定流量スピードコントローラ

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制御Series定流量スピードコントローラ489継　手制御機器速度制御弁速度制御弁耐腐蝕用速度制御弁クリーン速度制御弁耐スパッタ固定式速度制御弁0200150100500.30.40.50.60.70.10.2ø1.9ø2ø1.8ø1.7ø1.6ø1.5ø1.4ø1.3ø1.2ø1.1ø1.0ø0.9ø0.8ø0.7ø0.6流量 (l/min(ANR))圧力 (MPa)ø0.5ø0.4012.04.08.016.010.02.06.014.00.30.40.50.60.70.10.2ø0.2ø0.1ø0.3流量 (l/min(ANR))圧力 (MPa)60050040030020010000.10.20.30.40.50.60.76-02,8-026-01,8-014-01流量 (l/min(ANR))圧力 (MPa)自由流制御流■ 流量特性