真空ポンプ対応ユニット

真空ポンプ対応ユニットVXP・VXPT

RoHS2対応

供給用バルブは、応答性を極限まで追求、真空システムのハイサイクル化を実現。

対応品あり

  • 金属部材質に銅系金属を使用していません。※)一部商品は流路のみの対応となります。
  • シールゴム材質にHNBRまたはFKMを使用しています。※)一部商品は流路のみの対応となります。

特長

真空システムのハイサイクル化を実現。

供給用バルブは、応答性を極限まで追求、真空システムのハイサイクル化を実現。

真空ポンプシステム対応ユニットに3ポート仕様をラインナップ。 真空供給用主弁を3方弁化することにより、真空破壊時間を大幅に短縮。

主弁OFF直後に真空保持をしてしまう為、真空破壊エアのみにより行われていた従来の2方弁(VXPタイプ)に比べ、3ポート仕様(VXPTタイプ)は、主弁OFF時に真空回路に大気を流入させ、大気圧+真空破壊エアによる真空破壊が可能。

市場のニーズに応えた軽量、コンパクトな真空ポンプ対応ユニット。

真空スイッチには、2タイプを用意。

視認性の良いLED圧力表示付真空スイッチには、2点スイッチ出力付とアナログ出力付の2タイプと安価なアナログ出力のみのタイプを用意。

固定方法には2種類を用意、用途に合わせた選択が可能に。

「銅系金属不使用」・「低濃度オゾン対策」を必要とする分野向けの仕様を用意。(VXPのみ)

金属部材質は銅系金属不使用、シールゴムは低濃度オゾン対策を考慮。

仕様

基本仕様

使用流体 空気(JIS B 8392-1:「等級1.2.1~2.4.3」準拠)、真空
使用圧力範囲 0.3~0.7MPa
使用真空圧力 -100~0kPa
使用温度範囲 5~50℃(ただし、凍結なきこと)
使用湿度範囲 35~85%RH(ただし、結露なきこと)
耐振動性/耐衝撃性 50m/s2以下/ 150m/s2以下
保護構造 IP40相当
給油 不要
耐圧性(エア供給回路) 1.05MPa
耐圧性(真空回路) 0.2MPa

※)耐圧性は、単に「製品が破損しない圧力」を表現するものであり、製品が正常に使用できる圧力とは異なります。

電磁弁仕様(DC24V)

定格電圧 DC24V ±10%
消費電力 1.2W(LED付)
サージ保護回路 有り(バリスタ)
動作表示灯 通電時、赤色LED点灯
手動操作 ノンロックプッシュ式

電磁弁仕様(AC100V)

定格電圧 AC100V ±10%
消費電力 1.5VA(LED付)
サージ保護回路 有り(ブリッジダイオード)
動作表示灯 通電時、赤色LED点灯
手動操作 ノンロックプッシュ式

真空供給用主弁仕様(2ポート仕様 ノーマルクローズ)

作動方式 パイロットバルブによる間接作動
応答時間(標準仕様)(OFF→ON) DC24V仕様:7.5msec
応答時間(標準仕様)(OFF→ON) AC100V仕様:10.5msec
応答時間(標準仕様)(ON→OFF) DC24V仕様:8.5msec
応答時間(標準仕様)(ON→OFF) AC100V仕様:10msec
応答時間(-S3仕様)(OFF→ON) DC24V仕様:7.5msec
応答時間(-S3仕様)(OFF→ON) AC100V仕様:10.5msec
応答時間(-S3仕様)(ON→OFF) DC24V仕様:13msec
応答時間(-S3仕様)(ON→OFF) AC100V仕様:22.5msec

※)応答時間は、0.5MPa・定格電圧(100%)供給時の値です。

真空供給用主弁仕様(3ポート仕様 ノーマルクローズ)

作動方式 パイロットバルブによる間接作動
応答時間(標準仕様)(OFF→ON) DC24V仕様:6msec
応答時間(標準仕様)(OFF→ON) AC100V仕様:9msec
応答時間(標準仕様)(ON→OFF) DC24V仕様:8.5msec
応答時間(標準仕様)(ON→OFF) AC100V仕様:10msec

真空破壊用主弁仕様

作動方式 直接作動
弁機能 ノーマルクローズ
応答時間(OFF→ON)(DC24V仕様) 3.5msec
応答時間(OFF→ON)(AC100V仕様) 8msec
応答時間(ON→OFF)(DC24V仕様) 3msec
応答時間(ON→OFF)(AC100V仕様) 14msec

※)応答時間は、0.5MPa・定格電圧(100%)供給時の値です。

真空フィルタ仕様

エレメント材質 PVF(ポリビニールホルマール)
濾過度※ 5μm
フィルタ表面積 502mm2

※)当社測定条件によります。

真空破壊機能

破壊エア流量(2ポート仕様) 0~11L/min[ANR](0.5MPa供給時)
破壊エア流量(3ポート仕様) 0~7.5L/min[ANR](0.5MPa供給時)

