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お知らせ

制御機器

最もスタンダードな駆動機器の速度制御弁。

使用流体
空気
使用圧力範囲
0.1~0.9MPa 、0.05~0.5MPa(スプリングリターン仕様)、0.05~1.0MPa (JSMU)
逆止弁作動圧力
0.05MPa、0.02MPa(スプリングリターン仕様)、0.005MPa (JSMU)
使用温度範囲
0~60℃(凍結なきこと)
樹脂
  • 樹脂主要部品にPBTを使用しています。PBT:一般環境に最適で標準的な樹脂材質。
金属
  • 金属主要部品に黄銅+無電解ニッケルメッキを使用しています。
シールゴム
  • シールゴム材質にNBRを使用しています。NBR:一般的にシール材として用いられる材質です。耐オゾン性に劣るので注意が必要です。
  • シールゴム材質にHNBRを使用しています。HNBR:NBRに水素を添加し、耐オゾン性を向上させた材質。低濃度オゾン対策に最適です。

対応品あり

  • グリースにフッ素系グリースを使用し、クリーンエアで清浄後クリーンルーム内にて包装します。

制御機器

速度設定を数値で確認。リニア特性で調整も簡単。

使用流体
空気
使用圧力範囲
0.1~1.0MPa
逆止弁作動圧力
0.05MPa
使用温度範囲
0~60℃(凍結なきこと)
樹脂
  • 樹脂主要部品にPBTを使用しています。PBT:一般環境に最適で標準的な樹脂材質。
金属
  • 金属主要部品に黄銅+無電解ニッケルメッキを使用しています。
シールゴム
  • シールゴム材質にNBRを使用しています。NBR:一般的にシール材として用いられる材質です。耐オゾン性に劣るので注意が必要です。
  • シールゴム材質にHNBRを使用しています。HNBR:NBRに水素を添加し、耐オゾン性を向上させた材質。低濃度オゾン対策に最適です。

制御機器

駆動機器の速度制御弁で、高速作動シリンダの速度制御に最適。

使用流体
空気
使用圧力範囲
0.1~0.7MPa
逆止弁作動圧力
0.05MPa
使用温度範囲
0~60℃(凍結なきこと)
樹脂
  • 樹脂主要部品にPBTを使用しています。PBT:一般環境に最適で標準的な樹脂材質。
金属
  • 金属主要部品に黄銅+無電解ニッケルメッキを使用しています。
シールゴム
  • シールゴム材質にNBRを使用しています。NBR:一般的にシール材として用いられる材質です。耐オゾン性に劣るので注意が必要です。
  • シールゴム材質にHNBRを使用しています。HNBR:NBRに水素を添加し、耐オゾン性を向上させた材質。低濃度オゾン対策に最適です。

制御機器

駆動機器の速度制御弁で、低速シリンダの速度制御に最適。

使用流体
空気
使用圧力範囲
0.1~0.9MPa
逆止弁作動圧力
0.05MPa
使用温度範囲
0~60℃(凍結なきこと)
樹脂
  • 樹脂主要部品にPBTを使用しています。PBT:一般環境に最適で標準的な樹脂材質。
金属
  • 金属主要部品に黄銅+無電解ニッケルメッキを使用しています。
シールゴム
  • シールゴム材質にNBRを使用しています。NBR:一般的にシール材として用いられる材質です。耐オゾン性に劣るので注意が必要です。
  • シールゴム材質にHNBRを使用しています。HNBR:NBRに水素を添加し、耐オゾン性を向上させた材質。低濃度オゾン対策に最適です。

対応品あり

  • グリースにフッ素系グリースを使用し、クリーンエアで清浄後クリーンルーム内にて包装します。

制御機器

不用意な手動操作を防止。

使用流体
空気
使用圧力範囲
0.1~0.9MPa
逆止弁作動圧力
0.05MPa
使用温度範囲
0~60℃(凍結なきこと)
樹脂
  • 樹脂主要部品にPBTを使用しています。PBT:一般環境に最適で標準的な樹脂材質。
金属
  • 金属主要部品に黄銅+無電解ニッケルメッキを使用しています。
シールゴム
  • シールゴム材質にNBRを使用しています。NBR:一般的にシール材として用いられる材質です。耐オゾン性に劣るので注意が必要です。
  • シールゴム材質にHNBRを使用しています。HNBR:NBRに水素を添加し、耐オゾン性を向上させた材質。低濃度オゾン対策に最適です。

