1023 真空パッドSeries真空パッド フラットタイプ真空パッド真空ポンプ対応ユニット真空発生器真空ポンプVPLFCødødHex.17VPLFC10-3F5-M5VPLFC15-3F5-M5VPLFC20-3F5-M6VPLFC25-3F5-M6VPLFC30-3F5-M6M10×12-Hex.13M5×0.8L3B5L2L120.66.511.42Sø9ø642-3Hex.10M14×12-Hex.17M6×1L314.3B5L2L122S2-4ø120.69Hex.12ø8スプリング式 真空取出口：上、メネジ 低発塵タイプ単位：mm形 式パッド外径ødBL1L2L3ストロークSスプリング力（N）パッド接続記号VPLFC10-2F5-M51052.521.526343（2）1.3〜1.8-M4VPLFC10-5F5-M558.524.529406（5）1.3〜2.4VPLFC10-10F5-M568.529.5345011（10）1.3〜3.3VPLFC10-15F5-M578.534.5396016（15）1.3〜4.2VPLFC15-2F5-M51552.521.526343（2）1.3〜1.8VPLFC15-5F5-M558.524.529406（5）1.3〜2.4VPLFC15-10F5-M568.529.5345011（10）1.3〜3.3VPLFC15-15F5-M578.534.5396016（15）1.3〜4.2VPLFC20-5F5-M62066.426.531.542.56（5）4.5〜6.5-M6VPLFC20-10F5-M676.431.536.552.511（10）4.5〜8.2VPLFC20-15F5-M686.436.541.562.516（15）4.5〜9.9VPLFC25-5F5-M62566.426.531.542.56（5）4.5〜6.5VPLFC25-10F5-M676.431.536.552.511（10）4.5〜8.2VPLFC25-15F5-M686.436.541.562.516（15）4.5〜9.9VPLFC30-5F5-M63066.426.531.542.56（5）4.5〜6.5VPLFC30-10F5-M676.431.536.552.511（10）4.5〜8.2VPLFC30-15F5-M686.436.541.562.516（15）4.5〜9.9※.寸法表中、形式内の5にはパッドゴム材質が入ります。パッドゴム材質につきましてはP.1000を参照ください。※.パッドゴム材質：ニトリルゴム（N）と導電性NBR（NE）は、低濃度オゾン対策を目的とする用途には適しておりません。※.パッドホルダ隔壁部取付けナットの締付けトルクは、下記の通りとなります。 ▪パッド接続記号：-M4▶5~6N·m、▪パッド接続記号：-M6▶18~21N·m※.実用ストロークは、［ ］内寸法となります。RoHS指令CAD（2D&3D）ストローク（㎜）2,5,10,15NEW
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