真空ポンプ対応ユニット

真空ポンプ対応ユニットVIP

RoHS2対応

流量センサ搭載タイプをラインナップ(業界初)。また、従来の圧力センサ搭載タイプと圧力センサ無しタイプも用意。
半導体関連装置(チップマウンタ、ハンドラ)や小型ワーク吸着搬送装置に最適。

特長

流量センサ搭載で、小型ワークの吸着確認が可能。

流量センサ搭載タイプをラインナップ(業界初)。また、従来の圧力センサ搭載タイプと圧力センサ無しタイプも用意。 半導体関連装置(チップマウンタ、ハンドラ)や小型ワーク吸着搬送装置に最適。

超小型でも大流量の真空切換が可能に。

-80kPa供給時、8.5L/min[ANR]以上

真空破壊エア流量調整の方法が選択可能に。

真空破壊エア流量調整ニードル付タイプの他に安価な真空破壊エア流量固定タイプ(0.5MPa供給時、9.5L/min[ANR]以上)も用意。

仕様

基本仕様

使用流体 空気(JIS B 8392-1:「等級1.2.1 ~ 2.4.3」準拠)、真空
使用圧力範囲 0.3~0.7MPa
使用真空圧力 -90~0kPa
使用温度範囲 5~50℃ (但し、凍結なきこと)
使用湿度範囲 35~85%RH (但し、結露なきこと)
保護構造 IP40相当
耐振動性/衝撃性 50m/s2以下/150m/s2以下
給油 不要
耐圧性(エア供給回路) 1.05MPa
耐圧性(真空回路) 0.2MPa

※)耐圧性は、単に「製品が破損しない圧力」を表現するものであり、製品が正常に使用できる圧力とは異なります。

電磁弁仕様

定格電圧 DC24V ±10%
消費電力 1.2W(LED付)
サージ保護回路 有り(バリスタ)
動作表示灯 導通時、赤色LED点灯
手動操作 プッシュ&ロック式

真空供給用主弁仕様

作動方式 パイロットバルブによる間接作動
弁機能 ノーマルクローズ
真空供給エア流量(※1、※2、※3) 10L/min[ANR](-80kPa供給時)
応答時間(OFF→ON) 7msec
応答時間(ON→OFF) 8.5msec

※1)表中の数値は、真空ポートサイズ:φ4mmの場合のものであり、真空ポートサイズ:φ3mmの場合は15%、φ1.8mmの場合は50%流量が低下します。

※2)流量センサ記号:-A□005及び-A□010の場合、真空ポートサイズ:ø4mm、またはø3mmでは30%流量が低下します。

※3)真空供給エア流量は、真空側配管の径や長さ(配管抵抗など)により変わります。

※4)応答時間は、0.5MPa・定格電圧(100%)供給時の値です。

真空破壊用主弁仕様

作動方式 直接作動
弁機能 ノーマルクローズ
応答時間(※4)(OFF→ON) 3.5msec
応答時間(ON→OFF) 2.5msec

※1)表中の数値は、真空ポートサイズ:φ4mmの場合のものであり、真空ポートサイズ:φ3mmの場合は15%、φ1.8mmの場合は50%流量が低下します。

※2)流量センサ記号:-A□005及び-A□010の場合、真空ポートサイズ:ø4mm、またはø3mmでは30%流量が低下します。

※3)応答時間は、0.5MPa・定格電圧(100%)供給時の値です。

真空破壊機能

破壊エア流量 真空破壊エア流量調整ニードル無しタイプ:9.5L/min[ANR]以上(0.5MPa供給時)
破壊エア流量 真空破壊エア流量調整ニードル付タイプ:約0~9.5L/min[ANR](0.5MPa供給時)

※)真空破壊エア流量は、真空側配管の径や長さ(配管抵抗など)により変わります。

圧力表示無し圧力センサ仕様(-V1(アナログ出力))

定格電圧 DC10.8~30V(含リップル)
消費流量 20mA
圧力検出方法 拡散半導体圧力センサ
耐圧力 1MPa
アナログ出力・圧力検出範囲 -100~0kPa
アナログ出力・出力電圧 1~5V
アナログ出力・ゼロ点電圧 1 ±0.04V
アナログ出力・スパン電圧 4 ±0.04V
アナログ出力・出力電流 1mA以下
アナログ出力・温度特性 ±2%F.S.以下(基準温度25℃)
アナログ出力・直線性 ±0.5%F.S.以下
アナログ出力・出力インピーダンス 1kΩ

※)圧力の繰返し印加に伴う「ゼロ点電圧」、「スパン電圧」、及び「スイッチ出力設定値」の変化量は、±3%F.S.を許容範囲とします。

流量センサ仕様

電源電圧 DC24V ±10%
消費電流 30mA以下(無負荷時)
使用圧力範囲 -90kPa~0.2MPa
耐圧 0.3MPa
アナログ出力 1~5V(ノンリニア特性、接続負荷インピーダンス50kΩ以上)
圧力特性 ±10%F.S.以下(基準温度25℃)
温度特性 ±0.6%F.S.以下(基準温度25℃)
再現性(繰返精度) ±2%F.S.以下
応答時間 5msec以下(センサ単体)
出力インピーダンス 1kΩ

適用サイズ

真空ポートチューブサイズ

ミリサイズ(mm) φ1.8, φ3, φ4

エア供給ポートチューブサイズ

ミリサイズ(mm) φ4, φ6, φ8

真空供給ポートチューブサイズ

ミリサイズ(mm) φ4, φ6, φ8

注文案内

個別注意事項

警告

1.各部のネジはデジタルカタログを参照し、適正トルクで締付けてください。製品取付けの締付トルクは「固定方法」に、電磁弁の締付トルクは「フィルタエレメントの交換方法」に記載しております。適正なトルクで締付けないと、エア漏れ、製品の脱落、製品各部破損の原因となります。

注意

1.本製品には真空フィルタは付いておりません。真空フィルタは、当社真空フィルタシリーズを必ず併用してください。真空フィルタを使用しないと吸い込まれた塵・埃などが製品内部へ堆積し、真空性能低下や電磁弁の漏れ・作動不良などの原因となります。(推奨真空フィルタ:VFUシリーズ、VFJシリーズ)

真空ポンプ対応ユニットシリーズのよくある質問

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