対応品あり

  • グリースにフッ素系グリースを使用し、クリーンエアで清浄後クリーンルーム内にて包装します。

制御機器

業界初!ショックアブソーバ付シリンダと同様の制御が可能。
(特許第5578502号)

使用流体
空気
使用圧力範囲
0.2~1.0MPa
使用温度範囲
0~60℃(凍結なきこと)
樹脂
  • 樹脂主要部品にPBTを使用しています。PBT:一般環境に最適で標準的な樹脂材質。
シールゴム
  • シールゴム材質にNBRを使用しています。NBR:一般的にシール材として用いられる材質です。耐オゾン性に劣るので注意が必要です。
  • シールゴム材質にHNBRを使用しています。HNBR:NBRに水素を添加し、耐オゾン性を向上させた材質。低濃度オゾン対策に最適です。

制御機器

耐腐蝕性に優れたSUS316を使用した速度制御弁。ロック爪採用で、チューブ開放時の操作性が抜群。

使用流体
空気
使用圧力範囲
0.1~0.9MPa
使用温度範囲
-5~60℃(凍結なきこと)
逆止弁作動圧力
0.05MPa
金属
  • 金属主要部品にSUS316を使用しています。SUS316:耐蝕性に優れます。
シールゴム
  • シールゴム材質にHNBRを使用しています。HNBR:NBRに水素を添加し、耐オゾン性を向上させた材質。低濃度オゾン対策に最適です。
  • シールゴム材質にFKMを使用しています。FKM:耐熱性、耐薬品性、耐オゾン性に優れています。
  • 金属部材質に銅系金属を使用していません。※)一部商品は流路のみの対応となります。
  • シールゴム材質にHNBRまたはFKMを使用しています。※)一部商品は流路のみの対応となります。
  • 組立時に油を使用しません。
  • グリースにフッ素系グリースを使用し、クリーンエアで清浄後クリーンルーム内にて包装します。

制御機器

強度が必要な場合や腐蝕しやすい雰囲気内での速度制御に最適。

使用流体
空気
使用圧力範囲
0.1~0.9MPa
逆止弁作動圧力
0.05MPa
使用温度範囲
0~60℃(凍結なきこと)
樹脂
  • 樹脂主要部品にPBTを使用しています。PBT:一般環境に最適で標準的な樹脂材質。
金属
  • 金属主要部品に特殊ステンレスを使用しています。特殊ステンレス:耐腐蝕性はSUS303相当で腐蝕しやすい雰囲気に最適です。
シールゴム
  • シールゴム材質にHNBRを使用しています。HNBR:NBRに水素を添加し、耐オゾン性を向上させた材質。低濃度オゾン対策に最適です。
  • 金属部材質に銅系金属を使用していません。※)一部商品は流路のみの対応となります。
  • シールゴム材質にHNBRまたはFKMを使用しています。※)一部商品は流路のみの対応となります。

制御機器

樹脂本体にクリーン環境に適したPPを採用。

使用流体
空気、その他
使用圧力範囲(at0~20℃)
0.1~1.0MPa 、0.05~0.5MPa(スプリングリターン仕様)、0.05~1.0MPa (PJSMU)
逆止弁作動圧力
0.05MPa、0.02MPa(スプリングリターン仕様)、0.005MPa (PJSMU)
使用温度範囲
0~80℃(凍結なきこと)
樹脂
  • 樹脂主要部品にPPを使用しています。PP:耐薬品性に優れ、透明性が高くクリーン環境に最適です。
金属
  • 金属主要部品にSUS304を使用しています。SUS304:強度が必要な場合や薬品の雰囲気内に最適。
シールゴム
  • シールゴム材質にEPDMを使用しています。EPDM:耐候性、耐寒性、耐オゾン性に優れています。鉱油系の油への耐性が劣る為、注意が必要です。
  • 金属部材質に銅系金属を使用していません。※)一部商品は流路のみの対応となります。
  • シールゴム材質にHNBRまたはFKMを使用しています。※)一部商品は流路のみの対応となります。
  • 組立時に油を使用しません。

