B： ø4×40A： ø4×40 0（ℓ/min）B： ø4×1000B： ø4×40A： ø4×40 A： ø4×1000 3方弁）V（力出圧電グロナア5.554.543.532.521.510.5100200300400500FUS21AB0AA吸引0.5（ℓ/min）A-A断面25吸着確認時の応答時間は、配管の内容積や真空ポンプの排気速度などによって決まります。例えば、右図のような配管の場合の応答時間の配管依存性は下図のようになります。この結果より、応答時間を短くするためには、センサから吸着ノズルまでの配管内容積をできるだけ小さくすることが効果的です。吸引0.5（ℓ/min）2.コレットノズルについてコレットノズルは、吸着するワークをノズルと直接密着させたくない場合によく用いられます。コレットノズルは、内部が角錐状になっており、ワークが吸着したときに、四隅に隙間ができる構造であるため、吸着時に漏れが発生します。コレットノズルとワークの隙間（有効断面積）に対して、配管（バルブ、継手などを含む）の有効断面積が小さいと、流量は配管の有効断面積で決まってしまい、吸着時と非吸着時の流量差が小さくなってしまいます。このような場合は、配管の有効断面積をコレットノズルとワークの隙間の有効断面積より極力大きくすることにより、確実に吸着確認ができるようになります。時間（msec）加圧源（20kPa）真空源（-70kPa）600700800試験配管90010001100ノズル（ø0.25）120013001400ノズルワークコレットノズル吸着配管B内に気体が充填されるリリース（ブロー）配管B内から気体がぬける-0.3（ℓ/min）応答の配管依存性吸着確認について1.応答時間について
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