987 真空パッドSeries真空パッド 薄物用タイプ真空パッド真空ポンプ対応ユニット真空発生器真空ポンプ単位：mm形 式パッド外径ødチューブ内径øD取付ネジMBL1L2L3øPE1E2C対辺H1対辺H2TストロークSスプリング力(N)VPD15-3P5-3B8152M8×0.7540.56.528131012.413610□8231.0〜1.9VPD15-3P5-4B82.513.97VPD15-3P5-6B84VPD15-10P5-3B2M12×155.63517.51314.421614124100.8〜2.7VPD15-10P5-4B2.515.97VPD15-10P5-6B4VPD15-15P5-3B266.64023.514.4266150.7〜3.0VPD15-15P5-4B2.515.97VPD15-15P5-6B4VPD15-20P5-3B276.64528.514.4316200.9〜3.4VPD15-20P5-4B2.515.97VPD15-20P5-6B4VPD20-3P5-3B8202M8×0.7541.37.328.8131012.413610□8231.0〜1.9VPD20-3P5-4B82.513.97VPD20-3P5-6B84VPD20-10P5-3B2M12×156.435.817.51314.421614124100.8〜2.7VPD20-10P5-4B2.515.97VPD20-10P5-6B4VPD20-15P5-3B267.440.823.514.4266150.7〜3.0VPD20-15P5-4B2.515.97VPD20-15P5-6B4VPD20-20P5-3B277.445.828.514.4316200.9〜3.4VPD20-20P5-4B2.515.97VPD20-20P5-6B4※.寸法表中、形式内の5にはパッドゴム材質が入ります。パッドゴム材質につきましてはP.958を参照ください。※.金属部材質に銅系金属不使用仕様とシール部材質にFKMまたはHNBR仕様をご希望のお客様は、形式末尾の8が“対応品あり”を表しております。また、記号：-S3を忘れずにご記入ください。※.パッドゴム材質：ニトリルゴム（N）と導電性NBR（低抵抗タイプ）（NE）は、低濃度オゾン対策を目的とする用途には適しておりません。※.パッドホルダ隔壁部取付けナットの締付けトルクは、1.8~2.4N·mとなります。øDBL2L1ødCE12-TL3M2-H1H2øPSE2VPD153P568VPD203P568パッド接続記号-T8RoHS指令銅系不使用品も用意CAD（2D&3D）ストローク（㎜）3,10,15,20
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