対応品あり

  • グリースにフッ素系グリースを使用し、クリーンエアで清浄後クリーンルーム内にて包装します。

制御機器

耐スパッタ性に優れた難燃性樹脂(V-0相当品)を使用。
ニードル部、継手部をカバー付きとし、スパッタによるトラブルを防止。

使用流体
空気
使用圧力範囲
0.1~0.9MPa 、0.05~0.5MPa(スプリングリターン仕様)
逆止弁作動圧力
0.05MPa、0.02MPa(スプリングリターン仕様)
使用温度範囲
0~60℃(凍結なきこと)
樹脂
  • 樹脂主要部品に難燃性樹脂を使用しています。難燃性樹脂:UL94 V-0相当品。耐スパッタ性に優れます。
金属
  • 金属主要部品に黄銅+無電解ニッケルメッキを使用しています。
シールゴム
  • シールゴム材質にNBRを使用しています。NBR:一般的にシール材として用いられる材質です。耐オゾン性に劣るので注意が必要です。
  • シールゴム材質にHNBRを使用しています。HNBR:NBRに水素を添加し、耐オゾン性を向上させた材質。低濃度オゾン対策に最適です。

制御機器

本体に加え開放リングも黄銅を使用。
火花の発生する環境や高温環境での速度制御に最適。

使用流体
空気
使用圧力範囲
0.1~1.0MPa(使用環境温度及び使用流体温度:20℃の時)
逆止弁作動圧力
0.05MPa
使用温度範囲
0~100℃(HNBR)、0~120℃(FKM)(凍結なきこと)
金属
  • 金属主要部品に黄銅+無電解ニッケルメッキを使用しています。
シールゴム
  • シールゴム材質にHNBRを使用しています。HNBR:NBRに水素を添加し、耐オゾン性を向上させた材質。低濃度オゾン対策に最適です。
  • シールゴム材質にFKMを使用しています。FKM:耐熱性、耐薬品性、耐オゾン性に優れています。
  • シールゴム材質にHNBRまたはFKMを使用しています。※)一部商品は流路のみの対応となります。

制御機器

駆動機器の速度を設定でき、大量生産される専用機などに最適です。

使用流体
空気
使用圧力範囲
0.1~0.9MPa
逆止弁作動圧力
0.05MPa
使用温度範囲
0~60℃(凍結なきこと)
樹脂
  • 樹脂主要部品にPBTを使用しています。PBT:一般環境に最適で標準的な樹脂材質。
金属
  • 金属主要部品に黄銅+無電解ニッケルメッキを使用しています。
シールゴム
  • シールゴム材質にNBRを使用しています。NBR:一般的にシール材として用いられる材質です。耐オゾン性に劣るので注意が必要です。
  • シールゴム材質にHNBRを使用しています。HNBR:NBRに水素を添加し、耐オゾン性を向上させた材質。低濃度オゾン対策に最適です。

制御機器

空気圧機器の速度や空気圧信号を制御。
エアを流しながらの流量制御が可能。

使用流体
空気
最高使用圧力
0.9MPa、1.0MPa(JNMU)
使用真空圧力
-100kPa
使用温度範囲
0~60℃(凍結なきこと)
樹脂
  • 樹脂主要部品にPBTを使用しています。PBT:一般環境に最適で標準的な樹脂材質。
金属
  • 金属主要部品に黄銅+無電解ニッケルメッキを使用しています。
シールゴム
  • シールゴム材質にNBRを使用しています。NBR:一般的にシール材として用いられる材質です。耐オゾン性に劣るので注意が必要です。

