真空ポンプ対応ユニットVNP
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Max.0g6848.453.8●高速、かつ安定した応答性を実現。(ON/OFF=5msec以下)ONON●チップマウンタ、ハンドラーなどの半導体関連装置に最適。●取付けスペースに制約のあるお客様に最適。 視認性の良いLED表示付圧力センサを新たにラインナップ。度空真→度空真→807090102030605040421従来の真空ユニットOFF真空ユニットVNPOFFバラツキが大きいバラツキが小さい高速応答※)LED表示付圧力センサを除く。ソレノイドへの入力信号真空大気圧→時間応答時間のソレノイドへの入力信号→時間応答時間の真空大気圧小型・軽量。特に製品高さを抑えました。単体タイプ主弁に直動バルブを採用。マニホールドタイプ高速かつ安定した応答性を実現した総合タイプ制御ユニット真空ポンプ対応ユニットVNP

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