497BLS86.1BLS20VPOC-M6-20-4BVPOC-M6-20-6BVPOC-M6-30-4BVPOC-M6-30-6BVPOC-M6-40-4BVPOC-M6-40-6BVPOC-M6-50-4BVPOC-M6-50-6B※1）パッドホルダ隔壁部取付ナットの締付トルクは、4~6N·mとなります。※2）質量は、公式サイトをご覧ください。VPOCøDM6×1ø8.4チューブ内径形 式2-Hex.17M14×1(N)øD2.542.542.542.5457.13870.15183.16496.1771.5〜4.9301.1〜4.8401.0〜4.5500.9〜4.5スプリング式 真空取出口：上、バーブ継手タイプカバー無し1264ストロークスプリング力ストローク（㎜）20,30,40,50-M6単位：mmパッド接続記号
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