1021 真空パッドSeries真空パッド フラットタイプ真空パッド真空ポンプ対応ユニット真空発生器真空ポンプVPLFCVPLFC10-3F56VPLFC15-3F56VPLFC20-3F56VPLFC25-3F56VPLFC30-3F56M10×12-Hex.13L3B5L2L120.66.511.42Sø9øDø6ø8C2-3Hex.10M14×12-Hex.17L3B5L2L1227S2-4ø12øD0.6914.3Hex.12ødødHex.17スプリング式 真空取出口：上、バーブ継手内蔵 低発塵タイプ単位：mm形 式パッド外径ødチューブ内径øDBL1L2L3CストロークSスプリング力（N）パッド接続記号VPLFC10-2F5-3B1026121.5263463（2）1.3〜1.8-M4VPLFC10-2F5-4B2.562.57VPLFC10-2F5-6B4VPLFC10-5F5-3B26724.5294066（5）1.3〜2.4VPLFC10-5F5-4B2.568.57VPLFC10-5F5-6B4VPLFC10-10F5-3B27729.53450611（10）1.3〜3.3VPLFC10-10F5-4B2.578.57VPLFC10-10F5-6B4VPLFC10-15F5-3B28734.53960616（15）1.3〜4.2VPLFC10-15F5-4B2.588.57VPLFC10-15F5-6B4VPLFC15-2F5-3B1526121.5263463（2）1.3〜1.8VPLFC15-2F5-4B2.562.57VPLFC15-2F5-6B4VPLFC15-5F5-3B26724.5294066（5）1.3〜2.4VPLFC15-5F5-4B2.568.57VPLFC15-5F5-6B4VPLFC15-10F5-3B27729.53450611（10）1.3〜3.3VPLFC15-10F5-4B2.578.57VPLFC15-10F5-6B4VPLFC15-15F5-3B28734.53960616（15）1.3〜4.2VPLFC15-15F5-4B2.588.57VPLFC15-15F5-6B4RoHS指令CAD（2D&3D）ストローク（㎜）2,5,10,15NEW
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