対応品あり

  • グリースにフッ素系グリースを使用し、クリーンエアで清浄後クリーンルーム内にて包装します。

制御機器

耐蝕に優れたSUS316を使用した流量制御弁。チューブフィッティング同様ロック爪機構採用で、チューブ開放時の操作性が抜群。

使用流体
空気、水、その他薬品など(条件有)
最高使用圧力
1.0MPa
使用真空圧力
-100kPa
使用温度範囲
-5~150℃(凍結なきこと)
金属
  • 金属主要部品にSUS316を使用しています。SUS316:耐蝕性に優れます。
シールゴム
  • シールゴム材質にFKMを使用しています。FKM:耐熱性、耐薬品性、耐オゾン性に優れています。
  • 金属部材質に銅系金属を使用していません。※)一部商品は流路のみの対応となります。
  • シールゴム材質にHNBRまたはFKMを使用しています。※)一部商品は流路のみの対応となります。
  • 組立時に油を使用しません。
  • グリースにフッ素系グリースを使用し、クリーンエアで清浄後クリーンルーム内にて包装します。

制御機器

耐蝕に優れたSUS316を使用したニードル絞り弁。

使用流体
空気、水、その他薬品など(条件有)
最高使用圧力
1.0MPa
使用真空圧力
-100kPa
使用温度範囲
-15~120℃(凍結なきこと)
金属
  • 金属主要部品にSUS316を使用しています。SUS316:耐蝕性に優れます。
シールゴム
  • シールゴム材質にFKMを使用しています。FKM:耐熱性、耐薬品性、耐オゾン性に優れています。
  • 金属部材質に銅系金属を使用していません。※)一部商品は流路のみの対応となります。
  • シールゴム材質にHNBRまたはFKMを使用しています。※)一部商品は流路のみの対応となります。
  • 組立時に油を使用しません。

対応品あり

  • グリースにフッ素系グリースを使用し、クリーンエアで清浄後クリーンルーム内にて包装します。

制御機器

半導体製造工程における流量制御に最適。

使用流体
液体(条件有)
最高使用圧力
0.7MPa(at 0~60℃)
使用温度範囲
0~100℃
樹脂
  • 樹脂主要部品にPFA・PTFE・PVDFを使用しています。PFA・PTFE:耐薬品性、耐熱性に優れます。PVDF:耐薬品性、機械的強度に優れます。
  • 金属部材質に銅系金属を使用していません。※)一部商品は流路のみの対応となります。
  • シールゴム材質にHNBRまたはFKMを使用しています。※)一部商品は流路のみの対応となります。
  • 組立時に油を使用しません。
  • グリースにフッ素系グリースを使用し、クリーンエアで清浄後クリーンルーム内にて包装します。
  • クリーンルーム内でHFEによる真空超音波洗浄を実施後、脱気包装をします。

制御機器

樹脂本体にクリーン環境に適したPPを採用。

使用流体
空気、水、その他薬品など(条件有)
最高使用圧力
1.0MPa(at0~20℃)
使用真空圧力
-100kPa
使用温度範囲
0~80℃(凍結なきこと)
樹脂
  • 樹脂主要部品にPPを使用しています。PP:耐薬品性に優れ、透明性が高くクリーン環境に最適です。
金属
  • 金属主要部品にSUS304を使用しています。SUS304:強度が必要な場合や薬品の雰囲気内に最適。
シールゴム
  • シールゴム材質にHNBRを使用しています。HNBR:NBRに水素を添加し、耐オゾン性を向上させた材質。低濃度オゾン対策に最適です。
  • シールゴム材質にFKMを使用しています。FKM:耐熱性、耐薬品性、耐オゾン性に優れています。
  • シールゴム材質にEPDMを使用しています。EPDM:耐候性、耐寒性、耐オゾン性に優れています。鉱油系の油への耐性が劣る為、注意が必要です。
  • 金属部材質に銅系金属を使用していません。※)一部商品は流路のみの対応となります。
  • シールゴム材質にHNBRまたはFKMを使用しています。※)一部商品は流路のみの対応となります。
  • 組立時に油を使用しません。

