真空パッド薄物用タイプ
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真空用機器の選定方法How to select Vacuum equipment31T10到達時間(sec)バルブの作動T2(3.5×T1)(kPa)真空圧力PONOFFPm×63%Pm×95%Pm200.010.020.050.20.5配管容積V=50(ℓ)V=50(ℓ)配管容積105211,00070050030070503020107532160423018126.04.23.01.81.20.60.40.30.20.130.060.10.20.30.50.7135710203050701000.350.71.051.752.453.5710.517.524.53570105175245350真空圧力(95%)到達時間 T2(sec)切換弁有効断面積 = Q/11.1(mm²)0.10.010.020.050.20.1㈫④③②①200200最大吸込流量 Q(ℓ/min[ANR])⑤⑥⑦⑧④⑤⑥⑦⑧22真空圧力(63%)到達時間 T1(sec)最大吸込流量 Q(ℓ/min[ANR])真空圧力(63%)到達時間 T1(sec)100100A.応答時間を求める(漏れのない場合)真空制御機器、使用条件が明確な場合、その情報から概略の応答時間(目安値)を数値化することができます。Pm:最終真空圧力 T1:最終真空圧力Pmの63%に到達する時間T2:最終真空圧力Pmの95%に到達する時間●計算式から算出する方法V×60吸着応答時間 T1 = −QT1:最終真空圧力Pmの63%に到達するまでの時間(sec)T2:最終真空圧力Pmの95%に到達するまでの時間(sec)V:真空発生器、切換弁からパッドまでの配管容積(ℓ)Q:平均吸込流量(ℓ/min[ANR])平均吸込流量の求め方真空発生器の場合▲Q = (1/3) ×真空発生器最大吸込流量(ℓ/min[ANR])真空ポンプの場合▲Q = (1/2) × 11.1×切換弁有効断面積(mm2)吸着応答時間T1、T2は下式より算出することができます。吸着応答時間 T2 = 3.5 × T1② 選定手順●選定グラフから求める方法吸着応答時間T1、T2は、以下の表から求めることができます。グラフ4 吸着応答時間例①真空発生器(VUH07)の最大吸込流量12ℓ/min[ANR]を使用して配管容積0.01ℓの配管システム内圧力を最終真空圧力−87kPaまで真空到達させる場合の吸着応答時間を求める場合。ポイント配管容積をP.29の計算式、または選定グラフ3を参考に求めてます。−87kPa≒−92(kPa)× 95(%)より、上式の吸着応答時間T2を求めることで計算できます。また、平均吸込流量は、P.14の真空特性一覧とQ = (1/3)×12 = 1/3 × 12 = 4ℓ/min[ANR]を使用します。※吸着応答時間より、逆に真空発生器のサイズや真空ポンプ対応システムの供給弁のサイズも求めることができます。例②有効断面積6mm²のバルブを使用して2ℓのタンク内圧力を最終真空圧力の63%まで内圧を上昇させる場合の吸着応答時間を求める場合。計算式による求め方V×602×60120T1 = − = − = − = 3.6(sec)1/2×11.1×S1/2×11.1×633.3計算式による求め方V×600.01×60T1 = − = − = 0.15(sec)Q4実際に求める時間は、T2 = 3.5 × T1 = 3.5 × 0.15 = 0.525(sec)吸着応答時間は、約0.5(sec)必要であることが分かります。選定グラフによる求め方真空発生器(VUH07)の最大吸込流量12ℓ/min[ANR]と配管容積0.01ℓの交点より、最高真空圧力の95%に達する吸着応答時間T2が求められます。(選定グラフ4の①→②の順序)T2≒0.5(sec)2▲ 真空発生器・真空ポンプ対応ユニットの選定選定グラフによる求め方バルブ有効断面積6mm²と配管容積2ℓの交点より、最高真空圧力の63%に到達する応答時間T1が求められます。(選定グラフ4の③→④の順序)T1≒3.5(sec)

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