真空発生器VQ

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固定ピンカートリッジ固定ピンカートリッジOリングOリング■ 7.カートリッジ継手の交換方法ノズル1（ノズル）ノズル2（ディフューザ1）ディフューザ（ディフューザ2）ノズルリテーナ固定ネジサイレンサエレメント1サイレンサエレメント2エレメントカバー※.(　)内は2段ノズルの場合■ 6.ノズル・ディフューザの交換、清掃方法168VZVNVXVJVKVQ真空発生器真空ポンプ対応ユニット真空ポンプ真空パッド真空関連機器技術資料■カートリッジ継手は下記手順により交換できます。①.固定ピンをマイナスドライバなどで引き抜く。②.カートリッジを接続方向へ引き抜く。（注）カートリッジを本体に装着する際にはOリング及び本体内径部にゴミ、毛羽などの無いことを確認し装着してください。■ノズル・ディフューザの交換、清掃は次の手順により行ってください。①.エレメントカバー固定ネジ（2本）を適正なプラスドライバにて外し、エレメントカバーを外す。②-1.シングルノズルタイプの場合：ノズルリテーナ、ディフューザ、ノズルの順に引き抜く。②-2.ツインノズルタイプの場合：ノズルリテーナ、ディフューザ、ノズル2、ノズル1の順に引き抜く。②-3.2段ノズルタイプの場合：ノズルリテーナ、ディフューザ2、ディフューザ1、ノズルの順に引き抜く。③-1.シングルノズルタイプの場合：ノズル、ディフューザの内径部、シール部への付着物をエアブロー、及び拭き取りにより除去する。③-2.ツインノズルタイプの場合：ノズル1、2、ディフューザの内径部、シール部への付着物をエアブロー、及び拭き取りにより除去する。③-3.2段ノズルタイプの場合：ノズル、ディフューザ1、ディフューザ2の内径部、シール部への付着物をエアブロー、及び拭き取りにより除去する。（注）ノズル、ディフューザの内径部、及びシール部へ傷が付かないよう注意してください。④-1.シングルノズルタイプの場合：ノズル、ディフューザ、ノズルリテーナの順に本体へ挿入する。④-2.ツインノズルタイプの場合：ノズル1、2、ディフューザ、ノズルリテーナの順に本体へ挿入する。④-3.2段ノズルタイプの場合：ノズル、ディフューザ1、ディフューザ2、ノズルリテーナの順に本体へ挿入する。⑤.エレメントカバーを取付け、固定ネジを0.4～0.5N·mの締付けトルクにて確実に固定する。