2画面2色デジタル表示付流量センサ21

26/28

Q＝V×　　　　　×1.013×105　Q：漏れ量（mℓ/min（ANR））　ΔP：差圧（Pa）　V：ワークの内容積（mℓ）　T：検出時間（s）Q＝500×　　　　　×　 ≒1.18（mℓ/min（ANR））FLOWR1R2∆P60T605201.013×10526圧力計法からの置換えをする場合、漏れ量の計算にご使用ください。例）内容積が500mℓのワークにおいて、検出時間が5秒で20Paの差圧が発生した時の漏れ量はR1R2温度センサ①温度抵抗値温度センサ②ヒータ温度分布対称電圧温度抵抗値温度分布の対称崩れる電圧〈流れなし〉R1RhR2R1R25VV out2.5VV out〈流れあり〉R1RhR2R1R25VV out2.5VV out漏れ検査について1.漏れ量の計算方法計測原理2画面2色デジタル表示付流量センサ21は、シリコンマイクロ加工技術を応用した、白金センサチップを採用しております。センサ部は、シリコン基板から熱的に絶縁されており、熱容量が極めて小さいため、高速応答で高感度です。センサ部には、2つの温度センサがヒータを挟んで配置されています。温度センサの材質には、温度によって抵抗値が変化する、白金を用いています。ヒータに通電加熱すると、流れのない場合は、温度分布がヒータを中心に対称となります。流れを受けた場合は、温度分布の対称性が崩れ、ヒータ上流側の温度は低下し、ヒータ下流側の温度は上昇します。この温度差は、温度センサの抵抗値の差となって現れ、流量によって変化します。また、逆方向に流れた場合は、温度差（抵抗値の差）が逆転します。この方式を用いると、双方向の流量を検知することができます。また、この方式は比較的小流量の検出に適しています。