真空ポンプ対応ユニット
真空ポンプ対応ユニットVXP・VXPT
供給用バルブは、応答性を極限まで追求、真空システムのハイサイクル化を実現。
オプション
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流路に銅を主成分とする金属材料を使用していません。
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シールゴム材質にHNBRまたはFKMを使用しています。※)一部商品は流路のみの対応となります。
特長
真空システムのハイサイクル化を実現。
供給用バルブは、応答性を極限まで追求、真空システムのハイサイクル化を実現。
真空ポンプシステム対応ユニットに3ポート仕様をラインナップ。 真空供給用主弁を3方弁化することにより、真空破壊時間を大幅に短縮。
主弁OFF直後に真空保持をしてしまう為、真空破壊エアのみにより行われていた従来の2方弁(VXPタイプ)に比べ、3ポート仕様(VXPTタイプ)は、主弁OFF時に真空回路に大気を流入させ、大気圧+真空破壊エアによる真空破壊が可能。
市場のニーズに応えた軽量、コンパクトな真空ポンプ対応ユニット。
真空スイッチには、2タイプを用意。
視認性の良いLED圧力表示付真空スイッチには、2点スイッチ出力付とアナログ出力付の2タイプと安価なアナログ出力のみのタイプを用意。
固定方法には2種類を用意、用途に合わせた選択が可能に。
「流路に銅を主成分とする金属材料不使用」・「低濃度オゾン対策」を必要とする分野向けの仕様を用意。(VXPのみ)
金属部材質は流路に銅を主成分とする金属材料不使用、シールゴムは低濃度オゾン対策を考慮。
仕様
基本仕様
使用流体 | 空気(JIS B 8392-1:「等級1.2.1~2.4.3」準拠)、真空 |
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使用圧力範囲 | 0.3~0.7MPa |
使用真空圧力 | -100~0kPa |
使用温度範囲 | 5~50℃(ただし、凍結なきこと) |
使用湿度範囲 | 35~85%RH(ただし、結露なきこと) |
耐振動性/耐衝撃性 | 50m/s2以下/ 150m/s2以下 |
保護構造 | IP40相当 |
給油 | 不要 |
耐圧性(エア供給回路) | 1.05MPa |
耐圧性(真空回路) | 0.2MPa |
※)耐圧性は、単に「製品が破損しない圧力」を表現するものであり、製品が正常に使用できる圧力とは異なります。
電磁弁仕様(DC24V)
定格電圧 | DC24V ±10% |
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消費電力 | 1.2W(LED付) |
サージ保護回路 | 有り(バリスタ) |
動作表示灯 | 通電時、赤色LED点灯 |
手動操作 | ノンロックプッシュ式 |
電磁弁仕様(AC100V)
定格電圧 | AC100V ±10% |
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消費電力 | 1.5VA(LED付) |
サージ保護回路 | 有り(ブリッジダイオード) |
動作表示灯 | 通電時、赤色LED点灯 |
手動操作 | ノンロックプッシュ式 |
真空供給用主弁仕様(2ポート仕様 ノーマルクローズ)
作動方式 | パイロットバルブによる間接作動 |
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応答時間(標準仕様)(OFF→ON) | DC24V仕様:7.5msec |
応答時間(標準仕様)(OFF→ON) | AC100V仕様:10.5msec |
応答時間(標準仕様)(ON→OFF) | DC24V仕様:8.5msec |
応答時間(標準仕様)(ON→OFF) | AC100V仕様:10msec |
応答時間(-S3仕様)(OFF→ON) | DC24V仕様:7.5msec |
応答時間(-S3仕様)(OFF→ON) | AC100V仕様:10.5msec |
応答時間(-S3仕様)(ON→OFF) | DC24V仕様:13msec |
応答時間(-S3仕様)(ON→OFF) | AC100V仕様:22.5msec |
※)応答時間は、0.5MPa・定格電圧(100%)供給時の値です。
真空供給用主弁仕様(3ポート仕様 ノーマルクローズ)
作動方式 | パイロットバルブによる間接作動 |
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応答時間(標準仕様)(OFF→ON) | DC24V仕様:6msec |
応答時間(標準仕様)(OFF→ON) | AC100V仕様:9msec |
応答時間(標準仕様)(ON→OFF) | DC24V仕様:8.5msec |
応答時間(標準仕様)(ON→OFF) | AC100V仕様:10msec |
真空破壊用主弁仕様
作動方式 | 直接作動 |