対応品あり

  • グリースにフッ素系グリースを使用し、クリーンエアで清浄後クリーンルーム内にて包装します。

制御機器

本体に加え開放リングも黄銅を使用。
火花の発生する環境や高温環境での流量制御に最適。

使用流体
空気、水(条件有※)
最高使用圧力
1.0MPa
使用真空圧力
-100kPa
使用温度範囲
0~100℃(HNBR)、0~120℃(FKM)(凍結なきこと)
金属
  • 金属主要部品に黄銅+無電解ニッケルメッキを使用しています。
シールゴム
  • シールゴム材質にHNBRを使用しています。HNBR:NBRに水素を添加し、耐オゾン性を向上させた材質。低濃度オゾン対策に最適です。
  • シールゴム材質にHNBRまたはFKMを使用しています。※)一部商品は流路のみの対応となります。

制御機器

急速排気弁

RoHS2対応

シリンダの高速駆動に対応。

使用流体
空気
使用圧力範囲
0.1~0.7MPa
最低作動圧力
0.05MPa
使用温度範囲
5~60℃(凍結なきこと)
樹脂
  • 樹脂主要部品にPBTを使用しています。PBT:一般環境に最適で標準的な樹脂材質。
金属
  • 金属主要部品に黄銅+無電解ニッケルメッキを使用しています。
  • 金属主要部品にアルミニウムを使用しています。
シールゴム
  • シールゴム材質にNBRを使用しています。NBR:一般的にシール材として用いられる材質です。耐オゾン性に劣るので注意が必要です。
  • シールゴム材質にHNBRを使用しています。HNBR:NBRに水素を添加し、耐オゾン性を向上させた材質。低濃度オゾン対策に最適です。

制御機器

排気絞り弁

RoHS2対応

排気流量を制御。

使用流体
空気
使用圧力範囲
0~0.9MPa
使用温度範囲
0~60℃(凍結なきこと)
金属
  • 金属主要部品に黄銅+無電解ニッケルメッキを使用しています。

制御機器

固定絞り継手

RoHS2対応

ワンタッチ継手内蔵の固定絞り。エアの流量を絞ります。

使用流体
空気
最高使用圧力
1.0MPa
使用真空圧力
-100kPa
使用温度範囲
0~60℃(凍結なきこと)
樹脂
  • 樹脂主要部品にPBTを使用しています。PBT:一般環境に最適で標準的な樹脂材質。
金属
  • 金属主要部品に黄銅+無電解ニッケルメッキを使用しています。
シールゴム
  • シールゴム材質にNBRを使用しています。NBR:一般的にシール材として用いられる材質です。耐オゾン性に劣るので注意が必要です。
使用流体
空気
使用圧力範囲
0~1.0MPa
設定圧力範囲
0.1~0.8MPa
表示圧力範囲
0~0.8MPa
精度(ゲージ)
±5%(F.S)
使用温度範囲
0~60℃(凍結なきこと)
樹脂
  • 樹脂主要部品にPBTを使用しています。PBT:一般環境に最適で標準的な樹脂材質。
金属
  • 金属主要部品に黄銅+無電解ニッケルメッキを使用しています。
シールゴム
  • シールゴム材質にNBRを使用しています。NBR:一般的にシール材として用いられる材質です。耐オゾン性に劣るので注意が必要です。
  • シールゴム材質にHNBRを使用しています。HNBR:NBRに水素を添加し、耐オゾン性を向上させた材質。低濃度オゾン対策に最適です。

制御機器

圧力調整と作業工数・時間の削減に。

使用流体
空気
使用圧力範囲
設定圧力~1.0MPa
使用温度範囲
0~60℃(凍結なきこと)
圧力精度
±0.025MPa(設定圧力 +0.3MPa印加時)
樹脂
  • 樹脂主要部品にPBTを使用しています。PBT:一般環境に最適で標準的な樹脂材質。
金属
  • 金属主要部品に黄銅+無電解ニッケルメッキを使用しています。
  • 金属主要部品にアルミニウムを使用しています。
シールゴム
  • シールゴム材質にNBRを使用しています。NBR:一般的にシール材として用いられる材質です。耐オゾン性に劣るので注意が必要です。
  • シールゴム材質にHNBRを使用しています。HNBR:NBRに水素を添加し、耐オゾン性を向上させた材質。低濃度オゾン対策に最適です。

