377 真空ポンプ対応ユニットSeries真空ポンプ対応ユニットVQPVQP真空ポンプ対応ユニット真空発生器真空ポンプ 個別注意事項ご使用の前に必ずお読みください。安全上のご注意、掲載商品の注意事項については、P.43〜P.49、真空の共通注意事項についてはP.55〜P.56、真空発生器 総合タイプの共通注意事項についてはP.123〜P.124、真空ポンプ対応ユニットの共通注意事項についてはP.365をそれぞれご確認ください。警 告1.各部のネジ締付けは適正トルクで締付けてください。製品取付けの締付けトルクは373ページの「製品固定方法」に、フィルタカバーの締付けトルクは167ページの「4.フィルタエレメントの交換方法」に記載しております。適正な締付けが行われない場合には、エア漏れ、製品の脱落、製品各部の破損の原因となります。■ 1.バルブ作動に関する使用方法▲真空発生器VQ(P.164)をご覧ください。■ 3.圧力センサ各部の名称、機能▲真空発生器VQ(P.164)をご覧ください。■ 4.フィルタエレメントの交換方法▲真空発生器VQ(P.167)をご覧ください。■ 7.カートリッジ継手の交換方法▲真空発生器VQ(P.168)をご覧ください。 使用上の注意
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