真空パッド多段ベローズタイプ

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752C52SSB26.04.76.1B26.05.65.ーー7676767S4-23-22L3L4L3L2L4L1L41C6B64.1925L1L2L3L4(N)形　式VPLFC10-2W5-3BVPLFC10-2W5-4BVPLFC10-2W5-6BVPLFC10-5W5-3BVPLFC10-5W5-4BVPLFC10-5W5-6BVPLFC10-10W5-3BVPLFC10-10W5-4BVPLFC10-10W5-6BVPLFC10-15W5-3BVPLFC10-15W5-4BVPLFC10-15W5-6Bø9øD2-Hex.13M10×1ø6Hex.10ø10パッド外径チューブ内径ø12øDød2-Hex.17M14×1ø8Hex.12ストロークスプリング力65.670.171.680.181.690.191.621.52624.52929.53434.539343［2］1.3〜1.8406［5］1.3〜2.45011［10］1.3〜3.36016［15］1.3〜4.2 真空パッドSeriesVPLFCVPLFC10■W■■VPLFC20■W■■VPLFC30■W■■VPLFC40■W■■VPLFC50■W■■ødøD22.5422.5422.5422.54ストローク（㎜）2,5,10,15単位：mmパッド接続記号-M4スプリング式　真空取出口：上、バーブ継手タイプ低発塵