244真空パッド取付け部の部品構成図パッド径：φ10、φ15、φ20、φ25、φ30、φ35、φ40、φ50㎜VPMAVPMBVPMCVPOCVPMDVPAVPBVPCVPODVPDVPFワンタッチ継手ワンタッチ継手ワンタッチ継手ワンタッチ継手 バーブ継手メートルメネジメートルメネジメートルメネジメートルメネジメートルオネジ バーブ継手 バーブ継手 バーブ継手平ワッシャー*フリーホルダ、パッド直付タイプフィルタ 装着時は、不要となります。スタンダード、滑り止めパッドパッド押えパッドネジ（ネジサイズ：M6×1）パッドネジ（ネジサイズ：M6×1）ガスケット（ネジサイズ：M6×1）フィルタ（φ10、φ15㎜を除く）ストップリング（φ10、φ15㎜を除く）（φ10～φ30㎜）（φ35～φ50㎜）フィルタ穴用止め輪ベローズパッド多段ベローズパッド長円パッドソフトパッドアダプタアダプタソフトベローズパッドスタンダードパッドの外径：φ20、φ25、φ30、φ40、φ50㎜滑り止めパッドの外径：φ20、φ30、φ40、φ50㎜ フラットパッドの外径：φ20、φ25、φ30㎜ベローズパッドの外径：φ20、φ25、φ30、φ40、φ50㎜多段ベローズパッドの外径：φ20、φ30、φ40、φ50㎜スポンジパッドの外径：φ10、φ15、φ20、φ25、φ30、φ35、φ50㎜長円パッドの外径：2×4、3.5×7、4×10、5×10、6×10、4×20、5×20、6×20、8×20、4×30、5×30、6×30、8×30㎜ソフトパッドの外径：φ20、φ30、φ40㎜ソフトベローズパッドの外径：φ20㎜吸着痕防止パッドの外径：φ20、φ30㎜パッド直付タイプフィルタ形式：VFF15-M6（パッド径：ø10, ø15, ø20, ø25mmまでと長円パッド全て）VFF30-M6（パッド径：ø30, ø35, ø40, ø50mm）アダプタフラットパッドベローズパッド専用樹脂アタッチメント適用パッド外径：φ20～φ30㎜オプションオプションフリーホルダ形式：FH20落下防止弁形式：ECVM6-M6オプションパッド接続記号 -M6パッド接続形状ネジ込み（パッドネジ接続）スポンジパッドパッドフレームOリング吸着痕防止パッドフレキシブルホルダ1,500￥3,400￥2,400(VFF15-M6）￥4,000(VFF30-M6）（VPMCなし）-E20-E10
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