制御機器

圧縮空気を節約できる圧力制御弁。

使用流体
空気
使用圧力範囲
0~0.9MPa
設定圧力範囲
0.2~0.6MPa
使用温度範囲
0~60℃(凍結なきこと)
樹脂
  • 樹脂主要部品にPBTを使用しています。PBT:一般環境に最適で標準的な樹脂材質。
金属
  • 金属主要部品に黄銅+無電解ニッケルメッキを使用しています。
シールゴム
  • シールゴム材質にNBRを使用しています。NBR:一般的にシール材として用いられる材質です。耐オゾン性に劣るので注意が必要です。
  • シールゴム材質にHNBRを使用しています。HNBR:NBRに水素を添加し、耐オゾン性を向上させた材質。低濃度オゾン対策に最適です。

制御機器

チェックバルブ

RoHS2対応

片側から入力されたエアのみ流すため、出力側の圧力を保つことが可能。

使用流体
空気
最高使用圧力
0.9MPa
使用真空圧力
-100kPa
最低作動差圧
0.01MPa以下
最低逆止差圧
0.02MPa(弁体金属タイプ)、0.04MPa(弁体樹脂タイプ)
使用温度範囲
0~60℃(凍結なきこと)
樹脂
  • 樹脂主要部品にPBTを使用しています。PBT:一般環境に最適で標準的な樹脂材質。
シールゴム
  • シールゴム材質にHNBRを使用しています。HNBR:NBRに水素を添加し、耐オゾン性を向上させた材質。低濃度オゾン対策に最適です。

制御機器

従来品では作動しなかった圧力でも流量の確保が可能に。

使用流体
空気
最高使用圧力
1.0MPa
使用真空圧力
-100kPa
最低作動差圧
5kPa(at25℃)
最低逆止差圧
0.01MPa
使用温度範囲
0~60℃(凍結なきこと)
樹脂
  • 樹脂主要部品にPBTを使用しています。PBT:一般環境に最適で標準的な樹脂材質。
金属
  • 金属主要部品に黄銅+無電解ニッケルメッキを使用しています。
シールゴム
  • シールゴム材質にHNBRを使用しています。HNBR:NBRに水素を添加し、耐オゾン性を向上させた材質。低濃度オゾン対策に最適です。
  • シールゴム材質にFKMを使用しています。FKM:耐熱性、耐薬品性、耐オゾン性に優れています。

制御機器

水(液体)に使用可能。
本体材質には、クリーン環境に最適なPPを採用 。

使用流体
空気、水、その他薬品など(条件有)
最高使用圧力
1.0MPa(at0~20℃)
使用真空圧力
-100kPa
最低作動差圧
5kPa(at25℃)
最低逆止差圧
0.01MPa
使用温度範囲
0~80℃、0~60℃(NBR)(凍結なきこと)
樹脂
  • 樹脂主要部品にPPを使用しています。PP:耐薬品性に優れ、透明性が高くクリーン環境に最適です。
金属
  • 金属主要部品にSUS304を使用しています。SUS304:強度が必要な場合や薬品の雰囲気内に最適。
シールゴム
  • シールゴム材質にFKMを使用しています。FKM:耐熱性、耐薬品性、耐オゾン性に優れています。
  • シールゴム材質にEPDMを使用しています。EPDM:耐候性、耐寒性、耐オゾン性に優れています。鉱油系の油への耐性が劣る為、注意が必要です。
  • 金属部材質に銅系金属を使用していません。※)一部商品は流路のみの対応となります。
  • シールゴム材質にHNBRまたはFKMを使用しています。※)一部商品は流路のみの対応となります。

対応品あり

  • グリースにフッ素系グリースを使用し、クリーンエアで清浄後クリーンルーム内にて包装します。

制御機器

サイレンサ

RoHS2対応

機器の排気ポートに取付け、排気音を軽減。

使用流体
空気
使用圧力範囲
0~0.9MPa
使用温度範囲
0~60℃(凍結なきこと)
樹脂
  • 樹脂主要部品にPBTを使用しています。PBT:一般環境に最適で標準的な樹脂材質。
金属
  • 金属主要部品に黄銅+無電解ニッケルメッキを使用しています。
シールゴム
  • シールゴム材質にNBRを使用しています。NBR:一般的にシール材として用いられる材質です。耐オゾン性に劣るので注意が必要です。