真空ポンプ対応ユニットVQP
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22真空パッド周辺の関連機器吸着するワーク面のトラブル、吸着ミスによるトラブル、吸込まれたゴミによるトラブルをパッドとパッドホルダの間に取付け未然に防止します。フリーホルダFH落下防止弁ECVワークパッドパッドホルダパッド直付形フィルタVFF真空発生器または真空ポンプ側真空発生器または真空ポンプ側真空発生器または真空ポンプ側タイプ特 長掲 載ページFH・パッドの吸着面がワークに対し直角に置かれていない場合やワーク吸着面の角度が不定の場合に最適。886ECV・1個の真空源に複数のパッドを使用の場合、吸着していないパッドがあっても正常に吸着しているパッドは、真空低下を軽減しますので、正常に吸着しているワークの落下を防止します。892VFF・ワーク吸着時に吸込まれるゴミを除去します。902真空パッド周辺の関連機器機種構成吸 着未吸着吸 着真空関連機器技術資料

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