パッドホルダ単体
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※1)パッドホルダ隔壁部取付ナットの締付トルク※2)実用ストロークは、[ ]内寸法となります。※3)質量は、公式サイトをご覧ください。1L2L3L1L2L3L3-23-2C52C52BB26.1015.1S26.105.21SS7676767676767676767C6B46.6VPLFC-T4-2-3B5VPLFC-T4-2-4B5VPLFC-T4-2-6B5VPLFC-T4-5-3B5VPLFC-T4-5-4B5VPLFC-T4-5-6B5VPLFC-T4-10-3B5VPLFC-T4-10-4B5VPLFC-T4-10-6B5VPLFC-T4-15-3B5VPLFC-T4-15-4B5VPLFC-T4-15-6B5VPLFC-T4-20-3B5VPLFC-T4-20-4B5VPLFC-T4-20-6B5VPLFC-T8-2-3B5VPLFC-T8-2-4B5VPLFC-T8-2-6B5VPLFC-T8-5-3B5VPLFC-T8-5-4B5VPLFC-T8-5-6B5VPLFC-T8-10-3B5VPLFC-T8-10-4B5VPLFC-T8-10-6B5VPLFC-T8-15-3B5VPLFC-T8-15-4B5VPLFC-T8-15-6B5VPLFC-T8-20-3B5VPLFC-T8-20-4B5VPLFC-T8-20-6B5は、5~6N·mとなります。3[2]1.3〜1.86[5]1.3〜2.411[10]1.3〜3.316[15]1.3〜4.221[20]1.3〜5.13[2]1.3〜1.86[5]1.3〜2.411[10]1.3〜3.316[15]1.3〜4.221[20]1.3〜5.1VPLFCNEWø9øD2-Hex.13M10×1ø2ø2.7チューブ内径形 式ø9øD2-Hex.13ø6M10×1ø6ø3.2ø4(N)単位:mmパッド接続記号øD22.5422.5422.5422.5422.5422.5422.5422.5422.5422.5448.152.654.162.664.172.674.182.684.147.649.153.655.163.665.173.675.183.685.121.5263424.5294029.5345034.5396039.5447021.5263424.5294029.5345034.5396039.544701268スプリング式 真空取出口:上、バーブ継手タイプ低発塵VPLFC-T4■■■VPLFC-T8■■■L1L2L3ストロークスプリング力ストローク(㎜)2,5,10,15,20-T4-T8

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