真空パッドベローズタイプ
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1L2LB94BSS20S2030405020304050203040502030405020304050B66799210566799210570839610977901031167992105118※4)寸法表中、形式内の8には樹脂アタッチメント材質が入ります。樹脂アタッチメント材質につきましてはP.808を参照してください。※5)パッドゴム材質:ニトリルゴム(N)と導電性NBR(低抵抗タイプ)(NE)は、低濃度オゾン対策を目的とする用途には適しておりません。※6)パッドホルダ隔壁部取付ナットの締付トルクは、4.5~6N·mとなります。※1)寸法表中、形式内の5にはパッドゴム材質が入ります。パッドゴム材質につきましてはP.808を参照してください。※2)寸法表中、形式内の7には吸着痕防止用樹脂アタッチメントが必要な場合、記号:-Qをご記入ください。※3)吸着痕防止樹脂アタッチメントを装着した時の全長寸法は、上記寸法表中Bに下表の数値を加算してください。※4)寸法表中、形式内の8には樹脂アタッチメント材質が入ります。樹脂アタッチメント材質につきましてはP.808を参照してください。※5)パッドゴム材質:ニトリルゴム(N)と導電性NBR(低抵抗タイプ)(NE)は、低濃度オゾン対策を目的とする用途には適しておりません。※6)パッドホルダ隔壁部取付ナットの締付トルクは、4.5~6N·mとなります。VPOCVPOC20■B■-M6■■VPOC25■B■-M6■■VPOC30■B■-M6■■VPOC40■B■-M6VPOC50■B■-M6M6×150パッド外径(㎜)加算寸法(㎜)パッド外径(㎜)加算寸法(㎜)89.1102.132115.1128.120192519302340305032701.5〜4.91.1〜4.883301.0〜4.596400.9〜4.5109501.5〜4.91.1〜4.81.0〜4.50.9〜4.51.5〜4.91.1〜4.81.0〜4.50.9〜4.51.5〜4.91.1〜4.81.0〜4.50.9〜4.51.5〜4.91.1〜4.81.0〜4.50.9〜4.51.5〜4.91.1〜4.81.0〜4.50.9〜4.5ødøD2.542.542.542.54VPOC20-20B5-M678VPOC20-30B5-M678VPOC20-40B5-M678VPOC20-50B5-M678VPOC25-20B5-M678VPOC25-30B5-M678VPOC25-40B5-M678VPOC25-50B5-M678VPOC30-20B5-M678VPOC30-30B5-M678VPOC30-40B5-M678VPOC30-50B5-M678VPOC40-20B5-M6VPOC40-30B5-M6VPOC40-40B5-M6VPOC40-50B5-M6VPOC50-20B5-M6VPOC50-30B5-M6VPOC50-40B5-M6VPOC50-50B5-M6L1ødL1L2(N)L25770839657708396617487100688194107708396109(N)846ø200.5ø200.5ø250.8ø250.8ø301ø301ストローク(㎜)20,30,40,50単位:mmVPOC50-20B5-4BVPOC50-20B5-6BVPOC50-30B5-4BVPOC50-30B5-6BVPOC50-40B5-4BVPOC50-40B5-6BVPOC50-50B5-4BVPOC50-50B5-6B※1)寸法表中、形式内の5にはパッドゴム材質が入ります。パッドゴム材質につきましてはP.808を参照してください。※2)寸法表中、形式内の7には吸着痕防止用樹脂アタッチメントが必要な場合、記号:-Qをご記入ください。※3)吸着痕防止樹脂アタッチメントを装着した時の全長寸法は、上記寸法表中Bに下表の数値を加算してください。形 式パッド外径チューブ内径形 式M14×12-Hex.17ødパッド外径ストロークスプリング力ストロークスプリング力単位:mmパッド接続記号パッド接続記号-M6-M6スプリング式 真空取出口:上、メネジタイプカバー無し

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