진공관련기기

진공 레귤레이터 푸쉬록 타입

RoHS2대응

원압 제어는 물론 말단부 제어도 가능. 푸시 로크식 손잡이로 간단히 조작.

수지
  • 수지 주요 부품으로 PBT를 사용하였습니다. PBT : 일반 환경에 최적으로 표준적인 수지재질
금속
  • 금속 주요 부품으로 알루미늄을 사용하였습니다.
씰 고무
  • 씰 고무 재질에 HNBR을 사용하였습니다. HNBR : NBR에 수소를 첨가하여 내오전성을 향상시킨 재질. 저농도 오전 대책에 최적입니다.
  • 유로에 동을 주성분으로 하는 금속재료를 사용하지 않습니다.
  • 씰 고무 재질에 HNBR 또는 FKM을 사용하였습니다. ※일부 제품은 유로에서만 대응 가능합니다.
CAD 데이터

특장점

원압 제어는 물론 말단부 제어도 가능. 푸시 로크식 손잡이로 간단히 조작.

푸시로크식 손잡이로 한손으로도 쉽게 조작.

기존 제품보다 최대 50% 경량화.

본체를 수지로 하고 금속부 재질은 알루미늄을 사용.

표준품으로 S3사양 상당.

동계금속 미사용', '저농도 오존 대책'이 필요한 분야용으로 -S3 사양을 준비. 고무재질은 내오존성이 뛰어난 HNBR. (※) S3 사양 상당은 게이지 및 센서제외

1차측과 2차측의 피팅이 개별적으로 회전하여 배관방향이 자유.

진공원의 원압 제어에 최적.말단부 제어도 가능.

사양

레귤레이터부의 사양 압력표시기호 M,무기입,V4(P),V5(P)

사용 유체 공기
사용 압력 범위 -100~100kPa/-100~0kPa(게이지부 사양에 따라)
설정 압력범위 -100~-1.3kPa
최대 흡입 유량 30 L/min (ANR)
사용 온도 범위 0~50℃/0~40℃(동결 없을 것) (게이지부 사양에 따라)

※) 진공원의 압력에 의해 변화하므로 주의하여 주십시오.

레귤레이터부의 사양 압력표시기호 D

사용 유체 공기
사용 압력 범위 -100~0kPa
설정 압력 범위 -100~-1.3kPa(※)
최대 흡입 유량 30 L/min (ANR)
사용 온도 범위 0~50℃(동결 없을 것)

※) 진공원의 압력에 의해 변화하므로 주의하여 주십시오.

레귤레이터부의 사양 압력표시기호 G

사용 유체 공기
사용 압력 범위 -100~0kPa
설정 압력 범위 -100~-1.3kPa(※)
최대 흡입 유량 30 L/min (ANR)
사용 온도 범위 0~40℃(동결 없을 것)

※) 진공원의 압력에 의해 변화하므로 주의하여 주십시오.

φ30mm 부압계부 사양

사용 유체 공기
압력 표시 범위 -100~0kPa
압력 표시 정밀도 ±5% F.S.(25℃시)
사용 온도 범위 0~40℃(동결 없을 것)

디지털 압력 게이지의 사양

정격 압력 범위 -101~0kPa
압력 표시 범위 -101~10kPa(※1)
내압 300kPa
적용유체 공기, 비부식성 / 불연성 가스
전지 CR2032 리튬전지
전지 수명 약3년 (1일에 5회 표시시)
전지 최저하 감지 기능 있음
전지 교환 가능
표시 시간 버튼 누르고 나서 60초
표시 횟수 2Hz(2회/초)
반복성 ≦ ± 1% F.S. ± 1 digit
LCD 표시 7세그, 3.5digit
표시 정밀도 ± 2% F.S. ± 1 digit 이하(주위온도: 25 ± 3 ℃시)
보호 구조 IP65(※2)
주위 온도 범위 동작시 : 0~50℃, 저장시 : -10~60℃(결로와 동결 없을 것)
주위 습도 범위 동작시 및 저장시 : 35~85%RH(결로 없을 것)
내진동 복진폭 1.5mm 혹은 100m/s2, 1분간 10Hz ~ 55Hz ~ 10Hz, X, Y, Z 각 방향 2시간
내충격 100m/s2, X,Y,Z 각방향 3회
온도 특성 검지압력의 ± 2% F.S. (25℃시)

※1) 0~10kPa의 범위와 표시 정밀도 보증 범위에서 제외됩니다.

※ 2) IP65를 유지하기 위해 대기 릴리스 포트(그림1)에 튜브를 꽂아 사용하여 주십시오.

