ロータリ真空ポンプ

28/66

359真空ポンプSeriesロータリ真空ポンプRPV06RPV06真空発生器真空ポンプ■ ロータリ真空ポンプの選定についてt = — × 2.3log —VSP1P2t0 = t1 + t2 + t3 + …t = — × 2.3log —VSP1P2t1 = — × 2.3log — = 0.041min2058101.390t2 = — × 2.3log — = 0.041min20579080t3 = — × 2.3log — = 0.049min20558070t4 = — × 2.3log — = 0.058min20537060t5 = — × 2.3log — = 0.072min20516050t6 = — × 2.3log — = 0.093min20485040t7 = — × 2.3log — = 0.125mint0 = t1 + t2 + t3 + t4 + t5 + t6 + t7 = 0.479min (= 28.7sec)2046403060807057504030201004030201005060708090100排気速度（ℓ/min）到達真空圧力（kPa abs）RPV062[50Hz][60Hz][50Hz][60Hz]■密閉された空間（タンク）において、初期圧力から最終圧力（目標とする吸着圧力）まで排気する時間を求める場合、次式にて算出します。t：排気時間（min）V：容積（ℓ）S：ポンプ排気速度（ℓ/min）P1：初期圧力（kPa abs）P2：最終圧力（kPa abs）上記の計算をする場合、ロータリ真空ポンプの排気速度：Sは圧力領域により変わるため、圧力領域を分けてそれぞれの排気時間：t1、t2、t3、・・・を計算し合計：t0を算出します。例）RPV062を50Hzで使用し、容積：20ℓの空間を大気圧から30kPa absまで排気する時間は？～厳密に10kPa毎に算出する場合～※表記は、あくまで一例であり、用途に応じた数十kPa毎の算出でも構いません。i本ページ掲載の「真空到達時間」の計算ツールを弊社サイト（http://www.pisco.co.jp/technology/pump/）に公開。ネット上で簡単に算出できます。真空圧力：80kPa abs時における実効排気速度の読み取り値