S20304050E41546780L71.584.597.5110.5B83.696.6109.6122.694SEB022LVPOD1.5〜4.91.1〜4.81.0〜4.50.9〜4.5スプリング式 真空取出口：横、メネジ カバー無しタイプHex.10ø20形 式M14×12-Hex.17M6×1Hex.14728VPOD20-20LB5-M6VPOD20-30LB5-M6VPOD20-40LB5-M6VPOD20-50LB5-M6※.寸法表中、形式内の5にはパッドゴム材質が入ります。パッドゴム材質につきましてはP.682を参照ください。※.パッドホルダ隔壁部取付けナットの締付けトルクは、4.5~6N·mとなります。ストロークスプリング力RoHS指令(N)CAD（2D&3D）ストローク（㎜）20,30,40,50-M6単位：mmパッド接続記号
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