※)真空破壊エア流量は、真空側配管の径や長さ(配管抵抗など)により変わります。

圧力センサ仕様(-DW:LED表示付2点スイッチ出力付)

消費電流 40mA以下
圧力検出方法 拡散半導体圧力スイッチ
使用圧力範囲 -100~0kPa
設定圧力範囲 -99~0kPa
耐圧 0.2MPa
供給電圧 DC12~24V ±10%リップル (P-P)10%以下
圧力設定点数 2
動作精度 ±3%F.S.以下 (at Ta=25℃)
応差 固定 (2%F.S.以下)
スイッチ出力 NPNオープンコレクタ (30V 80mA以下、残留電圧0.8V以下)
応答性 約2msec
表示 -99~0kPa (2桁 赤色LED表示)
表示回数 約4回/sec
表示精度 ±3%F.S. ±2 digit以下
分解能 1 digit
動作表示 SW1:設定圧力以上にて赤色LED点灯、SW2:設定圧力以上にて緑色LED点灯

※)圧力の繰返し印加に伴う「ゼロ点電圧」、「スパン電圧」、及び「スイッチ出力設定値」の変化量は、±3%F.S.を許容範囲とします。

圧力センサ仕様(-DA:LED表示付1点スイッチ出力付、アナログ出力付)

消費電流 40mA以下
圧力検出方法 拡散半導体圧力スイッチ
使用圧力範囲 -100~0kPa
設定圧力範囲 -99~0kPa
耐圧 0.2MPa
供給電圧 DC12~24V ±10%リップル (P-P)10%以下
圧力設定点数 1
動作精度 ±3%F.S.以下 (at Ta=25℃)
応差 可変 (0~15%F.S.)
スイッチ出力 NPNオープンコレクタ (30V 80mA以下、残留電圧0.8V以下)
アナログ出力・出力電圧 1~5V
アナログ出力・ゼロ点電圧 1 ±0.1V
アナログ出力・スパン電圧 4 ±0.1V
アナログ出力・出力電流 1mA以下(負荷抵抗:5kΩ以上)
アナログ出力・LIN/HYS ±0.5%F.S.以下(at Ta=25℃)
応答性 約2msec
表示 -99~0kPa (2桁 赤色LED表示)
表示回数 約4回/sec
表示精度 ±3%F.S. ±2 digit以下
分解能 1 digit
動作表示 設定圧力以上にて赤色LED点灯

※)圧力の繰返し印加に伴う「ゼロ点電圧」、「スパン電圧」、及び「スイッチ出力設定値」の変化量は、±3%F.S.を許容範囲とします。

圧力センサ仕様(-A0:LED表示付1点スイッチ出力付、アナログ出力付)

消費電流 15mA以下
圧力検出方法 拡散半導体圧力スイッチ
使用圧力範囲 -100~0kPa
耐圧 0.2MPa
供給電圧 DC12~24V ±10%リップル (P-P)10%以下
アナログ出力・出力電圧 1~5V
アナログ出力・ゼロ点電圧 1 ±0.1V
アナログ出力・スパン電圧 4 ±0.1V
アナログ出力・出力電流 1mA以下(負荷抵抗:5kΩ以上)
アナログ出力・LIN/HYS ±0.5%F.S.以下(at Ta=25℃)

※)圧力の繰返し印加に伴う「ゼロ点電圧」、「スパン電圧」、及び「スイッチ出力設定値」の変化量は、±3%F.S.を許容範囲とします。

適用サイズ

真空ポートチューブサイズ

ミリサイズ(mm) φ3, φ4, φ6

エア供給ポートチューブサイズ

単体タイプ

ミリサイズ(mm) φ3,φ4, φ6

マニホールドタイプ

ミリサイズ(mm) φ4, φ6, φ8, φ10

真空供給ポートチューブサイズ

単体タイプ

ミリサイズ(mm) φ3,φ4, φ6

マニホールドタイプ

ミリサイズ(mm) φ4, φ6, φ8, φ10

注文案内

単体タイプ

マニホールドタイプ

マニホールドのみ

マニホールド搭載ユニット単体

個別注意事項

警告

1.各部のネジはデジタルカタログを参照し、適正トルクで締付けてください。製品取付けの締付トルクは「固定方法」に、電磁弁の締付トルクは「3.バルブ用搭載フィルタエレメントの交換方法」に記載しております。適正なトルクで締付けないと、エア漏れ、製品の脱落、製品各部破損の原因となります。

真空ポンプ対応ユニットシリーズのよくある質問

この商品に関するお問い合わせ

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