真空パッドベローズタイプ
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S6101520610152061015206101520610152061015206101520ーーーE18.525303718.525303718.524.529.536.518.524.529.536.518.524.529.536.518.524.529.536.518.524.529.536.5ーーーーー33B66.171.181.197.166.171.181.197.169.175.185.1101.169.175.185.1101.173.179.189.1105.180.186.196.1112.182.188.198.1114.1113.6113119※4)寸法表中、形式内の8には樹脂アタッチメント材質が入ります。樹脂アタッチメント材質につきましてはP.808を参照してください。※5)金属部材質にS3仕様とシール部材質にFKMまたはHNBR仕様をご希望のお客様は、形式末尾のが“対応品あり”を表しております。※6)パッドゴム材質:ニトリルゴム(N)と導電性NBR(低抵抗タイプ)(NE)は、低濃度オゾン対策を目的とする用途には適しておりません。※7)パッドホルダ隔壁部取付ナットの締付トルクは、下記の通りとなります。101520253040506080100パッド外径(㎜)加算寸法(㎜)また、記号 : -S3を忘れずにご記入ください。パッド接続記号ストローク(㎜)締付トルク(N·m)1.8~2.420253420253420192534201925342023253420253430202534ーーー323837.443.44.0〜7.12.0〜5.22.0〜5.91.1〜4.84.0〜7.12.0〜5.22.0〜5.91.1〜4.87.0〜12.63.3〜10.03.3〜10.42.0〜8.77.0〜12.63.3〜10.03.3〜10.42.0〜8.77.0〜12.63.3〜10.03.3〜10.42.0〜8.77.0〜12.63.3〜10.03.3〜10.42.0〜8.77.0〜12.63.3〜10.03.3〜10.42.0〜8.710.1〜15.810.1〜15.810.1〜15.8ødL1L3L2434853604348536046525764465257645056616857636875596570778382.488.4(N)872ø100.510ø150.5ø200.5-H3158~1020101.8~2.4ø250.8-T8-M4-M6158~10206~204.5~6ø301-M101016~20単位:mmパッド接続記号VPD10-6B5-M678VPD10-10B5-M678VPD10-15B5-M678VPD10-20B5-M678VPD15-6B5-M678VPD15-10B5-M678VPD15-15B5-M678VPD15-20B5-M678VPD20-6B5-M678VPD20-10B5-M678VPD20-15B5-M678VPD20-20B5-M678VPD25-6B5-M678VPD25-10B5-M678VPD25-15B5-M678VPD25-20B5-M678VPD30-6B5-M678VPD30-10B5-M678VPD30-15B5-M678VPD30-20B5-M678VPD40-6B5-M6VPD40-10B5-M6VPD40-15B5-M6VPD40-20B5-M6VPD50-6B5-M6VPD50-10B5-M6VPD50-15B5-M6VPD50-20B5-M6VPD60-10B5-G1VPD80-10B5-G1VPD100-10B5-G1※1)寸法表中、形式内の5にはパッドゴム材質が入ります。パッドゴム材質につきましてはP.808を参照してください。※2)寸法表中、形式内の7には吸着痕防止用樹脂アタッチメントが必要な場合、記号:-Qをご記入ください。※3)吸着痕防止樹脂アタッチメントを装着した時の全長寸法は、上記寸法表中Bに下表の数値を加算してください。パッド外径形 式ストロークスプリング力-M4-M6-M10

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