압력 센서(2화면 디지털 표시 부착 압력 센서)의 사양

정격 압력 범위 -100.0~100kPa
내압 300kPa
적용 유체 공기, 비부식성 / 불연성 가스
공급 전원 DC12V~24V (리플±10%이하)
소비 전류 40mA 이하(무부하시)
스위치출력 출력방식 NPN 오픈컬렉터출력/PNP 오픈컬렉터출력
스위치출력 최대부하전류 125mA
스위치출력 최대공급전압 DC30V(NPN 오픈컬렉터출력)/DC24V(PNP 오픈컬렉터출력)
스위치 출력 내부전압강하 1.5V이하
반복성 ±0.2% F.S. ±1 digit 이하
응차 원포인트 설정 모드 조정 가능 (※)
응차 응차 모드 조정 가능 (※)
응차 윈도우 컴퍼레이터 모드 조정 가능(※)
응답시간 2.5ms 이하 (오작동 예방기능 : 25ms, 100ms, 250ms, 500ms, 1000ms, 1500ms 선택)
출력 단락 보호 있음
디지털 표시 3색(적색, 녹색, 주황색) 표시(표시 횟수:5회/초)
표시 정밀도 ± 2% F.S. ± 1 digit 이하(주위온도: 25 ± 3 ℃시)
동작 표시등 주황색 1, 2 표시등
아날로그 출력(전압 출력) 출력 전압:1~5V ±2.5% F.S. 이하(정격 압력범위 내에서) 직선성:±1% F.S. 이하, 출력 저항1kΩ
내환경 보호구조 IP40
내환경 주위온도범위 동작시 : 0~50℃, 저장시 : -10~60℃(결로와 동결 없을 것)
내환경 주위습도 범위 동작시 및 저장시 : 35~85%RH(결로없음)
내환경 내전압 AC1000V 1분간(리드선과 케이스 사이)
내환경 절연 저항 50MΩ 이상 (DC500V) (리드선과 케이스 사이)
내환경 내진동 복진폭 1.5mm 혹은 100m/s2, 1분간 10Hz ~ 150Hz ~ 10Hz, X, Y, Z 각방향 2시간
내환경 내충격 100m/s2 X,Y,Z 각방향 3회
온도 특성 ±2% F.S. 이하(기준온도 25℃, 범위 0~+50℃)
케이블 사양 내유 케이블(0.15mm2)

※）원포인트 설정 모드와 윈도우 컴퍼레이터 설정 모드는 1~8 digits의 응차를 조정할 수 있습니다.

적용사이즈

튜브 사이즈

밀리 사이즈(mm) φ6, φ8

나사 사이즈

관용 테이퍼 나사 R1/4

특성 그래프

구조도

형상/가격 일람

개별주의사항

경고

1.레귤레이터에 정압을 인가할때 φ30mm 부압계, 디지털 압력 게이지의 장착은 사용하지 마십시오. 사용 압력 범위 내의 정압을 인가할 경우에는 2화면 디지털 표시 부착 압력 센서를 사용하여 주십시오. 과도한 정압 인가는 기기 파손의 위험성이 있습니다.

2.사용 시에는 접속하는 진공원의 사용설명서도 잘 읽고 충분한 시험을 실시한 후 시험하여 주십시오.

주의

1.압력설정은 진공도 상승방향(시계방향)으로 설정하여 주십시오. 진공도 저하 방향(반시계 방향)에서는 정확한 설정이 불가능합니다.

2.압력계, 압력 센서, 압력 게이지 포트에 과도한 하중·충격을 가하지 말아 주십시오. 기기의 파손 및 표시 정밀도 저하의 원인이 될 위험성이 있습니다.

3.게이지 포트에 게이지 배관 등을 장착할 경우 적정한 공구를 사용하여 게이지 포트 외경 육각부(대변 10mm)를 이용하여 체결하여 주십시오. 또한 M5 x 0.8 포트의 체결은 아래 표의 체결 토크를 참조하여 체결하여 주십시오. 기기의 파손이나 누출에 의한 표시 정밀도 저하의 원인이 될 위험성이 있습니다.

4.쓰레기나 입체 등을 흡입할 가능성이 있는 경우에는 진공 레귤레이터 조압 측(워크 측)에 진공 필터를 반드시 장착하여 주십시오. 이물질 흡입으로 인해 작동불량의 원인이 될 위험성이 있습니다.

5.2차압이 불안정 하게 됨으로 누설포트를 막지 말아 주십시오.

6.레귤레이터에 정압을 인가할 경우에는 리크 포트에서 에어가 유출됩니다. 클린룸 등에서 사용하시는 경우는 주의하여 주십시오.

7.파괴에어를 인가할 경우 누전량을 고려하여 설정하여 주십시오.

8.조압손잡이를 전개상태에서 시계반대방향 또는 전폐상태에서 시계방향으로 과도하게 돌리지 마십시오. 조압 손잡이, 본체 파손의 원인이 됩니다. (제품 배송 시에는 전폐 상태입니다.)

9.조압 손잡이는 누르면 잠기고 당기면 해제됩니다. 조압 후에는 반드시 잠근 상태로 해 주십시오. 잠그지 않은 상태에서 사용하면 손잡이가 회전하여 압력이 변화할 우려가 있습니다.

10.조절 손잡이를 누를 때 회전의 위치에 따라서는 잠금 상태와 잠금 해제 상태의 중간 위치에서 정지하는 경우가 있습니다. 이 상태에서는 완전히 잠겨 있지 않기 때문에 잠김 상태의 위치까지 조압 손잡이가 눌려져 있는 것을 확인하여 주십시오.

11.압력 손잡이 잠금 시에 압력 손잡이를 무리하게 회전시키면 잠금 기구부가 파손될 우려가 있습니다.

12.φ30mm 부압계는 압력 변동이 큰(하이 사이클) 곳에서는 사용하지 마십시오.

13.2화면 디지털 표시 부착 압력 센서 및 디지털 압력 게이지 취급은 압력계·센서의 공통 주의사항 및 각각의 개별 주의사항을 확인하여 주십시오.

14.제품을 고정할 때는 부속 취급설명서 내의 제품 고정방법을 잘 읽고 적절한 부분을 지정된 토크로 체결하여 주십시오. 기타 부위나 지정된 토크 이상으로 체결시 본체가 파손될 위험이 있습니다.

15.엘보 타입의 게이지 위치는 체결위치에서 조정하여 주십시오. 피팅부 및 조압 손잡이 이외는 회전하지 않습니다. 무리하게 회전시키면 본체가 파손될 위험이 있습니다.

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