243パッド＋ホルダセット真空パッド取付け部の部品構成図パッド径：φ0.7、φ1、φ1.5、φ2、φ3、φ4㎜ワンタッチ継手ワンタッチ継手ワンタッチ継手ワンタッチ継手バーブ継手バーブ継手バーブ継手バーブ継手スタンダードパッド（小型）VPMAVPMBVPMCVPSCVPMDVPMAVPMBVPMCVPSCVPMDVPMEVPMEスタンダードパッド（小型）の外径：φ0.7、φ1、φ1.5、φ2、φ3、φ4㎜パッド接続記号 -T4パッド接続形状はめ込み（ダイレクト接続）パッド接続記号 -H3パッド接続形状差し込み（ダイレクト接続）メートルメネジメートルメネジメートルメネジメートルメネジメートルオネジメートルオネジメートルメネジメートルオネジ落下防止弁形式：ECVM3-M3落下防止弁形式：ECVM5-M5落下防止弁形式：ECVM3-M3オプション1,400￥1,400￥1,400￥1,400￥オプションパッド径：φ1、φ2、φ3、φ4㎜VPAVPBVPCVPDVPEVPFスタンダードパッド（一般形）の外径：φ1、φ2、φ3、φ4㎜ワンタッチ継手ワンタッチ継手ワンタッチ継手バーブ継手バーブ継手バーブ継手ワンタッチ継手バーブ継手メートルメネジメートルメネジメートルメネジメートルメネジメートルメネジメートルオネジメートルメネジメートルオネジメートルオネジスタンダードパッド（一般形）オプションパッド径：φ6、φ8、φ10、φ15、φ20㎜ワンタッチ継手ワンタッチ継手ワンタッチ継手ワンタッチ継手 バーブ継手 バーブ継手 バーブ継手 バーブ継手薄物用パッドベローズパッド（VPMCなし）（VPMCなし）VPAVPBVPCVPDVPMAVPMBVPMCVPMDVPAVPBVPCVPDVPEVPFVPFスタンダード（一般形）・ベローズパッドの外径：φ6、φ8㎜薄物用パッドの外径：φ8、φ10、φ15、φ20㎜スタンダードパッド（一般形）ワンタッチ継手ワンタッチ継手ワンタッチ継手ワンタッチ継手 バーブ継手 バーブ継手 バーブ継手 バーブ継手スタンダード、滑り止めパッドパッドネジ（ネジサイズ：M4×0.7）（ネジサイズ：M4×0.7）多段ベローズパッドソフトパッドアダプタソフトベローズパッドベローズパッドスタンダードパッドの外径：φ10、φ15㎜滑り止めパッドの外径：φ10㎜ベローズパッドの外径：φ10、φ15㎜多段ベローズパッドの外径：φ10㎜ソフトパッドの外径：φ4、φ6、φ8、φ10、φ15㎜ソフトベローズパッドの外径：φ6、φ8、φ10、φ15㎜フラットパッドの外径：φ10、φ15㎜吸着痕防止パッドの外径：φ10㎜パッド直付タイプフィルタ形式：VFF15-M4フリーホルダ形式：FH10パッド径：φ4、φ6、φ8、φ10、φ15㎜吸着痕防止パッドフレキシブルホルダガスケット落下防止弁形式：ECVM4-M4オプション3,200￥オプション2,400 ￥オプションアダプタフラットパッドベローズパッド専用樹脂アタッチメント適用パッド外径：φ10、φ15㎜パッド接続記号 -T8パッド接続形状はめ込み（ダイレクト接続）パッド接続記号 -M4パッド接続形状ネジ込み（パッドネジ接続）
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