4~20mA4~12mA8~16mA※13） 本製品の保護回路は特定の誤接続、負荷の短絡に対してのみ効果があり、あらゆる誤接続から保護できるわけではありません。※14）本製品は流れによる熱分布の変化を測定しています。縦方向に設置すると、対流の影響で熱分布が変わり、ゼロ点がずれる場合があります。※15）配管条件によっては精度に影響する場合があります。より精度よく測定するためには配管内径の10倍の直管部を設けてください。ℓ/min※9） アナログ出力電圧出力タイプの出力インピーダンスは、約1kΩです。接続負荷のインピーダンスが低い場合、出力値と誤差が大きくなります。接続負荷のイン※10） 電圧出力タイプと電流出力タイプでは、電源電圧仕様が異なりますのでご注意ください。※11） DC24V接続、負荷未接続時の電流です。負荷の接続状態によって消費電流が変わりますのでご注意ください。※12）ガス種切替機能により、アルゴン、炭酸ガス、アルゴン80%＋炭酸ガス20%に切替えることができます。ℓ/min3.0~100.0ℓ/min3.0~50.0ℓ/minℓ/min3.0~50.0ℓ/minℓ/min1.5~50.0ℓ/min1.5~25.0ℓ/minℓ/min1.5~25.0ℓ/minℓ/min0.6~20.0ℓ/min0.6~10.0ℓ/minℓ/min0.6~10.0ℓ/minℓ/minℓ/min0.30~5.00ℓ/minℓ/min0.30~5.00ℓ/minℓ/min0.15~5.00ℓ/min0.15~2.50ℓ/minℓ/min0.15~2.50ℓ/minℓ/min0.06~2.00ℓ/min0.06~1.00ℓ/minℓ/min0.06~1.00ℓ/min01030~1000mℓ/min-1000~-30mℓ/min30~1000mℓ/min30~500mℓ/min-500~-30mℓ/min30~500mℓ/min0200500.06~2.00ℓ/min0.15~5.00ℓ/min0.30~10.00-2.00~-0.06-5.00~-0.15-10.00~-0.300.30~10.00-1.00~-0.06-2.50~-0.15-5.00~-0.301002005000.6~20.0ℓ/min1.5~50.0ℓ/min-20.0~-0.6-50.0~-1.5-25.0~-1.5-10.0~-0.61012016~200ℓ/min-200~-6ℓ/min6~200ℓ/min6~100ℓ/min-100~-6ℓ/min6~100ℓ/min3.0~100.0ℓ/min-100.0~-3.0-50.0~-3.05ピーダンスでの誤差を確認の上、ご使用ください。炭酸ガスへ切替後のフルスケール流量は流量レンジの半分になります。また、アナログ出力は出力タイプを選択することができます。ガス種流れ方向005片方向15~500mℓ/min-500~-15mℓ/min15~500mℓ/min片方向15~250mℓ/min-250~-15mℓ/min15~250mℓ/min・空気・窒素・アルゴン・アルゴン80% + 炭酸ガス20%双方向・炭酸ガス双方向ガス種流れ方向・炭酸ガス片方向双方向「設定コピー機能」の有無は注文形式の「出力仕様」で選択します。「設定コピー機能」有の機種は、「外部入力」機能がありませんのでご注意ください。█ ニードル弁一体型の場合アナログ出力出力タイプA電圧1~3V2~4V電流液晶カバー（アクリル樹脂）ケース（PA）電子基板（ガラスエポキシ樹脂）センサガスケット（FKM）センサ基板（ガラスエポキシ樹脂）ポートフィルタ（ステンレス）センサチップ（半導体シリコン）センサ部（ ※1） ※1）センサ部の主要部品はニードル弁無しの構造図を参照してください。 ※2）FUS21…005/010/020はステンレスになります。 ※3）FUS21…005/010/020はPTFEになります。測定流量範囲出力タイプB電圧1~5V電流液晶樹脂ボディ（PA）Oリング（FKM）オリフィス（黄銅、ニッケルメッキ）（※3）ポートフィルタ（ステンレス）スイッチ（EPDM）基板スペーサ（PC）センサカバー（ステンレス）ワンタッチ継手ツマミ（PBT）ロックナット（黄銅、ニッケルメッキ）ニードルガイド（黄銅、ニッケルメッキ）ニードル（黄銅、ニッケルメッキ）（※2）固定ピン（ステンレス）Oリング（FKM）継手固定ピン（ステンレス）ニードル弁ボディ（PA）構造図█ ニードル弁無しの場合
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