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弁機能 | ノーマルクローズ |
応答時間(OFF→ON)(DC24V仕様) | 3.5msec |
応答時間(OFF→ON)(AC100V仕様) | 8msec |
応答時間(ON→OFF)(DC24V仕様) | 3msec |
応答時間(ON→OFF)(AC100V仕様) | 14msec |
※)応答時間は、0.5MPa・定格電圧(100%)供給時の値です。
真空フィルタ仕様
エレメント材質 | PVF(ポリビニールホルマール) |
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濾過度※ | 5μm |
フィルタ表面積 | 502mm2 |
※)当社測定条件によります。
真空破壊機能
破壊エア流量(2ポート仕様) | 0~11L/min[ANR](0.5MPa供給時) |
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破壊エア流量(3ポート仕様) | 0~7.5L/min[ANR](0.5MPa供給時) |
※)真空破壊エア流量は、真空側配管の径や長さ(配管抵抗など)により変わります。
圧力センサ仕様(-DW:LED表示付2点スイッチ出力付)
消費電流 | 40mA以下 |
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圧力検出方法 | 拡散半導体圧力スイッチ |
使用圧力範囲 | -100~0kPa |
設定圧力範囲 | -99~0kPa |
耐圧 | 0.2MPa |
供給電圧 | DC12~24V ±10%リップル (P-P)10%以下 |
圧力設定点数 | 2 |
動作精度 | ±3%F.S.以下 (at Ta=25℃) |
応差 | 固定 (2%F.S.以下) |
スイッチ出力 | NPNオープンコレクタ (30V 80mA以下、残留電圧0.8V以下) |
応答性 | 約2msec |
表示 | -99~0kPa (2桁 赤色LED表示) |
表示回数 | 約4回/sec |
表示精度 | ±3%F.S. ±2 digit以下 |
分解能 | 1 digit |
動作表示 | SW1:設定圧力以上にて赤色LED点灯、SW2:設定圧力以上にて緑色LED点灯 |
※)圧力の繰返し印加に伴う「ゼロ点電圧」、「スパン電圧」、及び「スイッチ出力設定値」の変化量は、±3%F.S.を許容範囲とします。
圧力センサ仕様(-DA:LED表示付1点スイッチ出力付、アナログ出力付)
消費電流 | 40mA以下 |
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圧力検出方法 | 拡散半導体圧力スイッチ |
使用圧力範囲 | -100~0kPa |
設定圧力範囲 | -99~0kPa |
耐圧 | 0.2MPa |
供給電圧 | DC12~24V ±10%リップル (P-P)10%以下 |
圧力設定点数 | 1 |
動作精度 | ±3%F.S.以下 (at Ta=25℃) |
応差 | 可変 (0~15%F.S.) |
スイッチ出力 | NPNオープンコレクタ (30V 80mA以下、残留電圧0.8V以下) |
アナログ出力・出力電圧 | 1~5V |
アナログ出力・ゼロ点電圧 | 1 ±0.1V |
アナログ出力・スパン電圧 | 4 ±0.1V |
アナログ出力・出力電流 | 1mA以下(負荷抵抗:5kΩ以上) |
アナログ出力・LIN/HYS | ±0.5%F.S.以下(at Ta=25℃) |
応答性 | 約2msec |
表示 | -99~0kPa (2桁 赤色LED表示) |
表示回数 | 約4回/sec |
表示精度 | ±3%F.S. ±2 digit以下 |
分解能 | 1 digit |
動作表示 | 設定圧力以上にて赤色LED点灯 |
※)圧力の繰返し印加に伴う「ゼロ点電圧」、「スパン電圧」、及び「スイッチ出力設定値」の変化量は、±3%F.S.を許容範囲とします。
圧力センサ仕様(-A0:LED表示付1点スイッチ出力付、アナログ出力付)
消費電流 | 15mA以下 |
---|---|
圧力検出方法 | 拡散半導体圧力スイッチ |
使用圧力範囲 | -100~0kPa |
耐圧 | 0.2MPa |
供給電圧 | DC12~24V ±10%リップル (P-P)10%以下 |
アナログ出力・出力電圧 | 1~5V |
アナログ出力・ゼロ点電圧 | 1 ±0.1V |
アナログ出力・スパン電圧 | 4 ±0.1V |
アナログ出力・出力電流 | 1mA以下(負荷抵抗:5kΩ以上) |
アナログ出力・LIN/HYS | ±0.5%F.S.以下(at Ta=25℃) |
※)圧力の繰返し印加に伴う「ゼロ点電圧」、「スパン電圧」、及び「スイッチ出力設定値」の変化量は、±3%F.S.を許容範囲とします。
適用サイズ
真空ポートチューブサイズ
