ℓ/minℓ/minℓ/minFRF4桁＋4桁 2色LCDℓ/minℓ/minℓ/minℓ/minℓ/minℓ/minℓ/minℓ/minℓ/minℓ/minRFR0130134ø3.7 AWG26相当×5芯（コネクタ接続）、絶縁体外径ø1.02ℓ1ℓmℓ/min0~±9999999mℓ5mℓ10mℓ±5%F.S.以内（0.35MPa基準）±1%F.S.以内（2次側大気開放）±0.2%F.S.／ºC以内（15 ~ 35ºC、25ºC基準）±5%F.S.以内（2次側大気開放基準）±3%F.S.以内（2次側大気開放）（保証範囲は「測定流量レンジ」による）※1） 本製品に表示される流量は質量流量を体積流量に換算した値です。計測した質量流量を20℃、1気圧（101kPa）、相対湿度65%RHでの体積流量に換算して表示し※2）各流量における表示は以下のようになります。「Hi」表示「0」表示「Lo」表示「Hi」表示「0」表示「Lo」表示※3） 積算流量は計算（参考）値です。積算値保存機能を使用する場合は、保存回数が記憶素子のアクセス回数（限界は100万回）を超えないようにご注意ください。（各※4） 塩素、硫黄、酸などの腐蝕成分を含まない乾燥気体で、ダスト及びオイルミストを含まない清浄気体をご使用ください。圧縮空気をご使用の場合は、JIS B 8392-1：2012 等級 1.1.1～1.6.2の清浄空気をご使用ください。コンプレッサからの圧縮空気には、ドレン（水、酸化オイル、異物など）が含まれます。本製品の機能を維持するために、本製品の一次側（上流）にフィルタ、エアドライヤ（最低圧力露点10℃以下）及びオイルミストフィルタ（最大油分濃度0.1mg/m3）を取付けてご使用ください。5分※5） 本製品の調整・検査には圧縮空気を使用しております。空気以外のガス種では精度は目安となります。※6） 精度は当社の基準流量計を基準としており、絶対精度を示すものではありません。なお、精度±3%F.S.には、繰返し精度、温度特性、圧力特性は含まれておりません。使用環境・使用条件により別途考慮ください。※7）短時間での繰返し性です。経時変化は含みません。※8） 実際の応答時間は配管条件によって変わります。応答時間の設定は目安として50msecから1.5secまで選択できます。00501015~500mℓ/min-500~-15,15~500mℓ/min30~1000mℓ/min-1000~-30,30~1000mℓ/min-2.00~-0.06,0.06~2.00-49~549mℓ/min-549~549mℓ/min-99~1099mℓ/min-0.19~2.19-1099~1099-2.19~2.19020050100片方向双方向0.06~2.00ℓ/min0.15~5.00ℓ/min0.30~10.00-5.00~-0.15,0.15~5.00ℓ/min-10.00~-0.30,0.30~10.00-0.49~5.49-0.99~10.99-5.49~5.49-10.99~10.990.00~±99999.99ℓ0.02ℓ0.05ℓ0.1ℓ0 ~ 50ºC（結露なきこと）-0.09~0.75MPa1MPa0 ~ 50ºC、90%RH以下-10 ~ 60ºC50msec以下（応答時間設定OFF時）NPNオープンコレクタ出力（50mA以下、電圧降下2.4V以下）PNPオープンコレクタ出力（50mA以下、電圧降下2.4V以下）1 ~ 5V電圧出力（接続負荷インピーダンス50kΩ以上）4 ~ 20mA電流出力（接続負荷インピーダンス0 ~ 300Ω）DC12 ~ 24V（10.8 ~ 26.4V） リップル率1%以下DC24V（21.6 ~ 26.4V） リップル率1%以下45mA以下IP40相当10～150Hz、最大100m/s²、XYZ方向、各2時間EN55011、EN61000-6-2、EN61000-4-2/3/4/6/82005000.6~20.0ℓ/min1.5~50.0ℓ/min-20.0~-0.6,0.6~20.0ℓ/min-50.0~-1.5,1.5~50.0ℓ/min-1.9~21.9ℓ/min-4.9~54.9ℓ/min-21.9~21.9-54.9~54.90.0~±999999.9ℓ0.2ℓ0.5ℓ1012013.0~100.0ℓ/min6~200ℓ/min-200~-6,6~200ℓ/min-100.0~-3.0,3.0~100.0ℓ/min-9.9~109.9-19~219ℓ/min-219~219ℓ/min-109.9~109.90~±9999999ℓ使用時間保存回数＝ー＜100万回空気圧源エアドライヤフィルタオイルミストフィルタレギュレータ流量センサFUS21清浄空気（JIS B 8392-1:2012 1.1.1~5.6.2）、圧縮空気（JIS B 8392-1:2012 1.1.1~1.6.2）、窒素ガス①ガス種切替、②設定コピー機能、③流量積算、④ピークホールド、他電源逆接続保護、スイッチ出力逆接続保護、スイッチ出力負荷短絡保護-10-100%測定流量範囲アルゴン、炭酸ガス、混合ガス（アルゴン＋炭酸ガス）縦・横自在-1-3-1測定流量範囲測定流量範囲不要100%110%100%110%流れ方向測定流量レンジ(※1)表示の種類測定表示範囲(※2)積算表示(※3)範囲パルス出力レート適用流体(※4)温度範囲圧力範囲耐圧力使用条件使用周囲温度・湿度保存温度精度（※6）繰返し精度（※7）温度特性精度（※5）（ 流体：乾燥空気にて）圧力特性応答時間(※8)NV/NVC/NA/NACスイッチ出力PV/PVC/PA/PACアナログ出力(※9)NV/NVC/PV/PVCNA/NAC/PA/PACNV/NVC/PV/PVCNA/NAC/PA/PAC電源電圧(※10)消費電流(※11)リード線保有機能(※12)保護構造保護回路(※13)耐振動EMC指令取付取付姿勢(※14)直管導入部(※15)ています。（空気以外のガス種では、20℃、1気圧（101kPa）、0%RH）。片方向タイプ双方向タイプ-110%種設定の変更もアクセス回数にカウントされます。）瞬時流量が1%以下の時は、積算流量としてカウントされません。＜推奨回路＞仕様流量レンジ記号
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