真空パッドベローズタイプ
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S20※4)寸法表中、形式内の8には樹脂アタッチメント材質が入ります。樹脂アタッチメント材質につきましてはP.808を参照してください。※5)パッドゴム材質:ニトリルゴム(N)と導電性NBR(低抵抗タイプ)(NE)は、低濃度オゾン対策を目的とする用途には適しておりません。※6)パッドホルダ隔壁部取付ナットの締付トルクは、4.5~6N·mとなります。4050パッド外径(㎜)加算寸法(㎜)91.679.592.5104.630105.5117.6130.6118.581.593.694.5106.632119.6107.5132.6120.51.5〜4.941301.1〜4.8541.0〜4.567400.9〜4.5805041201.5〜4.930541.1〜4.867401.0〜4.580500.9〜4.5ødøD2.542.542.542.542.542.542.542.54L1L2876ø200.5ø250.8ø301(N)BE単位:mmパッド接続記号VPOD40-20B5-4BVPOD40-20B5-6BVPOD40-30B5-4BVPOD40-30B5-6BVPOD40-40B5-4BVPOD40-40B5-6BVPOD40-50B5-4BVPOD40-50B5-6BVPOD50-20B5-4BVPOD50-20B5-6BVPOD50-30B5-4BVPOD50-30B5-6BVPOD50-40B5-4BVPOD50-40B5-6BVPOD50-50B5-4BVPOD50-50B5-6B※1)寸法表中、形式内の5にはパッドゴム材質が入ります。パッドゴム材質につきましてはP.808を参照してください。※2)寸法表中、形式内の7には吸着痕防止用樹脂アタッチメントが必要な場合、記号:-Qをご記入ください。※3)吸着痕防止樹脂アタッチメントを装着した時の全長寸法は、上記寸法表中Bに下表の数値を加算してください。形 式パッド外径チューブ内径ストロークスプリング力-M6

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