真空発生器VZ
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PV portV portV portV portPS portR portPV portPS portR portPV portPS portR port真空発生用パイロットバルブ(N.C.)ON真空発生用主弁(N.C.)ON大気圧真空破壊弁(N.O.)ON真空発生用パイロットバルブ(N.C.)OFF真空発生用主弁(N.C.)ON保持大気圧真空破壊弁(N.O.)ON真空破壊用パイロットバルブ(N.C.)ON真空発生用主弁(N.C.)OFF真空破壊用主弁(N.C.)ON大気圧真空破壊弁(N.O.)OFF● 真空発生状態● 真空発生保持状態● 真空破壊状態■ 動作説明図(ダブルソレノイドタイプ)308VZ真空発生器真空ポンプ対応ユニット真空ポンプ真空パッド真空関連機器技術資料
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