真空破壊ユニット
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真空用機器の選定方法How to select Vacuum equipment706050403020100501015202530吸込流量(ℓ/min[ANR])真空度(-kPa)1009080706050403020100200406080100120吸込流量(ℓ/min[ANR])真空度(-kPa)35選定方法3▲ 落下防止弁の選定下記表の弁体作動最低吸込流量と例題のグラフより、1台の真空発生器に何台までの落下防止弁が搭載できるのかを求めます。ECVM3-M3ECVM4-M4ECVM5-M5ECVM6-M6ECVM10-M10ECV01-01弁体作動最低吸込流量(ℓ/min[ANR])2.05.05.013.013.013.0未吸着時真空低下量最大値(kPa)2.0(※1)※1.未吸着時真空低下量は、真空圧力、吸込流量により変化します。2.0kPaの値は、安全を考慮した数値ですので、実際の低下量とは異なります。例1. VUL07 • • •(カタログデータ)到達真空度(kPa)吸込流量(ℓ/min[ANR])66.526カタログデータより、完成した右のグラフを参考にし、上記の弁体作動最低吸込流量の表より使用できる落下防止弁の形式と最大使用数量が求められます。■-50kPaの真空度で使用する場合 吸込流量は、約6ℓ/min[ANR]となりますので、 使用可能な落下防止弁形式:ECVM3-M3, ECVM4-M4, ECVM5-M5が求められます。 ECVM3-M3の場合の使用台数及び未吸着箇所:3台、 ECVM4-M4, ECVM5-M5の場合の使用台数及び未吸着箇所:1台 までを許容することが求められます。例2. VQH20 • • •(カタログデータ)到達真空度(kPa)吸込流量(ℓ/min[ANR])93110カタログデータより、完成した右のグラフを参考にし、上記の弁体作動最低吸込流量の表より使用できる落下防止弁の形式と最大使用数量が求められます。■-50kPaの真空度で使用する場合 吸込流量は、約52ℓ/min[ANR]となりますので、 使用可能な落下防止弁形式:ECVM3-M3, ECVM4-M4, ECVM5-M5, ECVM6-M6, ECV01-01が求められます。 ECVM3-M3の場合の使用台数及び未吸着箇所:21台(※2)、 ECVM4-M4, ECVM5-M5の場合の使用台数及び未吸着箇所:10台、 ECVM6-M6, ECV01-01の場合の使用台数及び未吸着箇所:4台 までを許容することが求められます。※2. ECVM3-M3は、吸込流量だけで計算すると、理論上:25台まで対応できることになりますが、上述の通り、1台当たりの真空度の低下が-2kPaになるため、25台全てが未吸着状態であると考えた場合、真空度:-93 + (2 × 25) = -43kPaになってしまいます。そのため、-50kPaで使用する場合:-93 + (2 × X)≦-50 X≦21.5∴最大未吸着箇所:21台と言うことになります。

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