SVPLFC10-5S5-M66［5］4.5〜6.5VPLFC10-10S5-M611［10］4.5〜8.2VPLFC10-15S5-M616［15］4.5〜9.9VPLFC15-5S5-M66［5］4.5〜6.5VPLFC15-10S5-M611［10］4.5〜8.2VPLFC15-15S5-M616［15］4.5〜9.9VPLFC20-5S5-M66［5］4.5〜6.5VPLFC20-10S5-M611［10］4.5〜8.2VPLFC20-15S5-M616［15］4.5〜9.9VPLFC25-5S5-M66［5］4.5〜6.5VPLFC25-10S5-M611［10］4.5〜8.2VPLFC25-15S5-M616［15］4.5〜9.9VPLFC30-5S5-M66［5］4.5〜6.5VPLFC30-10S5-M611［10］4.5〜8.2VPLFC30-15S5-M616［15］4.5〜9.9VPLFC35-5S5-M66［5］4.5〜6.5VPLFC35-10S5-M611［10］4.5〜8.2VPLFC35-15S5-M616［15］4.5〜9.9VPLFC50-5S5-M66［5］4.5〜6.5VPLFC50-10S5-M611［10］4.5〜8.2VPLFC50-15S5-M616［15］4.5〜9.9※.形式中の5には、パッドゴム材質をご記入ください。パッドゴム材質の記号につきましてはP.1092を参照ください。※.パッドホルダ隔壁部取付けナットの締付けトルクは、18~21N·mとなります。※.質量は、公式サイトをご覧ください。※.実用ストロークは、［ ］内寸法となります。52B26.09S2L3L4L4-21LB61.671.681.661.671.681.667.677.687.667.677.687.667.677.687.680.290.2100.280.290.2100.2VPLFCNEW1121L1L226.531.536.526.531.536.526.531.536.526.531.536.526.531.536.526.531.536.526.531.536.5L331.536.541.531.536.541.531.536.541.531.536.541.531.536.541.531.536.541.531.536.541.52-Hex.17ø12M14×1ødM6×1ø8Hex.12ストロークスプリング力単位：mmパッド接続記号VPLFC10-■S■-M6VPLFC15-■S■-M6VPLFC20-■S■-M6VPLFC25-■S■-M6VPLFC30-■S■-M6VPLFC35-■S■-M6VPLFC50-■S■-M6ød101520253035509.59.515.515.515.52828形 式パッド外径RoHS指令CAD（2D&3D）ストローク（㎜）5,10,15(N)L442.552.562.542.552.562.542.552.562.542.552.562.542.552.562.542.552.562.542.552.562.5-M6 真空パッドSeriesスプリング式 真空取出口：上、メネジ 低発塵タイプ
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