掲載商品の注意事項吸着確認ONONOFFOFF流量大側詳細版取扱説明書▶https://www.pisco.co.jp/dl/pdf/HIR0096-00.pdf設定値以下 ON高真空側流量0側132画面2色デジタル表示付流量センサ21の詳しい操作方法は、当社Webサイトの取扱説明書をご覧ください。・可燃性・爆発性のガスは、絶対に吸引しないでください。また、可燃性・爆発性のガスなど引火の可能性のある雰囲気では絶対に使用しないでください。爆発・火災の原因になります。・日本の計量法、及び計量法と同等の各国の法令には適合していないため、商取引には使用しないでください。・塩素や硫黄、酸などの腐蝕成分を含まない乾燥気体で、かつダストやオイルミストを含まない清浄気体を使用してください。流体の質によっては、流体を長時間滞留させると性能に悪影響を及ぼす恐れがあります。配管内の流体を長時間密封しないでください。本製品に異物（配管内のゴミや水滴、オイルミストなど）が流入すると、精度や制御性が悪くなったり、故障する恐れがあります。異物が流入する可能性がある場合には、本製品の一次側（上流）にフィルタやエアドライヤ、オイルミストフィルタなどを取付けてください。・バルブのグリース、オイルなどの飛散や、バルブから発生する摩耗粉により、本製品が誤動作したり故障する恐れがあります。本製品の一次側にバルブを使用する場合は、禁油仕様のバルブを使用し、フィルタを取付けてください。・液化したガスが本製品に流れ込むと故障の原因になります。炭酸ガスなどの液化ガスは、気化させてから使用してください。・測定流量レンジの2倍程度までの流量であればすぐに故障することはありませんが、常用はできませんので、仕様の範囲内でご使用ください。・最高使用圧力以上または最低使用圧力以下、測定流量レンジの範囲外での使用は故障の原因になります。・本製品のニードル弁は、製品の仕様上ある程度の漏れを許容しております。そのため漏れを許容しないストップ弁として使用することはできません。・流路内の発塵はゼロではありません。発塵が問題となる回路では中空糸膜フィルタ（MFUシリーズ）を併せてご使用ください。・吸着確認などでご使用の場合は以下にご注意ください。①吸入側の上流に必ずエアフィルタを取付け、異物・水分の吸入を防止してください。②大気の露点と本製品の周囲温度を考慮して、配管内で結露しない条件で使用してください。③吸気などの真空用途で使用する場合、ワンタッチ継手部付近での曲げを行わないでください。ワンタッチ継手付近のチューブに応力が加わる場合はインサートリングをチューブに挿入後、ワンタッチ継手に差込んでご使用ください。流量センサ（スイッチ）④吸着確認用センサを圧力センサ（スイッチ）から流量センサ（スイッチ）へ置換えた場合、センサ出力（スイッチ出力）の論理が反転するイメージになります（右表参照）。PLCのシーケンスプログラムについて変更・修正する必要が出ますのでご注意ください。特に、装置電源投入時に、元圧・真空源が供給されていない場合、流量センサ（スイッチ）では、「流量0」=「センサ出力（スイッチ出力）ON」の状態となりますので、PLCのシーケンスプログラムなどにて問題が出ないようにしてください。⑤使用真空圧力、吸気ノズル径より流量レンジを選択してください。吸気ノズルから本製品の間の配管容積によって、応答速度が遅れる場合があります。その場合は容積を小さくするなどの対策を施してください。・ケースの材質は樹脂です。樹脂を侵す恐れがありますので、汚れなどを取るために、溶剤やアルコール、洗浄剤などは使用しないでください。汚れを取る時は、薄めた中性洗剤でウエスを湿らせ、固く絞ってから拭取ってください。・定期的に流量精度を確認することを推奨します。お客様の使用環境や使用状態により、精度が初期から変動する場合があります。また、長時間使用するとセンサチップの劣化により、精度が変動する場合があります。-0.09MPa以下の真空下で通電すると、センサの放熱が悪くなり、センサの劣化につながります。また、圧力範囲内であっても、本製品の一次側と二次側の圧力条件によっては過大な流量が流れ、本製品内部のセンサが異常をきたす恐れがありますので、バイパス回路や絞りを設け、本製品へは過大な流量が流れ込まないようにしてください。特に高い圧力でご使用される場合には過流量になりやすいのでご注意ください。圧力センサ（スイッチ）設定値以上 ON大気圧側危険警告注意
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