ミリサイズ(mm) | φ3, φ4, φ6 |
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エア供給ポートチューブサイズ
単体タイプ
ミリサイズ(mm) | φ3,φ4, φ6 |
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マニホールドタイプ
ミリサイズ(mm) | φ4, φ6, φ8, φ10 |
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真空供給ポートチューブサイズ
単体タイプ
ミリサイズ(mm) | φ3,φ4, φ6 |
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マニホールドタイプ
ミリサイズ(mm) | φ4, φ6, φ8, φ10 |
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注文案内
単体タイプ
マニホールドタイプ
マニホールドのみ
マニホールド搭載ユニット単体
個別注意事項
警告
1.各部のネジはデジタルカタログを参照し、適正トルクで締付けてください。製品取付けの締付トルクは「固定方法」に、電磁弁の締付トルクは「3.バルブ用搭載フィルタエレメントの交換方法」に記載しております。適正なトルクで締付けないと、エア漏れ、製品の脱落、製品各部破損の原因となります。
真空ポンプ対応ユニットシリーズのよくある質問
FVUS011-NWや、FVXS-DW-1は、製品自体の形式ではなく製品に搭載された「センサ」の形式となります。製品の正式な形式は、本体にレーザーマーキング(またはラベリング)されています。FVUS011-**は真空発生器VK、FVXS-**は真空発生器VX(真空ポンプ対応ユニットVXP/VXPT)に搭載されたセンサの形式となります。
弊社の真空発生器総合タイプ(真空ポンプ対応ユニット)の形式は「V」から始まる形式となります。(VG…、VQ…など)
センサ形式は、FV…などで始まる形式で【PRESSURE SWITCH】と書かれている場合もあります。
センサ形式は、センサ付仕様のみに記載されています。
真空発生器総合タイプ(真空ポンプ対応ユニット)の形式およびセンサ形式の識別は、以下の写真を参考にしてください。
真空発生器VK(単体タイプ)
真空発生器VK(マニホールドタイプ)
マニホールドの場合、製品形式(VKM…)はブロックプレートの後側に記載されています。
真空発生器VX(真空ポンプ対応ユニットVX/VXP)(単体タイプ)
真空発生器VX(真空ポンプ対応ユニットVX/VXP)(マニホールドタイプ)
マニホールドの場合、製品形式(VXM…)はブロックプレートの後側に記載されています。
その他の真空発生器総合タイプ
製品名や外観が似ていますが、使用用途・目的が異なります。
真空発生器 総合タイプは、圧縮エアを供給することにより真空エアを発生させて制御を行う機器です。
一方、真空ポンプ対応ユニットは真空発生はせず、真空ポンプ等の別の真空源の真空エアを使用して、真空エアを制御する機器です。(ただし、破壊エア回路のパイロットバルブを駆動させるための圧縮エアの供給は必要です。)
また、ピスコの真空発生器には、小型で取付けやすい単体タイプもあります。(ただし、制御機能はありません。)
バルブを操作しない状態(ノーマル位置)での、バルブの位置を示します。
ノーマルクローズタイプ(略称N.C.)
ノーマル位置が常時閉。操作(または通電)すると開きます。
ノーマルオープンタイプ(略称N.O.)
ノーマル位置が常時開。操作(または通電)すると閉じます。
弁を操作しない状態で、入口と出口が通じています。
圧力の表し方は2種類あり、「絶対圧」と「ゲージ圧」によるものがあります。
絶対圧
絶対真空の圧力を0基準にした圧力が「絶対圧力」です。
空気圧の流量計算などに使用されます。
単位の最後に「abs」がつきます(例:10 kPa abs)
ゲージ圧
計測場所、計測時の大気圧を圧力0として測った圧力が「ゲージ圧力」です。
大気圧を基準に、1cm2の面積にどれだけの圧力がかかっているかを表します。一般的な圧力計に使われる圧力です。大気圧より高いゲージ圧を「正圧」、低い圧力を「負圧」と呼びます。
トルは、SI単位であるパスカル(Pa)(ヘクトパスカル(hPa))が使用される前に、汎用的に使われていた圧力や真空度を表す単位です。(絶対真空は0Torr、標準大気は760Torrとなります)
トルは「水銀柱ミリメートル (mmHg)」 と同じ単位の別名でもあり、非SI単位ですが、現在も多くの分野で使用されています。
1Torr = 133.32Pa、
1気圧 = 1013hPa = 1.01325x105 Pa = 760Torr
※) パスカルは、天気予報で使われるヘクトパスカルの1/100。
この商品に関するお問い合わせ
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