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お知らせ

真空ポンプ対応ユニット

従来の真空破壊エアの流量制御に圧力制御をプラス。
ワークの吹き飛ばしを防止。

使用流体
空気(JIS B 8392-1:「等級1.2.1~2.4.3」準拠)、真空
使用圧力範囲
0.3~0.7MPa
使用真空圧力
-100~0kPa
使用温度範囲
5~50℃(但し、凍結なきこと)
使用湿度範囲
35~85%RH(但し、結露なきこと)
耐振動性/耐衝撃性
50m/s2以下/ 150m/s2以下
保護構造
IP40相当
給 油
不要
耐圧性(エア供給回路)
1.05MPa
耐圧性(真空回路)
0.2MPa

対応品あり

  • 金属部材質に銅系金属を使用していません。※)一部商品は流路のみの対応となります。
  • シールゴム材質にHNBRまたはFKMを使用しています。※)一部商品は流路のみの対応となります。

真空ポンプ対応ユニット

供給用バルブは、応答性を極限まで追求、真空システムのハイサイクル化を実現。

使用流体
空気(JIS B 8392-1:「等級1.2.1~2.4.3」準拠)、真空
使用圧力範囲
0.3~0.7MPa
使用真空圧力
-100~0kPa
使用温度範囲
5~50℃(但し、凍結なきこと)
使用湿度範囲
35~85%RH(但し、結露なきこと)
耐振動性/耐衝撃性
50m/s2以下/ 150m/s2以下
保護構造
IP40相当
給 油
不要
耐圧性(エア供給回路)
1.05MPa
耐圧性(真空回路)
0.2MPa

対応品あり

  • 金属部材質に銅系金属を使用していません。※)一部商品は流路のみの対応となります。
  • シールゴム材質にHNBRまたはFKMを使用しています。※)一部商品は流路のみの対応となります。

真空ポンプ対応ユニット

大流量の制御に最適な31.5mm幅真空ポンプ対応ユニット。

使用流体
空気(JIS B 8392-1:「等級1.2.1~2.4.3」準拠)、真空
使用圧力範囲
0.3~0.7MPa
使用真空圧力
-100~0kPa
使用温度範囲
5~50℃(但し、凍結なきこと)
使用湿度範囲
35~85%RH(但し、結露なきこと)
耐振動性/耐衝撃性
50m/s2以下/ 150m/s2以下
保護構造
IP40相当
給 油
不要
耐圧性(エア供給回路)
1.05MPa
耐圧性(真空回路)
0.2MPa

対応品あり

  • 金属部材質に銅系金属を使用していません。※)一部商品は流路のみの対応となります。
  • シールゴム材質にHNBRまたはFKMを使用しています。※)一部商品は流路のみの対応となります。

真空ポンプ対応ユニット

小型・軽量。配線を一括集中化したマニホールド専用真空ポンプ対応ユニット。

使用流体
空気(JIS B 8392-1:「等級1.2.1~2.4.3」準拠)、真空
使用圧力範囲
0.3~0.7MPa
使用真空圧力
-100~0kPa
使用温度範囲
5~50℃(但し、凍結なきこと)
使用湿度範囲
35~85%RH(但し、結露なきこと)
耐振動性/耐衝撃性
50m/s2以下/ 150m/s2以下
保護構造
IP40相当
給 油
不要
耐圧性(エア供給回路)
1.05MPa
耐圧性(真空回路)
0.2MPa

真空ポンプ対応ユニット

省スペースへの設置、およびハイサイクルを要求する分野に最適な真空ポンプ対応ユニット。

使用流体
空気(JIS B 8392-1:「等級1.2.1~2.4.3」準拠)、真空
使用圧力範囲
0~0.55MPa
使用真空圧力
-100~0kPa
使用温度範囲
5~50℃(但し、凍結なきこと)
使用湿度範囲
35~85%RH(但し、結露なきこと)
耐振動性/耐衝撃性
50m/s2以下/ 150m/s2以下
保護構造
IP40相当
給 油
不要
耐圧性(エア供給回路)
1.05MPa
耐圧性(真空回路)
0.2MPa

真空ポンプ対応ユニット

流量センサ搭載タイプをラインナップ(業界初)。また、従来の圧力センサ搭載タイプと圧力センサ無しタイプも用意。
半導体関連装置(チップマウンタ、ハンドラ)や小型ワーク吸着搬送装置に最適。

使用流体
空気(JIS B 8392-1:「等級1.2.1~2.4.3」準拠)、真空
使用圧力範囲
0.3~0.7MPa
使用真空圧力
-90~0kPa
使用温度範囲
5~50℃(但し、凍結なきこと)
使用湿度範囲
35~85%RH(但し、結露なきこと)
耐振動性/耐衝撃性
50m/s2以下/ 150m/s2以下
保護構造
IP40相当
給 油
不要
耐圧性(エア供給回路)
1.05MPa
耐圧性(真空回路)
0.2MPa