真空発生器VLS
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)])]有[i[i [i0 3RNAnm/ℓ(RNAnm/ℓ()]RNAnm/ℓ(VLS25VLS25150力圧空真量流度空真達到VLS28VLS28図1)aPk-()aPk-()aPk-()aPk-(±0.2% F.S. ±1 digit以下約3年(1日に5回表示の場合)3色(赤、緑、橙)表示(表示回数:5回/秒)±2% F.S. ±1 digit以下(at Ta=25 ±3ºC時)±2% F.S. ±1 digit以下(周囲温度:25 ±3ºC時)1分間10Hz~150Hz~10Hz、X, Y, Z各方向2時間7セグ、3.5 digit1分間10Hz~55Hz~10Hz、X、Y、Z各方向2時間±2.5% F.S. 以下(at Ta=25ºC、範囲0~+50ºC)度空真達到度空真達到量流量流■ 流量特性VVSS2020LL空気、不活性ガス0.15 ~ 0.7MPaGPD-V-01-101~0kPa空気、非腐蝕性/不燃性ガス有り可能ボタンを押してから60秒間≦±1% F.S. ±1 digit動作時:0~50ºC、保存時:-10~60ºC(結露と凍結なきこと)動作時及び保存時:35~85%RH(結露なきこと)複振幅1.5mmあるいは100m/s2、0.5MPa0 ~ 60℃(凍結なきこと)-101~10kPa(※1)300kPaCR2032 リチウム電池2Hz(2回/秒)IP65(※2)100m/s2 X、Y、Z各方向3回検知圧力の±2% F.S.(25ºC時)-100.0~100.0kPa300kPa125mADC24V1.5V以下2.5ms以下IP40VUS-32R調整可能(※)橙色 1 & 2表示灯50010045090400803507030060250502004015030100205010000.050.10.150.20.250.30.350.40.450.50.550.60.650.7200耐振動耐衝撃温度特性※1)0~10kPaの範囲は表示精度保証範囲外です。※2)IP65を維持するため大気リリースポート(図1)に  チューブを差込んでご使用ください。10050090450804007035060300502504020030150201001050000.050.10.150.20.250.30.350.40.450.50.550.60.650.712010080604020■VLSの仕様使用流体使用圧力範囲定格供給圧力使用温度範囲■デジタルプレッシャゲージの仕様形 式定格圧力範囲圧力表示範囲耐 圧適用流体電 池電池寿命電池最低下検知機能電池交換表示時間表示回数繰り返し性LCD表示表示精度保護構造周囲温度範囲周囲湿度範囲到達真空度吸込流量消費流量到達真空度吸込流量消費流量大気リリースポート供給圧力(MPa)供給圧力(MPa)チューブきます。スイッチ出力繰り返し性応 差応答時間出力短絡保護デジタル表示表示精度動作表示灯アナログ出力(電圧出力)耐環境温度特性ケーブル仕様※) ワンポイント設定モードとウインドコンパレータ設定モードは1~8 digitsの応差を調整で60055050045040035030025020015010050000.050.10.150.20.250.30.350.40.450.50.550.60.650.71009080706050403020100■圧力センサの仕様形 式定格圧力範囲耐圧適用流体供給電源消費電流到達真空度吸込流量消費流量供給圧力(MPa)吸込流量(ℓ/min[ANR])DC12V~24V(リップル ±10%以下)40mA以下(無負荷時)NPNオープンコレクタ出力 PNPオープンコレクタ出力DC30VAC1000V 1分間(リード線とケース間)50MΩ以上(DC500V)(リード線とケース間)100m/s² X, Y, Z各方向3回空気、非腐蝕性/不燃性ガス出力方式最大負荷電流最大供給電圧内部電圧降下ワンポイント設定モード応差モードウインドコンパレータモード(誤動作予防機能:25ms、100ms、250ms、500ms、1000ms、1500ms選択)出力電圧:1~5V ±2.5% F.S.以下(定格圧力範囲内にて)直線性:±1% F.S.以下、出力インピーダンス1kΩ保護構造周囲温度範囲周囲湿度範囲耐電圧絶縁抵抗動作時:0~50ºC、保存時:-10~60ºC(結露と凍結なきこと)動作時及び保存時:35~85%RH(結露なきこと)耐振動複振幅1.5mmあるいは100m/s²、耐衝撃耐油ケーブル(0.15mm²)50100■VLSH28真空特性■VLSH25真空特性仕 様特性■VLSH20真空特性

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