V 타입
【파나소닉 모터】저운전음・저진동・고효율을 실현한 로터리 진공 펌프
저진공・60L 타입 60W 3상 모터 탑재
로터리 진공펌프 RPV062 저진공・60L 단상 모터 100V 타입
【파나소닉 모터】저운전음・저진동・고효율을 실현한 로터리 진공 펌프
저진공・60L 타입 60W 단상 모터 탑재
로터리 진공펌프 RPV062 저진공・60L 단상 모터 100V 전원 스위치 탑재 타입
【파나소닉 모터】저운전음・저진동・고효율을 실현한 로터리 진공 펌프
저진공・60L 타입 60W 단상 모터, 전원 스위치 탑재
로터리 진공펌프 RPV062 저진공・60L 단상 모터 110/115V 타입
【파나소닉 모터】저운전음・저진동・고효율을 실현한 로터리 진공 펌프
저진공・60L 타입 60W 단상 모터 탑재
로터리 진공펌프 RPV063 저진공・90L 타입
【파나소닉 모터】저운전음・저진동・고효율을 실현한 로터리 진공 펌프
저진공・90L 타입
조합형 진공발생기VX
공급용 밸브는 응답성을 극한까지 추구하여 진공 시스템의 하이사이클화를 실현.
조합형 진공발생기VN
공간 절약에의 설치 및 하이사이클을 요구하는 분야에 최적인 진공발생기.
진공펌프 대응유닛 VXP · VXPT
공급용 밸브는 응답성을 극한까지 추구하여 진공 시스템의 하이사이클화를 실현.
진공펌프 대응유닛 VNP
공간 절약에 설치 및 하이 사이클을 요구하는 분야에 최적인 진공 펌프 대응 유닛.
진공펌프 대응유닛 VIP
유량 센서 탑재 타입을 라인업(업계 최초). 또한 기존의 압력 센서 탑재 타입과 압력 센서가 없는 타입도 준비. 반도체 관련 장비(칩 마운터, 핸들러)나 소형 워크 흡착 반송 장치에 최적.
④케이블・튜브 보호안내장치내 튜브
⑤클린 환경용 배관기기
폴리프로필렌 PP / SUS304 피팅
본체 재질은 클린 환경 적합한 PP 채택
금속 재질은 SUS304, 씰 재질은 EPDM 채택
불소수지 투터치 피팅
반도체 제조 공정에서 약액 배관에 최적.
스피드 컨트롤러 PP 타입
수지 본체에 클린 환경에 적합한 PP 채택.
스로틀 밸브 PP
수지 본체에 클린 환경에 적합한 PP 채택.
불소수지 니들 밸브
반도체 제조 공정에서 유량 제어에 최적.
저작동압 체크 밸브 PP
물 (액체)에 사용가능.
본체 재질에는 클린 환경에 최적인 PP 채택.
폴리올레핀 튜브
클린 환경에 적합한 폴리올레핀계 수지 사용
폴리올레핀 튜브 중에서도 유량을 확보한 시리즈
색상 : 6종, 사이즈 : 12종(인치 사이즈 대응)
소프트 폴리올레핀 튜브
클린 환경에 적합한 폴리올레핀계 수지 사용
폴리올레핀 튜브 중에서도 유연성이 뛰어난 시리즈
색상 : 6종, 사이즈 : 8종(인치 사이즈 대응)
불소수지(PFA) 튜브
내약품성, 내후성이 뛰어난 PFA제 불소 튜브
화학, 식품, 의료, 반도체, 고온 등의 분야에 최적
생상 : 5종, 사이즈 : 12종(인치 사이즈 대응)
불소수지(FEP) 튜브
내약품·내후성이 뛰어난 FEP제 불소 튜브
당사의 SFT튜브에 비해 평균 44% 비용 절감
색상 : 5종, 사이즈 : 12종(인치 사이즈 대응)
