真空パッドフラットタイプ
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真空システムをトラブルから守る関連機器のご案内Guidance of associated equipment which protects a vacuum system from a trouble21真空発生器・真空ポンプ周辺の関連機器吸込まれたゴミによるトラブル、真空圧力の管理・調整、流量の管理、真空破壊圧力の調整によるワーク吹き飛ばしの防止などを行い、起こりえるシステムトラブルを未然に防止します。(機器の配管例は、P.15〜P.18を参照ください。)タイプ特 長掲 載ページVFU, SFU,VFR, VFB,VFJ・小型ユニオンタイプ:VFUは、真空発生器と真空パッドの間に取付け、吸込んだ空気中のダストを除去する。・正負圧用ユニオンフィルタ:SFUは、VFUシリーズの使い勝手はそのままに、正圧でも使用可能に。・ソケットタイプ:VFJは、フィルタを内蔵していない電磁弁直付形タイプ:VH, VSや総合タイプ:VNや真空ポンプ対応ユニット:VNP, VIPなどに最適。・大容量ユニオンタイプ:VFR, VFBは、吸込まれたダストだけでなく、水滴までもサイクロン効果により除去。また大気開放タイプは、リングブロータイプ:VRLで移送した粒体を貯めるのに最適。958タイプ特 長掲 載ページRVV・真空発生器や真空ポンプ対応ユニットと真空パッドの間に配管して、末端部の真空圧力制御が可能。・小型の真空ポンプの元圧制御に最適。・オネジタイプは、真空ポンプに直に接続できるタイプと真空パッドホルダ(パッド径:ø150, ø200mm)に直に接続でき、個々のパッドの真空圧力制御が可能なタイプを用意。・真空圧力をアナログ、またはデジタルにて表示。930タイプ特 長掲 載ページVLF・真空発生器の真空特性はそのままに、真空破壊エアを制御。・ワークの吹き飛ばしを防止する為、従来の真空破壊エア流量の制御に圧力制御をプラス。・真空破壊回路にリリーフ機能(余分な圧力を逃がす機能)を設け、真空破壊時間の短縮化を実現。950タイプ特 長掲 載ページGPD, GPH・電池式で、配線不要なデジタルプレッシャゲージ:GPD。・ハンディタイプで使いやすさ・利便性を追求したハンディマノメータ:GPH。976タイプ特 長掲 載ページVUS, GPH,FUS・分離型表示を実現した小型圧力センサ(センサヘッド):VUS11, VUS12、表示器:SED-30。・大型LED表示により、高視認性を実現した大型デジタル表示付センサ:VUS-30, VUS-31。・超薄型で超軽量なLED表示付圧力センサ:VUS8。・ハンディタイプで使いやすさ・利便性を追求。アナログ出力機能も装備したハンディマノメータ:GPH。・小型ワークの吸着確認に最適な流量センサ:FUS20, FUS8。992真空用フィルタの機種構成真空レギュレータの機種構成真空破壊ユニットの機種構成圧力計の機種構成検出スイッチの機種構成NewNew

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